专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体工艺的炉门及半导体工艺-CN202210461291.9在审
  • 程晨 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-04-28 - 2022-07-22 - C23C16/44
  • 本发明提供一种半导体工艺的炉门及半导体工艺,炉门本体用于对半导体工艺的炉体进行密封,炉门本体中设置有气冷通道,气冷通道均匀分布在炉门本体中,气冷通道用于供预设温度的冷却气体通入,冷却气体包括在预设温度下为气态的工艺副产物;检测组件用于检测气态的工艺副产物是否在气冷通道中冷凝;加热部件设置在炉门本体上,用于在检测组件检测到气态的工艺副产物在气冷通道中冷凝时,对炉门本体进行加热,直至工艺副产物恢复为气态。本发明提供的半导体工艺的炉门及半导体工艺,能够减少工艺副产物冷凝颗粒及金属离子的产生,从而能够改善工艺结果,并能够延长零部件的使用寿命,从而能够提高工艺的利用率。
  • 半导体工艺炉门
  • [发明专利]全钢制氯化氢合成装置-CN201410107711.9有效
  • 彭栋友;张英 - 德阳劲达节能科技有限责任公司
  • 2014-03-23 - 2014-07-30 - C01B7/01
  • 本发明公开了一种全钢制氯化氢合成装置,其包括:合成、汽包、及连接在合成和汽包之间的两根导管,所述合成包括合成段、位于合成段上方的副产蒸汽段、及位于副产蒸汽段上方的冷却段,所述合成段用于氢气和氯气在其内合成氯化氢,所述副产蒸汽段上设有第一接头和第二接头,所述两根导管包括与第一导管和第二导管,所述第一导管连接第一接头至汽包,所述第二导管连接第二接头至汽包,所述汽包的另一端还连接有第三导管和第四导管,所述第三导管用于输出副产蒸汽本发明的氯化氢合成装置经过汽包处理后输出副产蒸汽,提高了蒸汽热能利用率。
  • 钢制氯化氢合成装置
  • [实用新型]全钢制氯化氢合成装置-CN201420130775.6有效
  • 彭栋友;张英 - 德阳劲达节能科技有限责任公司
  • 2014-03-23 - 2014-09-03 - C01B7/01
  • 本实用新型公开了一种全钢制氯化氢合成装置,其包括:合成、汽包、及连接在合成和汽包之间的两根导管,所述合成包括合成段、位于合成段上方的副产蒸汽段、及位于副产蒸汽段上方的冷却段,所述合成段用于氢气和氯气在其内合成氯化氢,所述副产蒸汽段上设有第一接头和第二接头,所述两根导管包括与第一导管和第二导管,所述第一导管连接第一接头至汽包,所述第二导管连接第二接头至汽包,所述汽包的另一端还连接有第三导管和第四导管,所述第三导管用于输出副产蒸汽本实用新型的氯化氢合成装置经过汽包处理后输出副产蒸汽,提高了蒸汽热能利用率。
  • 钢制氯化氢合成装置
  • [发明专利]合成氯化氢余热副产品中压蒸汽-CN201210415783.0无效
  • 陈云龙 - 丹阳锅炉辅机厂有限公司
  • 2012-10-26 - 2014-05-07 - C01B7/01
  • 本发明是合成氯化氢余热副产品中压蒸汽,包括石墨发生,在石墨发生的上方设置水冷壁余热,在水冷壁余热的上方设置有石墨冷却器,在水冷壁余热下方一侧设置有预热器,在水冷壁余热的上端另一侧通过管道连接有汽包,在水冷壁余热四周分别设置有水冷壁炉管,预热器通过管道与水冷壁炉管连接,在石墨冷却器的顶端设置有防爆口,在石墨发生的下端设置有两个氢气进口和一氯气进口。本发明通过汽包收集副产品中压蒸汽供热,节约了水资源,利用了副产品余热蒸汽,产生可观的经济效益,环保节能。
  • 合成氯化氢余热副产品蒸汽
  • [实用新型]具有尾气处理装置的副产蒸汽氯化氢合成系统-CN201320320246.8有效
  • 单玉楼;黄宜勇 - 东台市通港石墨设备有限公司
  • 2013-06-05 - 2014-01-15 - C01B7/01
  • 本实用新型公开了一种具有尾气处理装置的副产蒸汽氯化氢合成系统,属于化工设备领域。所述具有尾气处理装置的副产蒸汽氯化氢合成系统包括副产蒸汽氯化氢合成和与之连接的汽包;所述具有尾气处理装置的副产蒸汽氯化氢合成系统还包括尾气处理装置,所述尾气处理装置与氯化氢气体出口连接,即为具有硅粉的三氯氢硅合成本实用新型通过合成高温区段设置的钢制水冷壁炉筒,合成段顶部和底部区段设置的石墨材质筒,既克服了石墨筒强度低和使用温度受限制的缺点,又克服了合成段顶部和底部容易腐蚀的缺点,使氯化氢合成中的热能得到充分利用
  • 具有尾气处理装置蒸汽氯化氢合成系统

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