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[发明专利]一种涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器及制备方法和应用-CN201810533308.0在审
发明人：赵勇;彭昀;陈茂庆 -专利权人：东北大学
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明属于光电检测技术领域，具体涉及一种基于涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器的制备方法和湿度测量装置。湿度装置包括涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器、光源、密封湿度仪、光谱分析仪和湿度电子传感器。涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器和湿度电子传感器的电子湿度计固定在密封湿度仪的盖子上，密封湿度仪的盖子下表面与密封湿度仪紧固，密封湿度仪内置盐溶液。光源通过单模光纤A与涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器的端口1连接，涂覆PVA薄膜的U型微纳光纤耦合器的端口4通过单模光纤B与光谱分析仪连接。
微纳光纤耦合器涂覆密封湿度仪电子传感器光谱分析仪单模光纤盖子光源制备方法和应用光电检测技术湿度测量装置电子湿度计高灵敏度湿度测量湿度装置线性输出敏感度下表面盐溶液紧固内置制备检测制作

[实用新型]装饰膜-CN201720234814.0有效
发明人：高育龙;杨广舟;李廷钢 -专利权人：昇印光电（昆山）股份有限公司
申请日： 2017-03-11 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B32B3/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种装饰膜，其包括承载层、设置于所述承载层一侧面的微纳结构层及涂覆于所述微纳结构层上的反射层。反射层涂覆于微纳结构层上，其工艺简单且无需昂贵的镀膜设备，从而降低装饰膜的成本。
装饰

[发明专利]一种用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置-CN201810414507.X在审
发明人：杨为家;沈耿哲;何鑫;江嘉怡;刘俊杰;刘铭全;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉 -专利权人：五邑大学
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置，其包括导轨固定架(11)、滑移导轨(12)、引导棒(13)、丝绸带(14)、玻璃纤维束(15)，所述滑移导轨(12)固定在导轨固定架上(11)，所述丝绸带本发明在保护微纳结构的同时，可以有效提高所涂覆的导电增强纤维材料分布的均匀性，有利于获得高性能压力传感器；本发明的用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置使用方便，既利用到了玻璃纤维束的优点，又发挥了丝绸的柔性，不会破坏微纳结构，同时可以均匀涂覆导电增强材料，并且可用于多种导电增强纤维材料。
微纳结构玻璃纤维束滑移导轨纳米纤维涂覆装置引导棒导电增强纤维材料导轨固定架丝绸带压力传感器均匀涂覆增强材料均匀性上移动可用套住涂覆丝绸

[实用新型]一种用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置-CN201820664648.2有效
发明人：杨为家;沈耿哲;何鑫;江嘉怡;刘俊杰;刘铭全;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉 -专利权人：五邑大学
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置，其包括导轨固定架(11)、滑移导轨(12)、引导棒(13)、丝绸带(14)、玻璃纤维束(15)，所述滑移导轨(12)固定在导轨固定架上(11)，所述丝绸带本实用新型在保护微纳结构的同时，可以有效提高所涂覆的导电增强纤维材料分布的均匀性，有利于获得高性能压力传感器；本实用新型的用于微纳结构的纳米纤维涂覆装置使用方便，既利用到了玻璃纤维束的优点，又发挥了丝绸的柔性，不会破坏微纳结构，同时可以均匀涂覆导电增强材料，并且可用于多种导电增强纤维材料。
微纳结构本实用新型玻璃纤维束滑移导轨纳米纤维涂覆装置引导棒导电增强纤维材料导轨固定架丝绸带压力传感器均匀涂覆增强材料均匀性上移动可用套住涂覆丝绸

[发明专利]一种基于涂覆微纳光纤进行温度测量的装置及方法-CN201310038550.8有效
发明人：宋章启;卫正统;张学亮;阳明晔;陈宇中;孟州 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2013-01-31 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于涂覆微纳光纤的温度测量装置及方法，包括窄线宽激光器、光纤隔离器、耦合方式为2×2的光纤耦合器、微纳光纤、涂覆材料、信号光探测器和参考光探测器，激光器的输出端通过光纤连接至光纤隔离器后再连接至光纤耦合器的第一端口，信号光探测器连接涂覆后的微纳光纤，再连接至光纤耦合器的第三端口，参考光探测器通过光纤连接至光纤耦合器的第四端口。本发明的技术效果在于，利用微纳光纤大倏逝场的特性进行温度的测量。由于当外界环境温度变化，微纳光纤涂覆材料的吸收特性会发生变化，最终导致输出光功率的变化，克服了以往光纤温度测量结构复杂，信号处理困难等难题，便于复用，能够实时在线进行准分布式测量。
一种基于涂覆微纳光纤进行温度测量装置方法

[发明专利]一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法-CN201910879618.2在审
发明人：周天丰;朱展辰;王子凡;梁志强;焦黎;解丽静;刘志兵;颜培;王西彬 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法，涉及微纳结构成形技术领域，主要包括以下步骤：1)、在工件表面加工出微纳沟槽结构；2)、对微纳沟槽结构进行涂覆支撑层；3)、将两片涂覆支撑层的工件进行键合；本发明首先在工件表面涂覆光刻胶、软质金属膜等支撑层，通过模压成形工艺实现两片玻璃材料工件的键合，然后对支撑层腐蚀去除，即可加工出微孔；可以实现微纳尺度大深径比微孔的加工，加工效率高，制造成本低，具有极高的应用价值
支撑层键合涂覆沟槽结构微纳结构去除微孔成形技术领域工件表面加工模压成形工艺材料工件成形制造大深径比工件表面加工效率两片玻璃制造成本光刻胶金属膜软质加工尺度腐蚀应用

[发明专利]一种电阻式应力应变复合传感材料的制备方法-CN202110242699.2在审
发明人：孔春才;杨志懋;王安华;吕建;白星宇;白一鸣;李成成;刘冰洁 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本公开揭示了一种电阻式应力应变复合传感材料的制备方法，包括如下步骤：选择金属基板作为反应基底，常温常压下，将含有低还原性金属离子的溶液涂覆在该反应基底上，形成金属微纳结构；将第一胶体涂覆于金属微纳结构上固化成型，获得未封装的第一材料；将该未封装的第一材料从反应基底剥离，并在第一胶体对侧的金属微纳结构上涂覆第二胶体，形成第一胶体‑金属微纳结构‑第二胶体的复合体并固化成型，获得封装的电阻式应力应变复合传感材料。
一种电阻应力应变复合传感材料制备方法

[发明专利]一种微纳孔碳质材料的制备方法-CN201010513167.X无效
发明人：陈志刚;刘成宝;陈红 -专利权人：苏州科技学院
申请日： 2010-10-21 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳孔碳质材料的制备方法，采用真空浸渍涂覆法，将石墨经过第一次真空浸渍-涂覆、固化、炭化、第二次真空浸渍-涂覆、活化、冲洗烘干等步骤，制得微纳孔碳质材料。本发明的微纳孔碳质材料优化了膨胀石墨基体孔的内部结构，实现了膨胀石墨和活性炭的有机结合，活性炭在膨胀石墨基体中铺展均匀，无团聚和堵孔现象，从而提供了良好的通透性和高的吸附容量。
一种微纳孔碳质材料制备方法

[发明专利]一种磁控微纳机器人及其制作方法、用途-CN202210614325.3在审
发明人：郑裕基;王昊英;方力军 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于微纳机器人技术领域，特别涉及一种磁控微纳机器人及其制作方法、用途。该磁控微纳机器人的制作方法包括如下步骤：在基板表面涂覆磁性材料分散溶液，形成磁性层；所述磁性材料分散溶液为Fe3O4的γ‑丁内酯(GBL)溶液；在所述磁性层表面涂覆光刻胶，进行光刻，得到磁控微纳机器人。本发明的制作方法不需要借助成本高昂的大型高端复杂设备，操作简便，制得的磁控微纳机器人在磁场作用下能够快速定向运动。
一种磁控微纳机器人及其制作方法用途

[发明专利]一种基于微纳光纤的pH/盐度传感器-CN202010849999.2在审
发明人：肖建亮;张磊;马庶祺;刘海涛 -专利权人：之江实验室
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微纳光纤的pH/盐度传感器，包括柔性基底、柔性薄膜、以及第一微纳光纤和/或第二微纳光纤，第一微纳光纤的腰区涂覆有对pH敏感的第一敏感涂层，第二微纳光纤的腰区涂覆有对盐度敏感的第二敏感涂层，所述柔性薄膜与柔性基底之间设有微流控通道，第一微纳光纤的腰区、第二微纳光纤的腰区封装于柔性基底与+柔性薄膜之间，且所述第一敏感涂层、第二敏感涂层置于所述微流控通道中，所述柔性基底和柔性薄膜的折射率小于各微纳光纤的纤芯的折射率
一种基于光纤 ph 盐度传感器

[发明专利]一种基于石墨烯薄膜的电控微纳光纤光开关-CN201110402511.2无效
发明人：吴宇;易玮琪;饶云江 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2011-12-07 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯薄膜的电控微纳光纤光开关，包括拉锥的光输出微纳光纤、拉锥的光输入微纳光纤和基于石墨烯薄膜的电路控制模块；所述基于石墨烯薄膜的电路控制模块以涂覆有石墨烯薄膜的硅基底为中心，硅基底边缘置有金属电极；所述拉锥的光输入微纳光纤和光输出微纳光纤相对地置于石墨烯硅基底上，两微纳光纤的端头因范德瓦尔兹力吸附在一起，作为光路的耦合端；并在微纳光纤上涂覆低折射率紫外胶。本发明以石墨烯自身的性质为基础，结合微纳光纤倏逝场传播特性，使这种新型光纤光开关具有尺寸小，响应时间短，驱动电压低，可靠性增加的特点。
一种基于石墨薄膜电控微纳光纤开关

[发明专利]一种半导体的微纳结构包层覆盖方法-CN202110513623.9在审
发明人：李朝晖;李玉茹;宋景翠 -专利权人：中山大学
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体的微纳结构包层覆盖方法，包括如下步骤：步骤一：在微纳结构上涂覆一层光刻胶；步骤二：对光刻胶进行曝光。且本发明的光刻胶采用无机光刻胶的HSQ光刻胶。通过在微纳结构上涂覆一层光刻胶并进行曝光后，形成包层，由于光刻胶用作抗腐蚀涂层材料，因此，对微纳结构具有保护作用，且光刻胶是一类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，由于具备比较小的表面张力的特性，使得光刻胶具有良好的流动性和均匀性，可均匀涂覆在微纳结构表面，在经过曝光固化后，可使形成的包层表面平整。
一种半导体结构包层覆盖方法

[发明专利]微纳光纤表面制作光栅的方法-CN201510840618.3有效
发明人：李宇航;徐忠扬;王力军 -专利权人：清华大学
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种微纳光纤表面制作光栅的方法，其中，该方法包括以下步骤：提供一微纳光纤；在该微纳光纤表面涂覆一层紫外光敏功能化膜；以及使用紫外光源对该紫外光敏功能化膜进行逐点曝光。本发明提出的制作方法利用涂覆在微纳光纤表面的功能化膜，借助于薄膜材料的光敏性，利用低功率的紫外光进行曝光制备光栅。该方法不会引起石英微纳光纤的损伤，保证了微纳光纤光栅的力学性能。
光纤表面制作光栅方法

[发明专利]一种微纳多孔石墨烯基平面微型超级电容器及其制备方法-CN202210565395.4在审
发明人：刘辉龙;陈云;陈新;高健;侯茂祥 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01G11/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳多孔石墨烯基平面微型超级电容器及其制备方法，包括以下步骤：在聚酰亚胺胶带的表面均匀涂覆氢氧化钾晶体；利用离焦状态的第一紫外激光作用于柔性基底上，并在第一紫外激光光斑的重叠扫描作用下加工出微纳多孔石墨烯；将微纳多孔石墨烯进行热处理；将集流体附着于微纳多孔石墨烯电极；利用聚焦状态的第二紫外激光在微纳多孔石墨烯电极表面雕刻出极小尺寸的叉指电极；在叉指电极表面涂覆水凝胶电解质，去除残余气体和多余水分后利用柔性薄膜进行封装，得到微纳多孔石墨烯基平面微型超级电容器。本技术方案提出的一种微纳多孔石墨烯基平面微型超级电容器及其制备方法，步骤简单，可操作性强，便于微型超级电容器的大规模生产。
一种多孔石墨平面微型超级电容器及其制备方法

[发明专利]一种基于匹配层的激光制备微纳结构的方法及系统-CN202211128295.1有效
发明人：江绍基;李锐豪;黄敏 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于匹配层的激光制备微纳结构的方法及系统，包括：通过在基材表面涂覆匹配材料以形成薄膜；将激光器产生的激光聚焦于薄膜表面上；将完成匹配材料涂覆的基材置于运动扫描平台上，以控制激光在薄膜表面上的扫描方向；调整激光器的加工参数，使光场达到在薄膜的表面产生周期性微纳结构的单位面积激光功率密度加工窗口；调整加工参数以改变所述单位面积激光功率密度，以形成可擦除微纳结构或者永久性微纳结构，对于可擦除微纳结构及剩余匹配层本发明实现了在不破坏基材的情况下制备微纳结构，并首次在贵金属表面产生规则光栅等微纳结构，可应用于表面着色、多重防伪、信息加密等领域。
一种基于匹配激光制备结构方法系统

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