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- [实用新型]单晶炉石英坩埚的安装装置-CN201721408252.3有效
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陈五奎;刘强;耿荣军
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乐山新天源太阳能科技有限公司
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2017-10-27
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2018-05-11
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种便于石英坩埚安装过程中定位，同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。该单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉内，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘底部设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔；所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔；所述锅体的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘上设置有定位销轴；所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。采用该单晶炉石英坩埚的安装装置能够便于石英坩埚的安装定位，提高石英坩埚的加热效率。
- 单晶炉石英坩埚安装装置
- [实用新型]一种高成品率的石英坩埚封接装置-CN202320337373.2有效
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朱宏磊;高绪彬;吴召平
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苏州哥地光子技术有限公司
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2023-02-28
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2023-06-27
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C03B23/207
- 一种高成品率的石英坩埚封接装置，属于半导体材料焊接技术领域，包括封焊平台、石英坩埚固定支架、石英坩埚支撑架、氢氧焰封焊枪和坩埚，所述石英坩埚固定支架、石英坩埚支撑架和氢氧焰封焊枪均设置在封焊平台的上水平台面或者竖直侧壁上，所述氢氧焰封焊枪位于石英坩埚固定支架和石英坩埚支撑架之间，所述坩埚的两端分别设置在石英坩埚固定支架和石英坩埚支撑架上，所述氢氧焰封焊枪可进行坩埚的封焊。本实用新型所述的高成品率的石英坩埚封接装置，结构合理，使用方便，将传统的水平封焊方式转化为既可水平放置封焊又可垂直放置封焊，极大的提高了3inch以上石英坩埚封焊的成功率，大幅降低封焊过程中石英坩埚的浪费及原材料的浪费
- 一种成品率石英坩埚装置
- [发明专利]一种连续加料用石英坩埚-CN201110180047.7无效
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钮应喜
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常州天合光能有限公司
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2011-06-30
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2012-02-29
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C30B35/00
- 本发明涉及一种连续加料用石英坩埚。该石英坩埚分为内、外两个坩埚，外坩埚高度小于内坩埚，外坩埚套在内坩埚外侧，形成上体双坩埚，下体单坩埚的形式，以内、外坩埚的结合部为分界，内坩埚分为内坩埚上部和内坩埚下部，内坩埚上部与外坩埚通过通孔相通，内、外坩埚均由石英砂制成，并且石英坩埚的所有与硅液接触的面附着的石英砂纯度高于其他部位。本石英坩埚的内坩埚，即使经过长时间如100小时的高温，也不会发生严重的侵蚀，也不会产生石英砂进入硅溶液的现象，从而提高了晶体的成品率，使得连续生长顺利进行，大大降低了硅单晶的生产成本。同时本石英坩埚由于是上体双坩埚，下体单坩埚的形状，大大减少了石英砂的使用，进一步降低了成本。
- 一种连续加料石英坩埚
- [实用新型]一种石英坩埚壁检测设备-CN202320234834.3有效
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胡士德;杨云翔;王建
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红河邦德新材料有限公司
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2023-02-16
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2023-07-04
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G01N21/958
- 本实用新型提供的一种石英坩埚壁检测设备，转盘机构安装在机架上，用于驱动石英坩埚旋转；固定夹具设置在转盘上，用于固定坩埚底部外壁；升降式照明机构安装在机架上，用于对石英坩埚内壁进行照明；检测机构包括升降组件以及工业相机，工业相机镜头对准石英坩埚壁；采用上述技术方案，将石英坩埚置于转盘机构上，并通过固定夹具将其固定，升降式照明机构进入石英坩埚内，对石英坩埚壁进行强光照射，使得石英坩埚壁呈透明状，再配合转盘机构驱动石英坩埚旋转，工业相机能够将石英坩埚壁进行拍照，工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格，避免长时间观察造成的眼部疲劳，大大提高了检测的准确率。
- 一种石英坩埚检测设备
- [实用新型]石英坩埚用检验装置-CN201220084587.5有效
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张亚宁;朱国新
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保定天威英利新能源有限公司
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2012-03-07
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2012-12-05
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G01N21/958
- 本实用新型提供了一种石英坩埚用检验装置，包括：用于放置石英坩埚，且中空的检验平台；支撑检验平台，且至少有一个侧面中空的支撑架；位于检验平台顶端，且可照透石英坩埚各个面的强光灯；与支撑架相连，且位于检验平台的底端并可反射石英坩埚的底面的反射镜本实用新型提供的石英坩埚用检验装置，与现有技术相比，在检验石英坩埚的过程中，强光灯可照透石英坩埚的各个面，且无需翻转待测的石英坩埚来检测其底面，直接观察反射镜呈现的石英坩埚底面即可，从而避免了翻转石英坩埚，减少了检验石英坩埚所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚的检验效率，减少了人力的浪费。
- 石英坩埚检验装置
- [实用新型]一种石英坩埚-CN202320044904.9有效
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朱旭东;史浩洪;马斌;陶建涛
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吉木萨尔县嘉瑞宇邦半导体材料有限公司
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2023-01-06
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2023-05-30
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C30B15/10
- 本实用新型涉及石英坩埚技术领域，尤其为一种石英坩埚，包括石英坩埚主体、上盖和倾倒块，所述石英坩埚主体上端设有上盖，所述石英坩埚主体右端上侧固定连接有倾倒块，所述石英坩埚主体前后两侧上端均固定连接有限位弯板，所述限位弯板上端内侧均开设有限位孔，所述限位弯板下端内侧均开设有定位槽，所述石英坩埚主体前端和后端中间均开设有第一加热槽，本实用新型中，通过设置的上盖、倾倒块、限位弯板、第一加热槽、第二加热槽和第三加热槽，可以保证石英坩埚加热过程中的密封性和石英坩埚内部原料受热的均匀程度，同时便于对石英坩埚进行夹持的同时可以防止石英坩埚内部的原料倾倒出时出现原料挂在石英坩埚外壁的问题。
- 一种石英坩埚
- [实用新型]坩埚组件和晶体生长炉-CN202221671885.4有效
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陈俊宏
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徐州鑫晶半导体科技有限公司
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2022-06-29
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2022-11-01
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C30B15/10
- 本实用新型公开了一种坩埚组件和晶体生长炉，坩埚组件包括石墨坩埚和石英坩埚，石墨坩埚限定出顶部敞开的安装腔，安装腔的周壁上形成有卡槽，石英坩埚设于安装腔且限定出盛放腔，石英坩埚的外周壁上形成有卡凸，卡凸向下插配于对应卡槽根据本实用新型的坩埚组件，通过在石英坩埚的外周壁上设置卡凸、安装腔的周壁上设置卡槽，卡凸向下插配于卡槽，以便于石英坩埚和石墨坩埚的组装，同时石墨坩埚可以对石英坩埚的周壁起到一定限位、固定作用，以便于避免石英坩埚长期处于高温环境中发生软化滑移等易导致熔汤泄漏，从而有保证了石英坩埚结构稳定，便于保证晶体生长炉可靠运行。
- 坩埚组件晶体生长
- [发明专利]一种高强石英坩埚热处理方法-CN202110309801.6在审
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嵇亚明
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新沂市中鑫光电科技有限公司
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2021-03-23
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2022-09-27
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C04B35/64
- 本发明涉及石英坩埚加工技术领域，且公开了一种高强石英坩埚热处理方法，包括以下步骤：S1：检查原料，对溶制好脱模后的石英坩埚进行检测；S2：喷砂研磨，对检测合格的石英坩埚进行喷砂和研磨处理；S3：冲洗，将经喷砂研磨后的石英坩埚用自来水冲洗，冲洗后倒扣在架子上淋去表面的水滴；S4：浸泡，将冲洗后的石英坩埚置于石英坩埚篮中，然后一起放入混合液中浸泡；S5：清洗。本发明通过对石英坩埚进行热处理的步骤，能够使其具有良好的强度，提高其使用寿命，通过浸泡处理能够降低石英坩埚的表面金属杂质含量，降低坩埚内表面的气泡浓度，同时还可清除石英坩埚表面的微颗粒。
- 一种高强石英坩埚热处理方法
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