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[实用新型]制粒装置-CN202221038200.2有效
发明人：黄杰杰;何志达 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本公开提供一种制粒装置，其包括石墨坩埚、水槽、第一加热器、第二加热器以及冷水机；石墨坩埚封闭在水槽的上方，石墨坩埚的上端开口，石墨坩埚的底部封闭且开设有沿上下方向贯通的圆柱形的通孔，石墨坩埚用于收容制粒原料；水槽与石墨坩埚密封设置，水槽用于盛放来自冷水机的冷却水；冷水机用于向水槽供冷水以保持水槽中的水的液面恒定、进而使得水槽中的水的液面与石墨坩埚的通孔之间在上下方向上的距离恒定；第一加热器用于加热石墨坩埚、进而使得石墨坩埚内的制粒原料熔化且熔化的制粒原料以液体经由通孔向下按液滴形式滴入水槽中的水中而形成颗粒；第二加热器用于加热水槽中的水的液面附近的水。
装置

[实用新型]多晶硅铸锭炉的加热系统-CN201521138467.9有效
发明人：蒋兴贤 -专利权人：常州兆晶光能有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的加热系统，所述铸锭炉包括：炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温护罩，保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于石墨护罩底部的散热平台；加热系统还包括对应坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器，坩埚的中部设置有对应中心平板加热器的中心平板加热槽，中心平板加热器设置在所述中心平板加热槽内。该实用新型升级改造后的加热系统由于在坩埚的中间位置引入平板加热，即能够实现中间位置硅料的快速加热，且由于平板结构设置而减少了后续切割余料的产生，极大提高了生产效率及产品合格率。
多晶铸锭加热系统

[实用新型]一种灌注液加热装置-CN202222493487.4有效
发明人：武彬;马立威;刘丹霞;李栾;张劲松 -专利权人：沈阳爱尔卓越眼科医院有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： A61M5/44 文献下载
摘要：本申请公开了一种灌注液加热装置，包括：夹持型石墨烯恒温加热器E1，用于加热；温度传感器B1，用于检测温度；主控芯片U1，用于驱动夹持型石墨烯恒温加热器E1，根据温度传感器B1反馈的温度，驱动断电保护电路进行断电保护本申请采用夹持型石墨烯恒温加热器E1，利用夹持的方式不直接接触灌注管1中的液体，避免对灌注管1中的液体造成污染，同时加热片采用石墨烯可以提高热量传导效率，更好的对灌注管1进行加热，减少需要加热的区域，并且配合恒温加热器、温度传感器B1和主控芯片U1，能够实现对加热温度的精准控制以及通过断电保护电路进一步确保加热以及用电安全，更好的适应了眼科手术要求，能够安全可控对现有眼科灌注管1进行加热。
一种灌注加热装置

[发明专利]一种铸锭炉-CN201811583729.0在审
发明人：陈旭光;张涛;肖贵云;白枭龙;欧阳维;金浩 -专利权人：晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种铸锭炉，包括位于坩埚顶部的顶加热器和位于坩埚侧面的侧加热器，顶加热器上部具有顶隔热板，侧加热器外侧部具有侧隔热板，顶加热器和侧加热器均固定在上部的石墨电极上，石墨电极穿过顶隔热板与其实现绝缘固定连接，石墨电极顶部通过软连接固定至铜电极，顶隔热板上具有提拉部件，用于提拉顶隔热板并带动顶加热器和侧加热器在竖直方向移动。
顶隔热板侧加热器顶加热器石墨电极热场上移提拉部件铸锭炉坩埚横向温度梯度竖直方向移动侧隔热板光伏电池绝缘固定转换效率变化率软连接铜电极外侧部硅锭提拉位错增殖穿过侧面申请

[实用新型]盖板-CN201220081590.1有效
发明人：莫丹君;陈文 -专利权人：浙江宏业新能源有限公司
申请日： 2012-03-06 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种盖板，包括石墨保温板，其特征在于石墨保温板设置10-30个散热气孔。本实用新型可以防止因装料过高导致石墨加热器断裂，间接性的石墨加热器的使用寿命，直接性的降低了企业的生产成本。
盖板

[发明专利]圆柱形加热器-CN201780029796.5有效
发明人：陆中浩 -专利权人：莫门蒂夫性能材料股份有限公司
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H05B3/14 文献下载
摘要：本文公开了一种加热器组件(100)。加热器组件(100)包括管状的本体(110)。管状的本体包括设置在加热路径(120)中的石墨芯部。石墨芯部涂覆有外涂层。加热器组件(100)具有包括多个加热横档(140)的构造，加热横档具有基本垂直于加热器的上表面(102)设置的主导部分(242)，使得主导部分(242)竖直地设置。加热器组件包括位于第一端部(104)的凸缘(130)和位于第二端部(102)的唇部(212)。与其他设计相比，加热器组件构造提供展现减小的热应力和/或减小的CTE失配应力的加热器。
圆柱形加热器

[发明专利]一种石墨板型加热器-CN202011574368.0在审
发明人：张惠玉 -专利权人：南通百大石墨设备有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H05B3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨板型加热器，涉及石墨加热器技术领域，包括箱体，箱体上下表面固定安装有固定通电装置，箱体左右侧面设置有保护气体装置，箱体前表面固定安装有密封盖，箱体包括有箱侧壁，箱侧壁内部左右表面上端活动安装有上石墨板，箱侧壁下端固定安装有下石墨板。本发明通过将石墨管改为石墨板，解决石墨管加热器内部空间不足的问题，同时石墨板相对于石墨管来说更好加工，且加工成本低，加工过程简单，增加上龙骨架以及下龙骨架，通过上龙骨架以及下龙骨架增加上石墨板以及下石墨板的强度，防止上石墨板和下石墨板因内部压强过大而出现断裂，造成加热终止以及气体泄漏。
一种石墨加热器

[实用新型]一种单晶炉热场加热系统-CN201720026912.5有效
发明人：杨向东;李玉平;侯利伟;李晓 -专利权人：新乡市神舟晶体科技发展有限公司
申请日： 2017-01-11 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： C30B15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉热场加热系统，包保温罩、炉底护盘、石墨加热器、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘和埚杆，每个石墨加热器的水平电极连接板的下表面设置有与石墨电极上端形状相匹配的石墨电极安装槽，石墨电极包括石墨凸台和石墨柱体，石墨凸台的直径大于石墨柱体的直径，石墨电极的外部套设有筒状的石英护套，筒状的石英护套的上端向外部延伸形成的圆锥台状的第一导流部，石英护套的外部套设有筒状的电极护套，筒状的电极护套的上端向内部延伸形成的圆锥台状的第二导流部；本实用新型能够有效避免从石英坩埚内漏出的液态硅对单晶炉内部件造成损坏，同时保证石墨电极与石墨加热器的有效稳定连接。
一种单晶炉热场加热系统

[实用新型]一种石墨板型加热器-CN202023206191.7有效
发明人：张惠玉 -专利权人：南通百大石墨设备有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H05B3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨板型加热器，涉及石墨加热器技术领域，包括箱体，箱体上下表面固定安装有固定通电装置，箱体左右侧面设置有保护气体装置，箱体前表面固定安装有密封盖，箱体包括有箱侧壁，箱侧壁内部左右表面上端活动安装有上石墨板，箱侧壁下端固定安装有下石墨板。本实用新型通过将石墨管改为石墨板，解决石墨管加热器内部空间不足的问题，同时石墨板相对于石墨管来说更好加工，且加工成本低，加工过程简单，增加上龙骨架以及下龙骨架，通过上龙骨架以及下龙骨架增加上石墨板以及下石墨板的强度，防止上石墨板和下石墨板因内部压强过大而出现断裂，造成加热终止以及气体泄漏。
一种石墨加热器

[实用新型]一种多晶硅铸锭炉热场-CN201721500521.9有效
发明人：朱松涛;郭晓萌;郭彦峰;冯立学;郭宽新 -专利权人：苏州晶樱光电科技股份有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场，包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱，石墨支撑柱上设有热交换机构，热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台，热交换平台上设有加热坩埚，加热坩埚上设有盖板，热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板，石墨护板外侧下部设有安装槽，安装槽中填设有保温毡，石墨护板外周套设有侧部加热器，侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体，加热单体包括若干U形部，相邻U形部上部之间设有上连接部，加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部，炉体内在盖板上方设有顶部加热器。
热交换加热单体石墨支撑柱加热坩埚石墨护板多晶硅铸锭炉侧部加热器安装槽盖板热场外周体内本实用新型顶部加热器侧连接部加热均匀上连接部温度梯度保温毡

[发明专利]一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法-CN202210227495.6有效
发明人：谢雪健;胡国杰;徐现刚;彭燕;胡小波;陈秀芳;王兴龙 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法，包括石墨保温毡、坩埚、感应线圈和电阻加热器，其中，所述坩埚置于石墨保温毡中，感应线圈位于石墨保温毡外侧，电阻加热器位于石墨保温毡内部，且位于坩埚的顶部或采用感应加热及电阻加热相结合的加热方式，单晶生长系统的温度控制以感应电源加热为主，电阻加热为辅。在单晶生长过程和晶体高温退火过程中，通过调节感应加热和电阻加热器的功率比例，分别构建出近平微凸和平温场，获得大直径高质量SiC单晶。
一种直径 sic 生长装置方法

[发明专利]一种用于半导体材料热壁外延生长系统的加热装置-CN201010549563.8有效
发明人：修向前;张荣;谢自力;华雪梅;韩平;陆海;顾书林;施毅;胡立群;郑有炓 -专利权人：南京大学
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：一种用于半导体材料热壁外延生长系统的加热装置，包括射频加热器和石墨套筒，石墨套筒设置在射频加热器的感应加热线圈中，石墨套筒的内壁和外壁包覆有导热非易燃绝缘层，并置于惰性气体环境中。本发明采用射频加热石墨套筒的方式，可以快速升降温，具有节能，使用寿命长，无需维修等优点。由于感应线圈可以做大直径，因而可以加热大尺寸的石墨套筒来实现大面积反应腔体的快速加热。
一种用于半导体材料外延生长系统加热装置

[实用新型]一种长晶炉结构-CN202023015602.4有效
发明人：叶宏伦;钟健;钟其龙;刘崇志;张本义;姜政余 -专利权人：璨隆科技发展有限公司;阿克苏爱矽卡半导体技术研发有限公司;新疆璨科半导体材料制造有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长晶炉结构，其包括壳体、加热器和坩埚本体，所述壳体上设有进气口和抽气口，所述壳体内形成有加热腔体；所述加热器和坩埚本体设于加热腔体内，所述加热器设于坩埚本体外周；所述坩埚本体内侧面形成有碳化铌膜层本实用新型通过在石墨坩埚内形成碳化铌膜层，来减少石墨坩埚中的碳元素参与到晶体的生产过程，进而抑制生长源石墨化。
一种长晶炉结构

[实用新型]一种石墨加热器旋转加工装置-CN202120844702.3有效
发明人：申连喜;赵永敬 -专利权人：嘉祥洪润电碳有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨加热器旋转加工装置，包括底座，所述底座的上端转动连接有旋转台，所述旋转台上设有左、右两个开槽，所述开槽内设有用于对石墨加热器限位的限位柱；所述旋转台的下端滑动设置有滑动条，所述限位柱固定在滑动条的上端本实用新型通过设置能够转动的旋转台，在对石墨加热器加工时，难度更低，精确度更高，而且通过设置限位柱，相较于传统的螺栓固定方式，能够大大降低操作步骤和操作难度，还能够将石墨加热器固定在旋转台的正中心位置，进一步减少操作误差，除此之外，由于设置有调节机构，能够对限位柱的位置进行调整，适用于不同规格的石墨加热器的加工。
一种石墨加热器旋转加工装置

[实用新型]拼接加热器-CN202223006103.8有效
发明人：徐顺光;余根桃;余成舟;吴耀城 -专利权人：浙江盛远碳素制品有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H05B3/14 文献下载
摘要：本实用新型提供拼接加热器，涉及加热器技术领域，以解决目前国内很多石墨加工厂家都在走加热器拼接的方向，每家的拼接方案也大同小异，一般都是利用方形原材料加工成瓦片状，然后外面用石墨块和碳螺栓固定，但是这种拼接方案在使用的时候本申请相对于常规的拼接加热器，把原来传统的四片直线拼接改为四片嵌入式拼接，传统的拼接加热器是在外部用碳碳螺栓石墨板连接，本申请现更改为中国传统木工工艺上的榫卯结构，通过榫卯槽拼接缝折叠，用碳螺栓固定；采用榫卯结构更能增加拼接加热器的强度和拼接面贴合度，加热器各部位受力均匀，不易变形。
拼接加热器