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[实用新型]栅压控制装置和扫描电镜-CN202222635736.9有效
发明人：潘建海;唐骐杰;张伟 -专利权人：无锡量子感知技术有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种栅压控制装置和扫描电镜。栅压控制装置包括可调电阻电路、高压电源和控制电路，可调电阻电路用于与扫描电镜的电子枪的栅极连接，可调电阻电路包括多个电阻，高压电源用于给可调电阻电路供电，控制电路与可调电阻电路连接，控制电路用于控制多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的电阻如此，通过控制电路控制可调电阻电路中多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的阻值，以达到控制调节栅压的目的，可调电阻的设置使得栅压的调节较为方便，能够更好地控制电子束流的大小，有利于提升扫描电镜成像时图像的质量
控制装置扫描电镜

[发明专利]硅微/纳米柱的制备方法-CN202210686875.6在审
发明人：仝柯;赵松;田永君 -专利权人：燕山大学
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法，属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤：(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料；(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯；(3)借助FIB电镜，使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工，获得硅微/纳米柱粗坯；(4)保持环形加工图案内径不变，逐渐增加其外径进行精加工，确保直径符合需求；(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部，确保高度符合需求；(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案，可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱，所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10％，锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。
硅微纳米制备方法

[发明专利]透射电镜微栅的制备方法-CN201010146386.9有效
发明人：刘亮;范立;冯辰;潜力;王昱权 -专利权人：北京富纳特创新科技有限公司
申请日： 2010-04-14 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： H01J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体、一碳纳米管结构，以及一固定体，所述载体具有第一通孔，所述固定体具有第二通孔；将所述固定体与所述载体层叠设置，并将所述碳纳米管结构设置于所述载体与所述固定体之间
透射电镜微栅制备方法

[发明专利]一种立方氮化硼微粉扫描电镜样品的制备方法-CN201510132777.8在审
发明人：王丽 -专利权人：富耐克超硬材料股份有限公司
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种立方氮化硼微粉扫描电镜样品的制备方法，包括下列步骤：1)取立方氮化硼微粉，加入分散剂中，超声分散，得悬浮液；2)取步骤1)所得悬浮液滴在导电胶或粘附在导电胶的硅片上，干燥，即得。本发明的立方氮化硼微粉扫描电镜样品的制备方法，所得样品中立方氮化硼微粉团聚少，分散均匀，更易观察到微观形貌；该样品用于扫描电镜检测，过程简单快捷，可获得高倍放大的清晰电镜照片，便于观察与定位立方氮化硼微粉的尺寸，适用于粒径≤300nm的超细微粉的制样检测；样品在制备时不易受污染，同时减小了微粉对电镜样品室的损伤；该制备方法工艺简单，操作方便，分散剂简单易得，适合推广应用。
一种立方氮化硼微粉扫描电镜样品制备方法

[发明专利]透射电镜微栅的制备方法-CN201010146836.4有效
发明人：刘亮;范立;冯辰;潜力;王昱权 -专利权人：北京富纳特创新科技有限公司
申请日： 2010-04-14 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： H01J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体，所述载体具有第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及提供一固定体，所述固定体具有第二通孔，并层叠设置所述固定体与所述载体层
透射电镜微栅制备方法

[发明专利]透射电镜微栅的制备方法-CN201010146837.9有效
发明人：潜力;范立;刘亮;冯辰;王昱权 -专利权人：北京富纳特创新科技有限公司
申请日： 2010-04-14 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一支撑环；提供一片状碳纳米管结构预制体，铺设所述片状碳纳米管结构预制体于所述支撑环；按预定尺寸切割所述片状碳纳米管结构预制体，形成一片状碳纳米管结构
透射电镜微栅制备方法

[发明专利]透射电镜微栅的制备方法-CN201410269131.X有效
发明人：魏洋;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： H01J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括提供一碳纳米管层，所述碳纳米管层包括多个微孔及相对的第一表面及第二表面；在所述碳纳米管层的第一表面电镀一第一金属层；在所述碳纳米管层的第二表面电镀一第二金属层；
透射电镜微栅制备方法

[发明专利]透射电镜微栅的制备方法-CN201010126408.5有效
发明人：张丽娜;姜开利;周睿风;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2010-03-17 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，其包括以下步骤：提供一自支撑的碳纳米管膜结构，以及一功能化石墨烯片分散液，该碳纳米管膜结构包括多个微孔；将该功能化石墨烯片分散液浸润该碳纳米管膜结构表面；干燥该被功能化石墨烯片浸润的碳纳米管膜结构
透射电镜微栅制备方法

[发明专利]一种非破坏性评估纳米尺度玻璃微探针性能的工作方法-CN200810154023.2无效
发明人：张彦军 -专利权人：国家纳米技术与工程研究院
申请日： 2008-12-12 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： G01N33/48 文献下载
摘要：一种非破坏性评估纳米尺度玻璃微探针性能的工作方法，其特征在于它包括以下步骤：(1)利用扫描电镜对玻璃微探针进行观测获得扫描电镜照片；(2)通过玻璃微探针电阻计算公式估算出该玻璃微探针在充灌电极内电解液后的电阻值；(3)通过传统膜片钳技术来测量玻璃微探针电阻；(4)将由步骤(3)所说的膜片钳测得的玻璃微探针电阻与步骤(2)中通过扫描电镜观测再经计算公式估算的玻璃微探针电阻进行比较。其优越性在于：用传统的膜片钳电阻测量方法与扫描电镜技术相结合共同分析玻璃微探针性状的方法相比现有技术更加简便快捷，可直观、可靠、非破坏地判定纳米尺度玻璃微探针的性能及其拉制质量。
一种破坏性评估纳米尺度玻璃探针性能工作方法

[发明专利]一种微纳米尺度平面周期性结构的反演方法-CN201010156007.4有效
发明人：谢惠民;胡振兴;王怀喜 -专利权人：清华大学
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G01Q30/02 文献下载
摘要：一种微纳米尺度平面周期性结构的反演方法，属于显微镜成像分析、平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以扫描电子显微镜的扫描线为参考栅，微纳米表面周期性结构为试件栅，通过两栅发生几何叠加形成云纹，再通过微小的沿着与扫描线相垂直的方向随机平移扫描电镜的试件平台，即产生相移几何云纹。
一种纳米尺度平面周期性结构反演方法

[发明专利]一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法-CN200610012016.X无效
发明人：张波萍;焦力实;丁昕祯;陈灿 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2006-05-26 - 公布日： 2006-11-22 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法，属于电镜样品制备技术领域。把得到的NaCl晶体片固定在匀胶机的托盘上，用甩胶的方法将Sol－Gel法配置的前驱体溶液均匀的涂在NaCl晶体片上，制得厚度在5～200nm的样品薄膜；在热处理炉中进行退火处理；将得到的薄膜试样放在铜栅上至蒸馏水中浸泡，保证NaCl晶体完全溶解后使薄膜吸附在铜栅上，得到透射电镜观察用样品，适用于溶胶凝胶法制备的厚度在5～200nm之间的各种薄膜。优点在于；解决了透射电镜用薄膜样品易受污染、破碎和引入假象的问题。适合制备溶胶－凝胶法制备的各种薄膜样品的透射电镜试样，成本低，应用非常广泛。
一种薄膜材料透射样品制备方法

[实用新型]一种扫描电镜试样微区快速定位装置-CN201520939005.0有效
发明人：刘科虹;葛东伟;刘国军;张建国;李乃浩;王莹莹;田光荣;高彤;武松;刘洋 -专利权人：内蒙古北方重工业集团有限公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种快速定位装置，特别是涉及一种扫描电镜试样微区快速定位装置。本实用新型所述固定架上安装有支撑块，支撑块底部设有与扫描电镜试样台与对应的同心固定杆，顶部设有左右微调装置，支撑块上还设有水平仪；所述支撑块上方固定安装有成像管，成像管一端固定安装有目镜，另一端安装有物镜本实用新型通过对扫描电镜分析试样进行微区进行快速观察定位，保证了在扫描电镜下试样的快速、准确定位，直接操作扫描电镜对微区进行观察、分析，提高了分析速度。
一种扫描电镜试样快速定位装置

[发明专利]一种单细胞粘附力测量方法-CN201910409058.4在审
发明人：索奕双;郭强;张向平 -专利权人：金华职业技术学院
申请日： 2019-05-11 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本发明涉及生物科学领域，一种单细胞粘附力测量方法，单细胞粘附力测量装置包括扫描电镜腔、储气罐、水蒸汽源、进气管、真空室、电子枪、电子探测器、位移台I、致动器、微操纵器、位移台II、衬底、细胞样品、计算机、扫描电镜、气管和电缆，基于扫描电镜技术，将扫描电镜技术与特殊的细胞操纵技术相结合，采用特殊的微操纵器及衬底，在对细胞进行操纵的同时能够实时地进行粘附力测量，并且由于微操纵器是从细胞的下侧来操纵细胞，因此能够减小测量过程中细胞的形变
粘附微操纵器力测量细胞扫描电镜技术扫描电镜位移台衬底储气罐电子探测器力测量装置测量过程生物科学水蒸汽源细胞操纵细胞样品电子枪进气管真空室致动器形变减小气管电缆计算机

[发明专利]一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置-CN201910975242.5在审
发明人：谭军;唐培;李峰 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明涉及材料测试技术领域，具体为一种用于电镜或微纳激光加工系统跨平台连接的样品密封和真空转移装置。该装置包括：用于连接电镜真空样品室或者激光加工系统真空腔体侧壁的矩形气密法兰、用于封装测试样品的真空密封转移盒，用于实现样品与电镜或者微纳激光加工系统衔接的高精度支架和夹具结构、用于控制真空密封转移盒的机械臂解锁机构本发明可以广泛应用于各种型号扫描电镜、电子束及离子束双束电镜或微纳激光加工系统跨平台连接和真空转移，形成系统性样品装配、保护、转移和送入装置。
激光加工系统真空密封跨平台电子束真空腔体侧壁真空转移装置真空样品室材料测试封装测试夹具结构解锁机构开启状态气密法兰扫描电镜送入装置样品密封真空转移观察窗过渡仓机械臂离子束仓门支架装配衔接观察应用

[发明专利]一种利用扫描电镜检测石墨烯微片层分布的方法-CN201611243813.9有效
发明人：陈庆;曾军堂 -专利权人：成都新柯力化工科技有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明涉及石墨烯材料检测领域，具体涉及一种利用扫面电镜检测石墨烯微片层分布的方法。通过磁化石墨烯微片，使石墨烯微片沿径向定向排列，采用扫描电镜通过对样品正面电镜扫描直观的估算出石墨烯微片的径向分布情况；通过多层径向定向排列样品的重叠，观测横截面石墨烯微片层厚的分布。克服了现有光学观测采用强力分散破坏石墨烯原有分布的缺陷，可以真实的的反应石墨烯材料的层数分布，可以快速估算出石墨烯微片中多层石墨烯、100层以上的石墨烯微片以及少量石墨的分布情况，对评估石墨烯材料质量以及研究规模化机械研磨剥离制备石墨烯工艺具有重要意义
一种利用扫面电镜检测石墨烯微片层分布方法