专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆的表面处理方法及用于该方法的组合-CN201980020638.2在审
  • 照井贵阳 - 中央硝子株式会社
  • 2019-03-19 - 2020-11-03 - H01L21/304
  • 本发明提供蒸气处理用的新型组合及使用该新型组合的蒸气的具有Si元素的晶圆的表面处理方法,该新型组合为拒水性保护膜形成成分的种类更少的组合,其可以发挥与利用以往(拒水性保护膜形成成分的种类较多的)组合的蒸气进行具有Si元素的晶圆表面的处理的情况同等的拒水性赋予效果,化学稳定性优异。本发明的晶圆的表面处理方法的特征在于,其为在表面具有凹凸图案且至少在该凹部具有Si元素的晶圆的清洗中,在上述凹凸图案的至少凹部保持有液体的状态下,将含有拒水性保护膜形成成分和溶剂的组合的蒸气供给至上述凹凸图案表面,使上述蒸气的状态变为液体状态,将保持于上述凹部的液体置换为该组合液体,从而至少在上述凹部表面形成拒水性保护膜的方法,上述拒水性保护膜形成成分仅为下述通式[1]所示的化合,上述溶剂至少含有非环状碳酸酯
  • 表面处理方法用于组合

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