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- [实用新型]一种全自动双瓶特气柜-CN202122418112.7有效
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华桂军;蒋华露
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上海制杰机电科技有限公司
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2021-10-08
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2022-05-24
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F17C13/08
- 本实用新型公开了一种全自动双瓶特气柜，具体涉及特气柜技术领域，包括全自动双瓶特气柜，所述全自动双瓶特气柜前端两侧的内部均铰接有操作柜门，所述全自动双瓶特气柜前端下方的两侧均铰接有下防爆柜门，所述全自动双瓶特气柜顶部的前端固定安装有操作箱通过在全自动双瓶特气柜的内部设置有特气瓶固定内架方便对特气瓶进行固定，根据特气瓶的大小滑动调节调节固定环块，从而方便调节合适的高度，将特气瓶卡入调节固定环块内，通过调节橡胶限位弧形板可以对特气瓶的外部进行限位固定，且内壁设有内防护减震垫质地较软，防护性强，从而防止特气瓶产生硬性碰撞，使得工作更加的稳定。
- 一种全自动双瓶特气柜
- [实用新型]特气管路装置-CN201220624906.7有效
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李智洋
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英利能源（中国）有限公司
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2012-11-22
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2013-05-29
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C23C16/455
- 本实用新型提供了一种特气管路装置，包括：特气管、用于固定支撑特气管的支架和覆盖在特气管表面的特气槽，特气槽设置有顶端弯折部，特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，卡接装置一端固定于支架，顶端弯折部设置有与卡接装置配合的通孔应用本实用新型的技术方案，设置卡接装置和固定装置限制特气槽上的顶端弯折部，使特气槽的顶端弯折部直接受力紧贴于特气管上设置特气孔的表面，限制特气槽的活动或变形，防止特气槽远离特气管，延长特气槽的使用时间，保证特气均匀。
- 管路装置
- [发明专利]电子特气的提纯方法-CN202210963192.0在审
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李东升
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上海正帆科技股份有限公司
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2022-08-11
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2022-10-11
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B01D53/04
- 本申请实施例提供一种电子特气的提纯方法，属于半导体制造气体提纯技术领域。电子特气为烷类气体，提纯方法包括吸附流程：采用碱处理改性和/或酸处理改性的多孔碳对电子特气原料气中的电子特气进行吸附，使得电子特气原料气中的电子特气和杂质气体分离。该提纯方法采用吸附提纯处理方式，能避免提纯能耗高、物料损失多的问题；其中使用到的改性多孔碳对电子特气有较好的吸附活性、吸附选择性和吸附容量，能有效地吸附电子特气实现电子特气和杂质气体的分离，从而能有效去除电子特气原料气中的多种杂质气体
- 电子提纯方法
- [发明专利]一种定量输送的液态特气输送柜-CN202211352648.6有效
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朱学明;陈伟才;单欢欢;李超
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安徽壹月科技有限公司
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2022-11-01
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2023-01-06
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F17C3/10
- 本申请公开了应用于特气输送领域的一种定量输送的液态特气输送柜，该方案通过向特气瓶内部加注高压氮气使得液态特气进入输送管，利用液态特气可以提供更持久的生产力，提高了生产效率，当管道内部压力减小或者外界温度过高导致液态特气提前汽化，致使电磁流量计计量出现偏差，利用气液分离器使得液态特气与气态特气分离，分别进入不同管道内部分别计量，提高了对液态特气的流量的精准把控，同时可以利用控制柜对汽化的程度进行实时监控，配合隔膜泵将气态特气重新压缩成液态并收集于液化瓶内部，当生产需求增大时，可以将液化瓶内部的液态特气补充输送到生产车间，利用导液管内部的微型流量计配合电磁流量计更准确的定量输送液态特气。
- 一种定量输送液态
- [实用新型]具有警报功能的特气供应装置-CN202320639854.9有效
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王春林;郭开春
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阁壹工程技术（上海）有限公司
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2023-03-27
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2023-08-29
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F17C13/08
- 本实用新型公开了具有警报功能的特气供应装置，属于特气供应装置技术领域，本实用新型包括特气供应机构，所述特气供应机构内部的特气瓶顶部安装有警报机构，所述特气供应机构的顶部安装有清理机构，所述警报机构包括成对的外壳，所述特气供应机构特气瓶的顶部固定连接有两个外壳，所述特气供应机构的两侧均固定连接有警报器，两个外壳通过螺栓固定，并且外壳通过螺栓与特气瓶固定，使得警报机构便于拆卸安装，并且圆板和圆环便于进行更换维修，便于对警报机构各个零件进行维修更换，避免整体更换节约了成本，在特气瓶漏气时，警报器通过声音和光亮作出警报，便于工作人员及时处理，使用更加安全方便。
- 具有警报功能供应装置
- [实用新型]一种特气加热装置-CN202021997886.9有效
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张猛
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上海吉威电子系统工程有限公司
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2020-09-14
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2021-04-30
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F17C9/02
- 本实用新型属于特种气体供应技术领域，尤其为一种特气加热装置，包括装置外壳体，所述装置外壳体内安装有装置加热管，且在所述装置外壳体的顶面分别安装有与所述装置加热管两端连通的进气口和排气口；所述装置加热管为螺旋状结构；还包括特气钢瓶，在所述特气钢瓶上套接有加热电夹克，所述特气钢瓶通过管道与所述进气口连通；本实用新型的特气加热装置，特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后从进入装置加热管中，然后从排气口出去供应到机台端，由于装置外壳体内的装置加热管为螺旋管状结构，既能够缓存一定量的特气，又能保证稳定的特气状态，以实现机台对于特气的不间断需求，有效的解决了特气供应不顺畅的问题。
- 一种加热装置
- [实用新型]一种特气防爆纯化装置-CN202223411432.0有效
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董文平;王英民
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潍坊众成自动化设备有限公司
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2022-12-20
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2023-06-16
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B01D53/04
- 本实用新型属于特气纯化技术领域，涉及一种特气防爆纯化装置，包括防爆罐，防爆罐内设有净化筒和加热部，净化筒内设有导气管，导气管内设有分子筛，导气管外套设有螺旋套壳，导气管的上部和下部分别与加热部连通，加热部内设有绞龙，绞龙与电机的输出轴连接，防爆罐的一侧壁设有固定架，固定架内设有震动机构。本实用新型可将导气管内的分子筛导入加热部内进行流动加热活化，震动机构会对导气管产生碰撞，加速导气管内的分子筛下落，而残留在分子筛内的特气上升从导气支管排出，从而可避免加热活化分子筛时特气易燃而产生爆炸，
- 一种防爆纯化装置
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