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[发明专利]湿法锂电池隔膜废料回制的弹性材料及其制备方法、应用-CN201911003196.9在审
发明人：徐建平;翁星星;刘涛涛;陆文文 -专利权人：江苏厚生新能源科技有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C08L53/02 文献下载
摘要：本发明属于锂电池隔膜技术领域，具体涉及一种湿法锂电池隔膜废料回制的弹性材料及其制备方法、应用。其中，湿法锂电池隔膜废料回制的弹性材料，其配方按重量份组成包括含油原料、弹性体和填充剂；其中将湿法锂电池隔膜废料或去除部分石蜡油的湿法锂电池隔膜废料作为所述含油原料。不需要对湿法锂电池隔膜废料进行复杂工艺处理，可以有效回收利用湿法锂电池隔膜中产生的废料，可以有效降低生产成本，提高废料利用率。
锂电池隔膜湿法含油原料复杂工艺有效回收石蜡油填充剂重量份去除制备配方应用

[发明专利]清洗机台以及清洗方法-CN202010982723.1在审
发明人：郗宁 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种清洗机台以及清洗方法，其中，清洗机台包括：湿法清洗模块，用于对晶圆执行湿法清洗工艺；干法清洗模块，用于对晶圆执行干法清洗工艺；输送模块，用于将晶圆输入至湿法清洗模块或干法清洗模块中，或用于将湿法清洗模块或干法清洗模块中的晶圆输出；传送模块，用于将晶圆从湿法清洗模块传送至干法清洗模块，或用于将晶圆从干法清洗模块传送至湿法清洗模块；处理模块，用于抽取传送模块中的气体；本发明实施例提高填充刻蚀缺陷形成的半导体结构的稳定性
清洗机台以及方法

[发明专利]防止湿法脱硫出口烟道低温腐蚀的装置及控制方法-CN201110284483.9有效
发明人：马安君;瞿文军;李玉峰 -专利权人：沈阳铝镁设计研究院有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： B01D53/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种湿法脱硫出口烟道，尤其涉及一种防止湿法脱硫出口烟道低温腐蚀的装置及控制方法。防止湿法脱硫出口烟道低温腐蚀的装置，包括湿法脱硫出口烟道，湿法脱硫出口烟道上设有烟气分析仪和温度测量仪表，湿法脱硫出口烟道通过高温空气管道与高温烟道连接，在高温烟道上设有换热器，高温空气管道与换热器一端连接
防止湿法脱硫出口烟道低温腐蚀装置控制方法

[发明专利]湿法干法叠加套刻加工不同深度芯片槽的方法及装置-CN201910773935.6有效
发明人：杨晓;陶宇骁;张成瑞;周亮 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明湿法干法叠加套刻加工不同深度芯片槽的方法及装置，包括如下步骤：步骤1，在衬底上制备保护膜；步骤2，利用湿法刻蚀，形成湿法槽；步骤3，利用干法刻蚀湿法槽，将湿法槽加工成芯片槽。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：解决了湿法刻蚀中误刻过刻和芯片槽过大定位困难等问题。同时还解决了干法刻蚀芯片槽与芯片中间缝隙过小，导致导电银浆加热时，介质层产生气泡的问题。
湿法叠加加工不同深度芯片方法装置

[发明专利]一种硅湿法腐蚀深度的监控结构及监控方法-CN201110413966.4在审
发明人：张新伟;夏长奉;范成建;苏巍 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司
申请日： 2011-12-13 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅湿法腐蚀深度的监控结构及相关监控方法。该监控结构包括形成在单晶硅材料上的至少两个顶面为矩形的湿法腐蚀凹槽；且至少有两个湿法腐蚀凹槽的顶面宽度分别为Wu和Wl，Wu＝du/0.71，Wl＝dl/0.71，du为所要监控的湿法腐蚀深度最大值，dl为所要监控的湿法腐蚀深度最小值。所述监控方法根据具有监控图形的版图对单晶硅片进行各向异性的湿法腐蚀，形成所需监控的腐蚀槽以及用于监控该腐蚀槽深度的监控结构，然后对所得监控结构进行监视，从而实现对湿法腐蚀深度的监控。
一种湿法腐蚀深度监控结构方法

[发明专利]减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法-CN201610957469.3在审
发明人：顾晶伟;陆益;李超;刘宗帅 -专利权人：安徽富芯微电子有限公司
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法，依次包括底膜预处理、一次光刻、二次光刻和湿法腐蚀，使得基片进行湿法腐蚀前进行两次光刻胶保护。本发明的减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法，在通过不增加其它任何设备的情况下，在现有的生产条件下，提高湿法腐蚀质量。本发明在一次光刻后，湿法腐蚀前，进行第二次光刻，得到两次完全重合的光刻图形。通过两次光刻后，得到较厚的光刻胶膜，能有效阻挡腐蚀液穿透光刻胶膜，避免腐蚀液与衬底发生反应，减少钻蚀，在不降低图形分辨率的情况下，提高光刻胶膜厚度，减少湿法腐蚀后的钻蚀量。
减少光刻湿法腐蚀钻蚀工艺方法

[发明专利]适用于燃煤电厂湿法脱硫系统的节能潜力评估方法及系统-CN202111267178.9在审
发明人：张奔;王宏武;李杨;周元祥;林琳;穆祺伟;翟鹏程;雒青 -专利权人：西安热工研究院有限公司;西安西热节能技术有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于燃煤电厂湿法脱硫系统的节能潜力评估方法及系统，包括以下步骤：将实际入炉煤参数输入到湿法脱硫系统浆液循环泵运行台数模型中，得本段时间内湿法脱硫系统的最少浆液循环泵运行台数Nopt；根据本段时间内湿法脱硫系统的最少浆液循环泵运行台数Nopt、湿法脱硫系统的实际耗电率W实际、机组发电量P发电以及单台浆液循环泵运行功率P浆液循环泵计算燃煤电厂湿法脱硫系统的节能潜力，该方法及系统能够准确获取湿法脱硫系统的节能潜力
适用于燃煤电厂湿法脱硫系统节能潜力评估方法

[发明专利]一种具有气体质量检测功能的湿法脱酸设备-CN202310812056.6在审
发明人：浦东山;刘晓霞;李程鹏 -专利权人：江苏东本环保工程有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B01D53/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有气体质量检测功能的湿法脱酸设备，湿法脱酸设备包括湿法塔、导流装置、中和装置、循环装置和臭氧发生器，导流装置和湿法塔管道连通，湿法塔和中和装置紧固连接，中和装置和导流装置管道连通，循环装置进口和湿法塔管道连通，循环装置出口和中和装置连通，臭氧发生器和导流装置管道连通，在进入湿法塔前，通过臭氧与烟气中NOx和SOx发生反应，从而形成易溶于水的酸酐，再通过中和装置提供碱液，例如氢氧化钠溶液，和烟气中的酸性物质反应
一种具有气体质量检测功能湿法脱酸设备

[发明专利]一种低品位膨润土的湿法提纯工艺-CN202310920280.7在审
发明人：冯友德;吕敏;马志军;高志刚;张博文 -专利权人：黑龙江龙兴国际资源开发集团有限公司;辽宁工程技术大学
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B33/40 文献下载
摘要：本发明提供一种低品位膨润土的湿法提纯工艺，包括以下步骤：1)将低品位膨润土破碎，获得破碎产物；2)将破碎产物进行筛分，将筛上粗粒级产物返回破碎工序继续破碎；3)将筛下产物进行擦洗，获得膨润土矿浆；4)将矿浆使用三级旋流器进行分级，获得湿法提纯精矿产品。本发明的低品位膨润土的湿法提纯工艺，选用低品位膨润土为原料，采用原矿破碎‑筛分‑擦洗‑分级的湿法提纯工艺，可以有效提高湿法提纯产品中蒙脱石的品位和回收率，与现有湿法提纯工艺相比，蒙脱石矿物含量可提高25％以上，回收率在57％以上，回收率提高10％以上，提纯效果明显提高，降低了现有湿法提纯工艺的使用局限性。
一种品位膨润土湿法提纯工艺

[实用新型]一种硅湿法腐蚀槽大尺寸开口宽度的监控结构-CN202020484870.1有效
发明人：汪鹏;徐建卫;徐艳 -专利权人：上海矽安光电科技有限公司
申请日： 2020-04-07 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅湿法腐蚀槽大尺寸开口宽度的监控结构，包括：单晶硅寸底以及若干个湿法腐蚀凹槽，若干个所述湿法腐蚀凹槽开设在单晶硅寸底上，所述湿法腐蚀凹槽顶面为矩形；本实用新型涉及硅湿法腐蚀监控技术领域,该硅湿法腐蚀槽大尺寸开口宽度的监控结构，巧妙利用了硅各向异性湿法腐蚀的特点，可以根据产品腐蚀槽开口宽度的要求，设计出相应的监控图形，在形成产品腐蚀槽的同吋形成监控结构，通过监视监控结构，从而直观、便捷地监控产品腐蚀槽的腐开口宽度
一种湿法腐蚀尺寸开口宽度监控结构

[实用新型]一种危废焚烧脱酸处理系统-CN202122306581.X有效
发明人：马建邦;张延堂;田延杰;刘吉如 -专利权人：玉门市润泽环保再生能源新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种危废焚烧脱酸处理系统，包括液碱储存罐、纯碱料仓、湿法脱酸池、湿法脱酸塔，所述液碱储存罐、纯碱料仓的底部出料口分别通过输送管A、螺旋输送机与所述湿法脱酸池的进料口连接；所述湿法脱酸塔的上端通过输送管B与所述湿法脱酸池的底部连接、下端通过输送管C与所述湿法脱酸池的进料口连接，该湿法脱酸塔一侧底部设置有气体输入管、另一侧上部设置有气体输出管。
一种焚烧脱酸处理系统

[实用新型]密封取样装置及湿法制粒机-CN202222932521.3有效
发明人：刘涛;岳伟功;黄浩;贾帅帅;苏彪;李德良;胡伟龙;姚磊岳;罗晓健;杨威 -专利权人：翰林航宇（天津）实业有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及取样领域，提供一种密封取样装置及湿法制粒机。密封取样装置包括取样主体、取样组件和样本密封组件。取样主体与湿法制粒机连接，取样主体具有取样通道以及与取样通道连通的取样口，取样主体通过取样口与湿法制粒机连通；取样组件安装于取样通道内，取样组件的一端由取样口伸入湿法制粒机内，至少部分取样组件活动设置于取样通道和湿法制粒机内，以对湿法制粒机内的样品进行取样；样本密封组件与取样通道连通，用于对取样组件取得的样品进行密封。本实用新型密封取样装置具有结构简单、实用性强的优点，可以有效地防止湿法制粒机内的原料受到污染，还可以保障后续检测样品的湿度、粒径等指标的准确性。
密封取样装置湿法制粒机

[发明专利]晶片湿法蚀刻装置及其湿法蚀刻方法-CN200510118748.2有效
发明人：彭国豪;曾国邦 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2005-10-31 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种晶片湿法蚀刻装置及其湿法蚀刻方法。晶片湿法蚀刻方法包括以下步骤。首先，将一晶片置入于一蚀刻液中。接着，在蚀刻液中转动晶片。
晶片湿法蚀刻装置及其方法

[发明专利]一种湿法制粒生产系统及使用方法-CN202011584995.2在审
发明人：吴玉升;徐源术;朱毅;刘健 -专利权人：楚天科技股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： A61J3/00 文献下载
摘要：一种湿法制粒生产系统，包括湿法制粒机、湿法整粒机、流化床、提升整粒机、进风组件以及排风组件湿法整粒机、流化床和提升整粒机均通过管路与进风组件的出风口相连，湿法制粒机上设有吸料部件，湿法制粒机、流化床和提升整粒机均通过管路与排风组件的进风口相连湿法制粒生产系统的使用方法，包括步骤S1.1、湿法制粒机负压上料；S1.2、流化床负压上料；S1.3、提升整粒机负压上料：物料在流化床内进行干燥，将提升整粒机与排风组件、以及流化床与提升整粒机连通，并调节流化床的进风风量和排风风量
一种湿法生产系统使用方法

[发明专利]一种湿法脱硫滤液水回收利用系统及方法-CN202210558410.2在审
发明人：余武高;程文峰;胡海舰;黄荣辉;卫健;施斌;赵鹏勃;李楠;刘世杰;肖嘉鸣;温君;谢文辉;茹宇;刘嘉晔;贺建建;徐包先;王胜 -专利权人：国家电投集团江西电力有限公司分宜发电厂;北京华能长江环保科技研究院有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B01D53/50 文献下载
摘要：本申请提供一种湿法脱硫滤液水回收利用系统及方法，涉及废水处理回收领域。湿法脱硫滤液水回收利用系统，其包括：湿法脱硫机构、浆液处理机构、第一容器、第二容器、燃烧机构和至少一个喷枪。浆液处理机构处理湿法脱硫机构产生的石膏浆液得到滤液水，然后将得到的滤液水用于和脱硝剂溶液混合得到稀释脱硝溶液，稀释脱硝溶液能够通过喷枪重新回到燃烧机构中用于脱硝处理。本申请的湿法脱硫滤液水回收利用系统能够充分利用湿法脱硫机构产生的石膏浆液，在处理后用于脱硝工艺，节约了水资源，并且节省了处理湿法脱硫机构产生的石膏浆液的成本。且湿法脱硫滤液水回收利用系统是在现有结构上进行改进得到的，改进工作量小，改造成本低，易于推广应用。
一种湿法脱硫滤液回收利用系统方法