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[发明专利]一种用于无油干式真空泵双轴辅助同步驱动装置-CN202211025423.X在审
发明人：谭初旺 -专利权人：广东思贝乐能源装备科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种同步驱动装置，尤其涉及一种用于无油干式真空泵双轴辅助同步驱动装置。需要设计一种真空泵工作时噪音小，不易影响无油真空泵的寿命，且成本低的用于无油干式真空泵双轴辅助同步驱动装置。一种用于无油干式真空泵双轴辅助同步驱动装置，包括有干式真空泵和支撑立板，干式真空泵一侧对称固接有支撑立板。本发明启动伺服电机，从而从动横轴和传动横轴转动使得干式真空泵进行工作，同时，检测架均对左右两侧栅格板进行监测，检测架会发出信号控制伺服电机，保证从动横轴与传动横轴旋转速度比基本一致，避免发生碰撞摩擦，如此，工作时噪音小，不易影响无油真空泵的寿命，且成本低。
一种用于无油干式真空泵辅助同步驱动装置

[发明专利]一种保护真空规管内腔的装置-CN202310599736.4在审
发明人：林红;曾玉林;杨上义 -专利权人：成都国光电气股份有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种保护真空规管内腔的装置，属于真空规管防尘技术领域，解决了现有真空规管使用滤网的防尘效果不佳导致真空规管使用寿命缩短以及真空度的测量精度降低的问题。在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯由于其内部为错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的散热以及真空度的测量精度，从而增加真空规管的使用寿命，保证真空度的测量精度。
一种保护真空规管内腔装置

[发明专利]真空反应腔以及真空加工设备-CN201310753412.8有效
发明人：王轶南;张福刚;张巍;刘祖宏;侯智;吴代吾 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本发明公开的真空反应腔以及真空加工设备，其中，本发明的真空反应腔，包括多个壁板，多个壁板中至少一个壁板上设置有观察装置，观察装置包括设置于壁板上的观察窗以及用于遮挡观察窗的遮挡板，遮挡板可在遮挡观察窗的第一位置以及不遮挡观察窗的第二位置之间运动本发明的真空加工设备，包括本发明的真空反应腔。本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备，遮挡板既保护观察窗，还有效遮挡观察窗四周的壁板。本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备可以有效保护观察窗，延长其寿命，并有效保证观测效果；同时遮挡板也保护了观察窗四周的壁板——即壁板上的最易被刻蚀区域，使得壁板整体寿命延长，减少高频维护的费用和人力损失
真空反应以及加工设备

[实用新型]一种推动式真空阀-CN202123031719.6有效
发明人：郭云章 -专利权人：江苏锐鸿机械有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空阀技术领域，具体为一种推动式真空阀，包括真空阀主体，所述真空阀主体两侧分别设有左气孔和右气孔，真空阀主体与左气孔相邻的一侧设有加压气缸，加压气缸顶部靠近真空阀主体的一侧设有进气嘴，加压气缸顶部且位于进气嘴远离真空阀主体的一侧通过电子阀连接安装有排气嘴，连接杆远离真空阀主体的一侧设有承重板，承重板远离连接杆的一侧通过弹簧连接安装加圧板，真空阀主体内部中心处设有通道，通道内部且位于加压气缸输出端设有滑杆，滑杆外侧设有密封块，通过设置弹簧，使得该装置在使用过程中在弹簧的作用下可以有效的减小橡胶膜的磨损导致橡胶膜使用寿命降低，进而有效的保证了气阀的使用寿命。
一种推动真空

[发明专利]一种基于威布尔比例风险模型的断路器寿命监测与维修方法-CN202110178331.4在审
发明人：牛国成;周振雄;孟祥 -专利权人：北华大学
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于威布尔比例风险模型的断路器寿命监测与维修方法，包括步骤一、确定影响真空断路器寿命退化评估参数；步骤二、建立二参数威布尔比例风险寿命预测模型公式；步骤三、通过极大似然参数估计法估计比例威布尔模型中m、η、β3个参数；步骤四、实时测量数据带入计算公式，计算可靠度值和剩余寿命时间；步骤五、建立以维修目标决策方式为最大可用度的真空断路器视情维修方法，本发明通过最大可用度计算出最佳维修和更换时机，使真空断路器的使用和运维更方便科学
一种基于布尔比例风险模型断路器寿命监测维修方法

[实用新型]真空保温管-CN201520484120.3有效
发明人：生维国 -专利权人：生维国
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： F16L59/065 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空保温管，包括内层管和外层管，所述内层管和外层管之间设有真空层，所述真空层内的管壁上涂有金属反射涂层。本实用新型所述的真空保温管可以设置为多层真空结构。本实用新型所述的真空保温管厚度低、保温效果好、使用寿命长、施工方便且成本低廉。
真空保温

[实用新型]一种真空模块-CN201822170453.5有效
发明人：李治南 -专利权人：深圳嘉贸气动器材有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B61D35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空模块，包括真空模块主体，所述真空模块主体顶面相连有常开阀、常闭阀，所述真空模块主体侧面和前面设有封堵，所述封堵与所述真空模块主体相连位置设有过滤网。相对现有技术，本实用新型技术方案具有结构可靠和密封良好等优点，可有效提高真空模块的使用可靠性以及使用寿命。
真空模块本实用新型封堵使用寿命相连位置主体侧面主体顶面常闭阀常开阀过滤网密封

[发明专利]高压真空断路器-CN200610046332.9有效
发明人：吕传平;曲道平;陈远传;杜平;孙茂鹏;刘莉;闫立娟;贾喜懂;李波 -专利权人：瓦房店高压开关有限公司
申请日： 2006-04-17 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本发明涉及断路器，高压真空断路器，由上接线法兰、下接线法兰、灭弧单元、框架、支架、控制箱等组成，框架固定安装在支架上，三相灭弧单元固定安装在框架上，灭弧单元所有可动部件机械连接到控制箱内弹簧机构上，灭弧单元为灭弧室内装有真空管，动、静触头装在真空管中。本发明灭弧单元采用灭弧室内装有真空管，结构简单，没有爆炸和火灾危险，无污染，燃弧时间短，电弧电压低、能量少，触头的电磨损率低，运行安全可靠，使用寿命长，机械10000寿命次，电寿命达30次。
高压真空断路器

[实用新型]一种抽真空装置及真空烘箱-CN201821415490.1有效
发明人：吴志轩;韩玉成;王勇;杨荣新;罗国兴 -专利权人：中国振华集团云科电子有限公司;贵州振华电子信息产业技术研究有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种抽真空装置及真空烘箱，涉及烘箱领域。抽真空装置应用于真空烘箱，其中，真空烘箱包括机体，抽真空装置包括第一真空无油泵、第二真空无油泵、承载件和机架，机架与机体连接，承载件与机架连接，用于承载第一真空无油泵和第二真空无油泵，第一真空无油泵和第二真空无油泵分别与机体连接，用以抽取机体内部的气体，以使机体内部处于真空状态。采用真空无油泵能够无需更换润滑油进行工作，操作简便，提高真空烘箱的使用寿命。
无油泵真空烘箱抽真空装置机体连接机体内部承载件烘箱本实用新型使用寿命真空状态润滑油抽取承载应用

[发明专利]蒸镀装置-CN201410802486.0有效
发明人：李金川;吴聪原 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-12-19 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备包括真空室，提供真空环境；蒸发源，位于真空室中，提供用于蒸镀的Li3N，并对Li3N进行加热分解，产生Li；对位系统，与蒸发源相对设置，对需镀膜的基片进行定位，使Li沉积在基片上；冷凝泵，与真空室连通，用于对真空室进行抽真空处理；分子泵，与真空室连通，用于维持真空室的低真空度。通过上述方式，本发明能够提高腔内真空度，减少对器件寿命的影响。
装置

[发明专利]真空压力计的寿命提升装置和方法-CN202011354251.1有效
发明人：高伟;曾军;高峰 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： F16K11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空压力计的寿命提升装置，包括：三通阀和控制单元；三通阀的第一接口和抽气管路相连，第二接口连接真空压力计，第三接口连接冲洗气体；三通阀的第二接口具有常开控制阀，第三接口具有常关控制阀；控制单元控制常开控制阀和常关控制阀的工作本发明还公开了一种真空压力计的寿命提升方法。本发明能防止真空工艺腔的生长工艺中产生固态生成物沉积在设置在抽气管路的真空压力计的接口上，从而能提高真空压力计的寿命。
真空压力计寿命提升装置方法

[实用新型]舱外航天服手套手指运动寿命实验装置-CN201520049252.3有效
发明人：许淑惠;刘晓睿;胡昊辰;侯文国;吴贞桢;石文 -专利权人：北京建筑大学
申请日： 2015-01-26 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： G01N19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种舱外航天服手套手指运动寿命实验装置，包括空气压缩机、真空发生器、通气软管、舱外航天服手套、手指吸盘、驱动气缸组件、手套夹紧机构、三指吸盘夹板和框架。所述的空气压缩机提供的压力气体通过通气软管分为两路，一路通往驱动气缸组件，供驱动气缸工作，另一路通往真空发生器，使真空发生器产生真空度，产生的负压使手指吸盘形成真空从而牢固吸附五指。本实用新型通过物理方法模拟人的手指运动，从而代替人手对舱外航天服手套手指进行寿命实验。既可以快速完成高强度的寿命实验，又可以为技术的研发和应用获得检测的数据。舱外航天服手套的手指指尖与测试机构的真空吸附连接紧密，不会产生脱落，对手套不会产生任何损害。
航天服手套手指运动寿命实验装置

[实用新型]一种带有保护机构的真空表-CN201120558688.7有效
发明人：曹俊义;章宇;路佳顺;祖述祥 -专利权人：天津力神电池股份有限公司
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空表，尤其涉及一种带有保护机构的真空表，包括与真空腔体连接的用于监测真空腔体的真空表本体，所述真空腔体与真空表本体之间设有允许气体从真空表本体向真空腔体流动的单向阀。由于在真空腔体与真空表本体之间设有允许气体从真空表本体向真空腔体流动的单向阀，当对真空腔体泄真空时，真空腔体气压大于真空表本体内气压，单向阀为关闭状态，阻止气体流向真空表本体，使真空表本体仍处于原真空状态，保护真空表本体，使其不易损坏、寿命长。
一种带有保护机构真空

[发明专利]红外探测器杜瓦组件空间在轨真空处理装置及实现方法-CN201110252360.7有效
发明人：夏王;王小坤;孙闻;王煜宇;曹岚;马学亮 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2011-08-30 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外探测器杜瓦组件空间在轨真空处理装置及实现方法。红外探测器杜瓦组件空间在轨真空处理装置由单向电磁针阀和带三通杜瓦排气管的红外探测器杜瓦组件组成。本发明在单向电磁针阀和三通杜瓦排气管等方面引入特定的结构和实现方法，来实现了红外探测器杜瓦组件地面使用时获得5年以上的真空寿命，在轨时可以获得无限长真空寿命且不增加制冷机功耗，从而有利于红外探测器杜瓦组件在轨应用的高可靠性本发明同样适用于其它航天用真空腔体在轨真空处理的结构和实现方法。
红外探测器组件空间真空处理装置实现方法

[发明专利]一种延长ALD真空计使用寿命的方法-CN201711178850.0有效
发明人：张洪国;夏玉明;夏树胜;王超;张凯;马军涛 -专利权人：滁州国凯电子科技有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种延长原子层沉积设备真空计使用寿命的方法。本发明通过对ALD系统中的真空计电磁阀进行间断关闭的方法，在保证系统真空度的基础上，减少前驱体气体和反应副产物进入真空计内部，从而减少前驱体气体和反应副产物在真空计内部的附着，进一步可以延长ALD真空计使用寿命
一种延长 ald 真空计使用寿命方法