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[发明专利]红外太赫兹光谱仪-CN202210403004.9在审
发明人：夏项团;俞圣亮 -专利权人：浙江悟空光电科技有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01J3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外太赫兹光谱仪，包括太赫兹光学系统、焦平面探测器和太赫兹图像处理装置；太赫兹光学系统包括发射波长为30‑300微米太赫兹波信号的太赫兹光源、入射光调整装置和出射光调整装置；焦平面探测器包括Ge探测器和读出电路，读出电路与太赫兹图像处理装置电连接。本发明采用30‑300微米的太赫兹红外光光谱成像，由太赫兹光源产生的太赫兹波信号，经入射光调整装置发射至待测物品后反射或透射，经出射光调整装置传送给Ge探测器，Ge探测器根据待测物品反射或透射的太赫兹波信号生成太赫兹光谱信息通过读出电路传输给太赫兹图像处理装置
红外赫兹光谱仪

[发明专利]用于测量试验对象的太赫兹测量装置和太赫兹测量方法-CN201780047434.9有效
发明人： R·克洛泽 -专利权人：伊诺埃克斯挤压技术创新设备公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于通过运行时间测量在确定至少一个第一距离的情况下来测量试验对象的太赫兹测量装置，具有：用于发射太赫兹辐射并且探测由试验对象反射的第一太赫兹辐射的太赫兹发射和接收单元，和用于确定太赫兹辐射的第一运行时间和试验对象的至少一个第一距离的评估单元，规定：设有至少一个被动的太赫兹接收设备，其光轴相对于太赫兹发射和接收单元的光轴位错或倾斜地设置并且探测由太赫兹发射和接收单元发射的且在试验对象上反射的第二太赫兹辐射；设有数据连接，用于借助于同步信号来同步太赫兹发射和接收单元和所述被动的太赫兹接收单元，评估单元或太赫兹接收单元由反射的第二太赫兹辐射和同步信号确定第二运行时间和第二距离。
用于测量试验对象赫兹装置测量方法

[发明专利]太赫兹近场探头及利用太赫兹波提取被测对象信息的方法-CN201710335965.X有效
发明人：郑渚;丁庆 -专利权人：深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;深圳市太赫兹科技创新研究院
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G01S13/89 文献下载
摘要：本发明涉及一种太赫兹近场探头及利用太赫兹波提取被测对象信息的方法，该太赫兹近场探头为Y字形结构的索末菲波波导，该Y字形结构的三端分别为太赫兹耦合端、太赫兹探测端和探头，该探头为亚波长针尖结构，分别连接所述太赫兹耦合端和太赫兹探测端，太赫兹探测波在针尖结构的尖端近场处聚焦突破衍射极限，将太赫兹探测波发射给被测对象，尖端还用于接收从被测对象反射回来的回波信号，太赫兹探测端接收并传导该回波信号；利用索末菲波波导的表面等离子体模式，通过Y字形结构的两个分支实现太赫兹探测波的耦合和探测，在针尖结构的尖端处太赫兹探测波聚焦突破衍射极限发射至被测对象，以实现被测对象的检测；该太赫兹近场探头结构简单、损耗低、色散低。
赫兹近场探头利用提取对象信息方法

[发明专利]太鼓环移除方法-CN202210191578.4有效
发明人：高金龙;葛凡;张宁宁;周鑫;蔡国庆 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示了太鼓环移除方法，该方法在通过移除机构进行太鼓环的移除之前，通过检测装置检测太鼓环，控制装置根据检测装置的检测信号来判断所述太鼓环是否是一个整体；当确定太鼓环不是一个整体时，控制装置发出警报且控制移除机构不进行太鼓环的移除；当确定太鼓环是一个整体时，控制装置控制移除机构进行太鼓环的移除。本方案采用先进行太鼓环完整性检测，再进行移除的方式，能够有效地根据太鼓环的实际情况来控制移除机构的动作，可以在太鼓环不是一个整体的情况下进行报警，提醒人工处理，以避免由于太鼓环损坏无法移除，导致晶圆无法顺利进行后续加工的问题同时可以避免太鼓环异常情况下，移除机构的无效动作，有利于及时减小损失。
太鼓环移方法

[发明专利]一种反射式太赫兹液晶相控阵面测试系统及方法-CN202110477083.3有效
发明人：朱学凯;李祥祥;李龙;陶静 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七二三研究所
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01R29/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种反射式太赫兹液晶相控阵面测试系统及方法。系统包括矢量网络分析仪、太赫兹发射天线、反射式太赫兹液晶相控阵面、太赫兹接收天线、机器人端拾器、主控计算机。矢量网络分析仪发出毫米波信号，毫米波信号经第一扩频模块放大倍频到太赫兹频段，并经太赫兹发射天线照射至反射式太赫兹液晶相控阵面，反射式太赫兹液晶相控阵面将接收到的太赫兹信号反射出去，太赫兹接收天线安装在机器人端拾器上，并接收反射式太赫兹液晶相控阵面反射出的太赫兹信号，经第二扩频模块降频至毫米波频段，传递给矢量网络分析仪计算参数并传递给主控计算机。本发明实现了反射式太赫兹液晶相控阵面的远场测试，同时具有成本低廉、测试效率高的优点。
一种反射赫兹液晶相控阵测试系统方法

[发明专利]高速太赫兹波调制装置及其方法-CN201210373275.0无效
发明人：李九生 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速太赫兹波调制装置及其方法。它包括太赫兹波输入端、激光输入端、太赫兹波输出端、太赫兹波探测器、半圆柱形高阻硅透镜、金属薄膜层和基体；在基体上设有金属薄膜层，金属薄膜层上设有半圆柱形高阻硅透镜，半圆柱形高阻硅透镜下底面为长方形，半圆柱形高阻硅透镜下底面与金属薄膜层相连，太赫兹波从太赫兹波输入端输入，在没有外加激光的条件下，太赫兹波被反射回太赫兹波输出端，太赫兹波输出端相应位置设有太赫兹波探测器。本发明的高速太赫兹波调制装置具有结构简单紧凑，体积小、制作方便，响应速度快，易于调节，满足在太赫兹波成像、产品检测、太赫兹无线通信系统等领域应用要求。
高速赫兹调制装置及其方法

[实用新型]一种太赫兹光谱仪及太赫兹收发探头-CN201420044642.7有效
发明人：雷江波;孟坤;朱礼国;刘乔;钟森城;翟召辉 -专利权人：中国工程物理研究院流体物理研究所
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： G01N21/27 文献下载
摘要：本实用新型涉及属于太赫兹时域光谱诊断技术领域，尤其是一种太赫兹光谱仪及太赫兹收发探头。本实用新型所要解决的技术问题是：目前太赫兹时域光谱系统大多采用离轴抛面镜对太赫兹脉冲进行空间传播，在结构上复杂，光程长，稳定性差，使太赫兹波的能量利用率低下。针对上述存在的问题，提供一种太赫兹光谱仪及太赫兹收发探头，通过太赫兹转换器将激光器发射的激光转换为探测光和泵浦光，进而通过太赫兹收发探头接收太赫兹转换器输出探测光和泵浦光，进行样品反射式探测和透射式探测解决了现有技术中存在的太赫兹光谱仪结构复杂，体积大的问题。本实用新型应用于太赫兹光谱成像与诊断应用领域。
一种赫兹光谱仪收发探头

[实用新型]一种用于太赫兹探测的光学耦合结构-CN201922294454.5有效
发明人：张凯;沈文;董卓;孟祥 -专利权人：江苏盖姆纳米材料科技有限公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01J1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于太赫兹探测的光学耦合结构，属于太赫兹探测技术领域。主要包括透镜，所述透镜具有一平面和一球面，所述透镜的平面上设有衬底，所述衬底上设有太赫兹探测器件上，且所述太赫兹探测器件设于透镜的平面的中心；太赫兹波经所述透镜额球面、衬底后聚焦入射于太赫兹探测器件上。所述透镜的球面的半径R大于10倍的太赫兹波波长，且所述透镜的横截面大于太赫兹探测器件。所述透镜为高阻本征硅材质件的超半球硅透镜，所述衬底为高阻本征硅衬底。本申请减小太赫兹源的光斑大小，使其与太赫兹探测器件的有效接收面积大小一致，提高了太赫兹探测器件对入射太赫兹波的有效利用，从而提高太赫兹探测器的灵敏度。
一种用于赫兹探测光学耦合结构

[发明专利]太赫兹装置和太赫兹装置的制造方法-CN201980055069.5在审
发明人：鹤田一魁;金在瑛;柳田秀彰;向井俊和 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L23/29 文献下载
摘要：本发明提供一种太赫兹装置，其包括太赫兹元件、密封树脂、配线层和框状部件。上述太赫兹元件进行太赫兹波与电能量的转换。上述太赫兹元件具有在第1方向上分离的元件主面和元件背面。上述密封树脂覆盖上述太赫兹元件。上述配线层与上述太赫兹元件导通。上述框状部件由导电体形成，从上述第1方向看配置在上述太赫兹元件的周围。上述框状部件具有能够反射太赫兹波的反射面。
赫兹装置制造方法

[发明专利]一种太赫兹无透镜相干成像中干涉噪声抑制系统-CN202310834234.5在审
发明人：严强;李赜宇;孔维鹏;秦瑀;邹明芮;周逊 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种太赫兹无透镜相干成像中干涉噪声抑制系统，涉及太赫兹成像技术领域，该系统包括：太赫兹光源、成像目标放置器、散射介质和太赫兹相机；成像目标存放器用于放置成像目标；太赫兹光源出射太赫兹波后，先后经过成像目标和散射介质，并被太赫兹相机接收；其中，散射介质在图像采集过程中保持运动状态。本发明能够解决传统太赫兹无透镜相干成像系统中存在的太赫兹波在探测器窗口与成像目标之间来回反射造成的干涉噪声。
一种赫兹透镜相干成像干涉噪声抑制系统

[发明专利]隐身材料太赫兹反射率的测量系统-CN201310269542.4有效
发明人：周逊;郭超;罗振飞;李赜宇;王度;张庆伟 -专利权人：成都精密光学工程研究中心
申请日： 2013-07-01 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明公开一种隐身材料太赫兹反射率的测量系统，包括放置待检测隐身材料的样品台；太赫兹激光器；太赫兹光分束的分束镜；太赫兹功率计；太赫兹探测器；平行太赫兹光进行反射的反射镜，反射后的太赫兹光聚焦到待检测隐身材料的离轴抛面镜，以及对太赫兹激光的准直和辅助观察的HeNe激光器。用此系统可对隐身材料太赫兹反射率进行准确的测量。
隐身材料赫兹反射率测量系统

[发明专利]太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法-CN201910350476.0有效
发明人：黎华;李子平;万文坚;曹俊诚 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01N21/3581 文献下载
摘要：本发明涉及一种太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法，其中所述太赫兹光谱测量系统包括：两个太赫兹量子级联激光器，出射口相对设置；真空罩，设置于两个太赫兹量子级联激光器的出射口之间。所述太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法能够在保留片上双频梳系统的优点下，分离式太赫兹双频梳，解决了片上双频梳无法直接测量物质太赫兹谱的缺点。
赫兹光谱测量系统分析物质方法

[实用新型]基于太赫兹脉冲射线的硅橡胶老化与损伤检测系统-CN202122050777.7有效
发明人：张学敏;党军朋;杨永旭;罗康顺;岳斌;王庸道;史玉清;何鹏;李传秋;阮昱川 -专利权人：云南电网有限责任公司玉溪供电局
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01N21/3581 文献下载
摘要：提供了一种基于太赫兹脉冲射线的硅橡胶老化与损伤检测系统，包括：太赫兹脉冲射线参数仿真单元；太赫兹脉冲射线参数控制单元，与所述太赫兹脉冲射线参数仿真单元连接；太赫兹脉冲射线发射单元，与所述太赫兹脉冲射线参数控制单元连接；硅橡胶样品，设置于太赫兹脉冲射线的出射路径上，以及太赫兹脉冲射线接收单元，设置于所述硅橡胶样品反射和/或散射的太赫兹脉冲射线的路径上。
基于赫兹脉冲射线硅橡胶老化损伤检测系统

[发明专利]一种太赫兹异常光谱识别方法及系统-CN201810568711.7在审
发明人：邵桂芳;李铁军;文玉华 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01N21/3586 文献下载
摘要：本发明公开一种太赫兹异常光谱识别方法及系统。所述识别方法包括：获取样本点的太赫兹光谱数据集合，所述数据集合中包括每一个样本点对应的太赫兹光谱数据；所述样本点为太赫兹扫描的像素点；获取基于t分布随机邻域嵌入算法的太赫兹光谱识别模型；根据所述太赫兹光谱识别模型对所述太赫兹光谱数据集合进行识别，获得降维后的太赫兹光谱数据集合；对所述降维后的太赫兹光谱数据集合进行可视化分析，识别所述降维后的太赫兹光谱数据集合中的异常点。采用本发明的方法或系统，为进一步太赫兹光谱成像分析提供先验知识和基础，进而提高太赫兹图像识别的准确性和效率。
太赫兹光谱数据集合样本点降维异常光谱成像分析随机邻域图像识别先验知识可视化像素点异常点算法嵌入扫描分析

[发明专利]一种太赫兹波段偏振特性参数测试装置-CN201811607018.2在审
发明人：杨延召;李国超;吴斌 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十一研究所
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种太赫兹波段偏振特性参数测试装置，涉及太赫兹时域光谱系统测量领域。其解决了现有的太赫兹时域光谱系统的测量对象仅限于各向同性材料，在对具有偏振特性的材料进行分析时，常规太赫兹时域光谱仪系统就无能为力的不足。该太赫兹波段偏振特性参数测试装置，包括三电极太赫兹光电导发射天线、样品和三电极太赫兹光电导探测天线，三电极太赫兹光电导发射天线、样品和三电极太赫兹光电导探测天线依次设置且中心点位于同一直线上，所述三电极太赫兹光电导发射天线产生0°、45°和90°三个方向的线偏振太赫兹波，所述三电极太赫兹光电导探测天线形成45°方向电极、竖直方向电极和水平方向电极。
光电导三电极偏振特性参数测试装置太赫兹波段发射天线探测天线太赫兹时域光谱系统方向电极太赫兹时域光谱仪各向同性材料测量对象测量领域太赫兹波同一直线依次设置线偏振中心点电极竖直分析