专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]SIMOX基板的制造方法-CN200580024663.6无效
  • 足立尚志;小松幸夫 - 株式会社上睦可
  • 2005-07-19 - 2007-06-27 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种SIMOX基板的制造方法,其中把注入氧离子的硅基板在氩和氧的混合气氛下,进行1300~1350℃的热处理而获得SIMOX基板。在氧离子注入后热处理之前,把硅基板在惰性气体或还原性气体或者混合气氛中,在温度为1000~1280℃的范围内进行5分钟至4小时的预热处理。进一步优选在预热处理后,把硅基板在惰性气体或还原性气体或者其混合气氛中,降温至600~1100℃,然后在氩和氧的混合气氛下进行热处理。
  • simox制造方法
  • [发明专利]沉积物去除方法及气体处理装置-CN201410614517.X有效
  • 田原慈;西村荣一 - 东京毅力科创株式会社
  • 2013-04-12 - 2017-05-10 - H01L21/02
  • 具有加热基板并将该基板暴露于氧等离子体中的工序和循环处理工序,在该循环处理工序中,将基板暴露于氟化氢气体和醇类气体混合气氛中,并且重复如下两个阶段将混合的全压设为第1全压或将醇类气体的分压设为醇类气体的第1分压的第1阶段,以及将混合的全压设为比第1全压低的第2全压或将醇类气体的分压设为比醇类气体的第1分压低的醇类气体的第2分压的第2阶段,在循环处理工序中,从与基板相对的区域向基板供给混合,并且来自包含基板的中央部的第1区域的混合的单位面积的供给量比来自第1区域的外侧的第2区域的混合的单位面积的供给量多。
  • 沉积物去除方法气体处理装置
  • [实用新型]一种连续退火炉用加湿装置-CN200820057581.2无效
  • 李登峰;张荣康;黄杰;李贵宾 - 宝山钢铁股份有限公司
  • 2008-04-22 - 2009-01-28 - C21D9/56
  • 本实用新型公开了一种连续退火炉用加湿装置,包括一氢氮混合管路,直接通入出气管路;一氢氮混合管路,通入加湿器槽体;所述氢氮混合管路上都设有流量调节阀。与现有技术相比,其有益效果是:氢氮混合可选择流量加湿,能够制备出露点范围为-20℃~+70℃的加湿气体。各介质管路上设置的流量调节阀,可使混合露点可调精度高达±1℃。所制备的炉内保护气氛的流量可达100~300m3/h,满足冷轧带钢退火工艺的生产需要。
  • 一种连续退火炉加湿装置

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