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- [实用新型]一种截流取样法氦质谱检漏装置-CN201520073296.X有效
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张和毅
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上海贤日自动化设备有限公司
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2015-02-02
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2015-06-17
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G01M3/20
- 本实用新型公开了一种截流取样法氦质谱检漏装置,包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空密封室的抽真空设备、连接真空密封室与抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪,抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀,第一截流阀与第二截流阀之间的真空管道形成截流段,氦质谱检漏仪连接截流段。通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀,使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段,通过关闭第一截流阀和第二截流阀,将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内,取走被检产品,对取样的抽真空气体进行检漏,检漏时被检产品已经脱离检测系统,提高生产效率,实现了生产线上的高速在线检测。
- 一种截流取样法氦质谱检漏装置
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