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[发明专利]一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的计算方法-CN202011434660.2有效
发明人：罗倩;李志炜;邵俊铭;吴时彬 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的分析方法，计算出加工前后波像差变化量。在被测镜上任意位置作三个标记，加工前后检测波像差，两次检测的波像差上找出三个标记没有数据的区域，计算出中心点的位置坐标，这三个点坐标为标记点位置。加工前后检测的波像差上的三个标记点连成两个三角形，两者的空间位置发生了三种几何变换：旋转、平移和缩放，解出两个三角形的变换矩阵T，根据变换矩阵T，计算出加工后的波像差矩阵变换成跟加工前同样空间位置且同等大小的三维矩阵数据，将其与加工前的波像差相减得到残差，分析这两次检测的波像差变化。解决两次检测波像差由于空间位置改变且采样像素不同不能点对点相减的问题。
一种空间位置变化前后两次检测波像差残差计算方法

[发明专利]检测范围广的凹非球面的实时检测方法-CN201310413646.8有效
发明人：潘宝珠;汤靖;赵永林;李雅丽;邵旭萍;施建珍 -专利权人：南通大学
申请日： 2012-12-07 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测范围广的凹非球面的实时检测方法，用平面自准直法仿真出凹非球面相对于最接近抛物面的波像差，在极坐标下利用zernike多项式进行拟合，将极坐标下的zernike方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于抛物面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布。
检测范围球面实时方法

[发明专利]近抛物面的旋转轴对称凹非球面的实时检测方法-CN201210521650.1无效
发明人：潘宝珠;汤靖;邵旭萍;赵永林;李雅丽;施建珍 -专利权人：南通大学
申请日： 2012-12-07 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种近抛物面的旋转轴对称凹非球面的实时检测方法，用平面自准直法仿真出凹非球面相对于最接近抛物面的波像差，在极坐标下利用zernike多项式进行拟合，将极坐标下的zernike方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于抛物面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布
抛物面旋转轴对称球面实时检测方法

[发明专利]一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法-CN201310132015.9无效
发明人：程灏波;潘宝珠;周东梅;谭汉元;丁仁强 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：通过光学设计软件，用球面自准直法仿真出凹非球面相对于最接近抛物面的理论波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于抛物面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布。
一种抛物面环形球面快速检测方法

[发明专利]一种环形凸非球面的快速面形检测方法-CN201310132121.7无效
发明人：程灏波;潘宝珠;冯云鹏;谭汉元;丁仁强 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种环形凸非球面的快速面形检测方法，基于球面自准直法利用光学设计软件仿真出凸非球面相对于最接近双曲面的波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于双曲面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布
一种环形球面快速检测方法

[发明专利]光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法-CN201410002627.0有效
发明人：李思坤;王向朝;杨济硕;闫冠勇;李兆泽 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-01-03 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法，通过对特殊设计的二维检测标记在最佳焦面位置的仿真空间像进行主成分分析和多元线性回归，提取出包含像差影响的空间像的主成分和线性回归矩阵，利用主成分拟合实测空间像，以拟合残差的均方根最小为判断依据实现对光刻成像最佳焦面的快速、低成本检测，以回归矩阵拟合主成分系数，实现对波像差的快速、高精度原位检测。本发明仅需采集检测标记在不同焦深位置的空间像实现最佳焦面的检测，利用最佳焦面位置的空间像实现波像差高精度检测。
光刻投影物镜波像差成像最佳检测方法

[发明专利]一种软X射线-真空紫外光学系统的设计方法及光学系统-CN202310036674.6在审
发明人：曹一青 -专利权人：莆田学院
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种软X射线‑真空紫外光学系统的设计方法及光学系统，包括以下步骤：步骤一：基于软X射线‑真空紫外光学系统像差理论，分别计算系统中两个光学元件的场曲波像差、彗差波像差、球差波像差、像散波像差和畸变波像差并建立总波像差表达式；步骤二：应用光学元件2的波像差来平衡光学元件1的波像差，建立系统的场曲、彗差、球差、像散及畸变总波像差平衡方程式；步骤三：构建光学系统总的波像差平衡方程式作为系统成像质量评价目标函数；步骤四：应用自适应变异概率改进的遗传算法对目标函数进行求解
一种射线真空紫外光学系统设计方法

[发明专利]一种用于主动光学校正系统的波前传感器装调方法-CN202210609253.3有效
发明人：朱硕;汪宗洋;黄剑翔;黄孙港 -专利权人：无锡学院
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于主动光学校正系统的波前传感器装调方法，包括以下步骤：S1：通过波前测试分别得到各个波前传感器的测试视场位置和测试波像差；S2：将各个波前传感器的测试视场位置可视化；S3：初步安装一波前传感工装；S4：使波前传感工装上的各个波前传感器位于对应的测试视场位置；S5：进行波像差测试，得到相应波前传感器的实际波像差；S6：将实际波像差与测试波像差进行对比，根据对比结果调整波前传感工装，直至对比结果小于预设的残差
一种用于主动光学校正系统传感器方法

[发明专利]一种自适应光学系统优化标定及控制方法-CN202210776794.5有效
发明人：苏春轩;赖柏衡;赵旺;杨康建;程涛;王帅;杨平 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应光学系统优化标定及控制方法，以光束质量最优作为自适应光学系统的校正目标，根据实际自适应光学系统校正能力，修正传统夏克‑哈特曼波前传感器的系统标定点，并以此作为变形镜面形控制的参照，实现约束条件下最优自适应光学波前像差校正首先采用平面波对夏克—哈特曼(Shack‑Hartmann)波前传感器进行标定后，测量变形镜每个驱动器的影响函数，并探测入射光束像差，随后采用优化算法以光束质量最好为目标，计算得到变形镜的优化面型以及对应的校正残差，最后以该残差生成新的标定文件并替换原标定文件，控制变形镜进行波前像差校正。该方法适用于待校正光束像差幅值和空间频率超出变形镜校正能力的场合，可获得更好的光束质量。
一种自适应光学系统优化标定控制方法

[发明专利]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法-CN201610865086.3在审
发明人：赵自新;肖昭贤;张航瑛;赵宏 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差，采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差，得到对应的计算全息图，并加载到LC‑SLM上，利用残差迭代法，降低了LC‑SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响
一种 lc slm 误差补偿方法及其球面检测

[发明专利]快速、准确的光学非球面的实时检测方法-CN201310412055.9有效
发明人：潘宝珠;方靖淮;汤靖;赵永林;笪健;崔荣华 -专利权人：南通大学
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种快速、准确的光学非球面的实时检测方法，利用光学设计软件仿真出旋转轴对称光学非球面相对于最接近球面的波像差，使用数字波面干涉仪利用球面镜头直接测量出旋转轴对称光学非球面相对于镜头参考面的波像差，经过一些数学运算，将两者像素一一对应，然后做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布，从而实现对旋转轴对称光学非球面的实时检测。
快速准确光学球面实时检测方法

[发明专利]旋转轴对称光学非球面的实时检测方法-CN201210421308.4无效
发明人：潘宝珠;汤靖;方靖淮;赵永林;笪健;崔荣华 -专利权人：南通大学
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种旋转轴对称光学非球面的实时检测方法，利用光学设计软件仿真出旋转轴对称光学非球面相对于最接近球面的波像差，使用数字波面干涉仪利用球面镜头直接测量出旋转轴对称光学非球面相对于镜头参考面的波像差，经过一些数学运算，将两者像素一一对应，然后做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布，从而实现对旋转轴对称光学非球面的实时检测。
旋转轴对称光学球面实时检测方法

[发明专利]光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法-CN201310261140.X有效
发明人：李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊;张敏 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波像差，可消除差分波前的待测系统几何光程误差，提高待测系统的波像差检测准确度。
光栅剪切波像差检测干涉仪方法

[发明专利]一种地下构造的反演方法-CN201710554305.0有效
发明人：李闯;黄建平;李振春 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G01V1/30 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种地下构造的反演方法，所述方法包括：根据观测数据计算第一数据残差，获取第一数据残差中的绕射波场和反射波场；根据预设的反射波场加权函数和所述反射波场、绕射波场，确定第二数据残差；根据所述第二数据残差本申请的方法通过分离绕射波场和反射波场，并利用加权函数，对反射波场进行加权，以生成第二数据残差进行迭代反演，实现非均质地质目标体的高精度成像；还可以通过改变加权函数，在迭代过程中不断降低反射波的权重，挺高对地下孔缝洞等非均质结构的识别度
一种地下构造反演方法

[发明专利]低偏振像差三反光学系统设计方法、系统、设备及介质-CN202310822655.6有效
发明人：罗敬 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学设计领域，具体提供低偏振像差三反光学系统设计方法、系统、设备及介质，根据目标三反光学系统的要求确定自由设计参数的数目，并生成相应数目的随机数，根据赛德尔像差计算公式，以消除目标三反光学系统的初级球差、初级像散和初级彗差为目标，通过自由设计参数和多个方程确定剩余设计参数，根据高斯光学理论，得到目标三反光学系统中三块有光焦度反射镜的全部结构参数，将所有参数输入到光学设计软件中并计算得到目标三反光学系统的波像差和偏振像差，根据波像差和偏振像差构建评价函数，若评价函数不满足需求，则重新以随机数的形式生成新的自由设计参数，并再次计算评价函数，直到波像差和偏振像差均满足需求时完成设计。
偏振像差三反光学系统设计方法系统设备介质

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