专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]提高衬底温度均匀性的外延托盘-CN202210128580.7在审
  • 蒋媛媛;纪磊;胡烨伟 - 华灿光电(浙江)有限公司
  • 2022-02-11 - 2022-07-01 - C30B25/12
  • 本公开公开了一种提高衬底温度均匀性的外延托盘,属于外延生长技术领域。外延托盘为圆柱体状,外延托盘包括相互平行且相反的第一表面与第二表面,外延托盘在第一表面具有多个同心的衬底放置圈,每个衬底放置圈都包括多个沿外延托盘的周向均匀分布的圆形凹槽,圆形凹槽的底面具有同心的环形支撑凸起外延托盘的第二表面多个同心的调节圈,每个调节圈均包括沿外延托盘周向均匀分布的圆形调节槽,圆形调节槽的直径小于环形支撑凸起的内径,每个圆形调节槽在第一表面的正投影的圆心均与一个圆形凹槽的底面圆心重合,降低衬底的圆心部分与衬底的边缘部分的温度差,温度更为均匀
  • 提高衬底温度均匀外延托盘
  • [发明专利]提高基板温度均匀度的基座-CN201810027062.X有效
  • 韩相镇;朴相明;朴相元 - 合肥微睿光电科技有限公司
  • 2018-01-11 - 2021-05-04 - H01L21/67
  • 本发明公开了提高基板温度均匀度的基座,包括PECVD腔室和基座,所述PECVD腔室的底部连接有反应腔室,PECVD腔室的顶部插有气体注入管,气体注入管的底部连接有等离子电极,反应腔室的底部插有竖直的移送手段基座的板状本体底面形成有凹槽槽体,凹槽槽体内放置有主电热线,主杆体为两侧开口的中空管状,主电热线向基座的中心延伸,并穿过基座的中心槽,中心槽内设有中心电热线,中心电热线上设有电热缠线,电热缠线内缠绕有云母板,本发明体加热均匀,平衡了中心槽温度与周边温度的差别,保证蒸镀膜成膜厚度均匀
  • 提高温度均匀基座
  • [发明专利]提高温度均匀度的基座-CN201810027063.4有效
  • 朴相明;沈国宝 - 合肥微睿光电科技有限公司
  • 2018-01-11 - 2020-05-22 - H01L21/687
  • 本发明公开了提高温度均匀度的基座,包括本体,本体的内部设置固定有电热板,电热板的底端开设有插入槽,插入槽的一端与连接槽连通,连接槽开设在电热板的中部,且电热板的中部开设有热感应器槽,本体的底端设置固定有盖板本发明提高温度均匀度的基座,提高电热板中心部位的温度,从而提高整体的温度均匀度,以此得到在蒸镀工艺中显著降低被处理物不良发生率的效果。
  • 提高温度均匀基座
  • [实用新型]温度均匀的有机肥发酵池-CN201420603677.X有效
  • 宋义昌 - 成都双流牛牛生物科技有限公司
  • 2014-10-17 - 2015-02-18 - C05F17/02
  • 目的是提供一种温度均匀的有机肥发酵池,包括发酵池、温度控制系统以及与温度控制系统电连接的温度传感器和加热装置,所述发酵池的一端侧壁具有卸料门,所述加热装置包括均匀分布于发酵池内部的多根加热棒,所有加热棒垂直于发酵池的底面设置本实用新型保证了整个发酵过程中,原料堆的内外层温度保持均匀,从而保证了原料发酵的均匀性,使生产得到的有机肥产品均匀程度高。
  • 温度均匀有机肥发酵
  • [实用新型]直插式温度均匀性测量系统-CN201720452939.0有效
  • 李琳;曾爱群 - 上海汇森益发工业炉有限公司
  • 2017-04-27 - 2017-12-01 - F27D21/00
  • 本实用新型涉及一种直插式温度均匀性测量系统,用于测量真空炉内的温度,所述测量系统包括装设于真空炉的壳体上的安装结构,所述安装结构上开设有与所述真空炉的内部相连通的贯穿孔;插设于所述贯穿孔并安装固定于所述安装结构上的热电偶,所述热电偶的第一端伸入所述真空炉的内部并形成测温端部,所述热电偶的与所述第一端相对的第二端位于所述真空炉的外部形成温度输出端部;以及固设于所述安装结构并套设于所述热电偶的密封件,通过所述密封件密封所述热电偶和所述安装结构的连接处
  • 直插式温度均匀测量系统
  • [实用新型]一种温度均匀的烘干装置-CN201921049400.6有效
  • 刘天益 - 江油市红益生态农业科技有限公司
  • 2019-07-08 - 2020-04-21 - F26B9/06
  • 本实用新型涉及烘干装置技术领域,尤其为一种温度均匀的烘干装置,包括烘干箱体、安置板和支撑块,所述烘干箱体的内部两端均通过浇筑加工开设有安装槽,且安装槽的内部内嵌有电热丝,所述电热丝和安装槽的连接处固定有隔热垫,本实用新型中,通过设置的温度传感器、循环泵体、控制器、中转仓和风机,当物料处于被烘干的状态时,在温度传感器的监测配合下,该装置通过循环泵体在受到控制器的控制启动后,可将烘干箱体内部的堆积的热风经过多项管道带出中转仓的内部,随后风机可将进入中转仓内部从上到下吹送到将烘干箱体的内部,烘干箱体内部将会构成一热风可循环的结构,该装置利用这一热风循环的结构,来使得物料的烘干更加均匀
  • 一种温度均匀烘干装置

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