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[发明专利]一种太阳能电池片氢钝化装置及方法-CN202110307133.3在审
发明人：丁志强;王尧;刘列;许陈;陈达明;陈奕峰 -专利权人：天合光能股份有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片氢钝化装置，其特征在于：包括至少一个氢钝化腔体，以及,沿着设定的路径输送太阳能电池片的传输装置，所述传输装置包括进料传输带和出料传输带，每一所述的氢钝化腔体均包括依次设置的上料等待位本发明还公开了一种太阳能电池片氢钝化方法。本发明中的每个氢钝化腔体可独立地对太阳能电池片进行氢钝化，避免了电池进入不同腔体时工艺条件的波动影响氢钝化效果；当某个氢钝化腔体出现问题时，不影响整体装置的运行，保障氢钝化装置的稳定性及氢钝化的最佳效果
一种太阳能电池钝化装置方法

[实用新型]一种太阳能电池片氢钝化装置-CN202120592534.3有效
发明人：丁志强;王尧;刘列;许陈;陈达明;陈奕峰 -专利权人：天合光能股份有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池片氢钝化装置，其特征在于：包括至少一个氢钝化腔体，以及,沿着设定的路径输送太阳能电池片的传输装置，所述传输装置包括进料传输带和出料传输带，每一所述的氢钝化腔体均包括依次设置的上料等待位本实用新型中的每个氢钝化腔体可独立地对太阳能电池片进行氢钝化，避免了电池进入不同腔体时工艺条件的波动影响氢钝化效果；当某个氢钝化腔体出现问题时，不影响整体装置的运行，保障氢钝化装置的稳定性及氢钝化的最佳效果
一种太阳能电池钝化装置

[发明专利]一种异质结电池分层氢钝化方法、氢钝化装置、电池、电池组件及太阳能供电站-CN201910622728.0在审
发明人：周剑;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：苏州迈正科技有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种异质结电池分层氢钝化方法、氢钝化装置、电池、电池组件及太阳能供电站，所述氢钝化方法为在异质结电池制备过程中对所述异质结电池的半成品至少进行一次氢钝化处理，进行氢钝化处理时对所述异质结电池的半成品进行加热并通过光源进行照射该异质结电池分层氢钝化方法是在异质结电池制备的过程中即采用氢钝化工艺，使得高浓度的氢原子可以扩散到硅晶体的界面，从而更好地钝化了界面上的硅悬挂键，显著降低了硅晶体的表面复合速率。
异质结电池氢钝化硅晶体分层半成品氢钝化处理太阳能供电表面复合电池组件钝化处理硅悬挂键制备过程氢原子次氢钝化光源加热制备照射电池扩散

[发明专利]半导体结构及其制备方法-CN202110936471.3在审
发明人：穆克军 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L23/29 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体结构及其制备方法，包括第一钝化层及叠层结构；叠层结构位于第一钝化层的上表面，包括由下至上依次叠置的第二钝化层及吸氢层；其中第二钝化层形成过程中产生氢元素，吸氢层吸附第二钝化层形成过程中和/或后续钝化热处理过程中产生的氢元素。本申请中的半导体结构通过吸氢层吸附第二钝化层形成过程中和/或后续钝化热处理过程中产生的氢元素，避免由于氢元素进入器件界面形成大量不稳定的共价键，而导致的负偏压温度不稳定问题，提高半导体结构性能的稳定性和可靠性
半导体结构及其制备方法

[发明专利]一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机-CN201911063680.0在审
发明人：王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 -专利权人：苏州南北深科智能科技有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机，包括机架、用于对太阳能电池进行固化处理的固化炉、用于对太阳能电池进行氢钝化处理的氢钝化炉和用于传输太阳能电池的传输装置，固化炉和氢钝化炉顺序设置在机架上，固化炉出片的一端部与氢钝化炉进片的一端部相邻，传输装置连续设置在机架上，且传输装置分别穿过固化炉和氢钝化炉。该太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机结构简单，太阳能电池在固化炉中完成固化处理后可直接通过传输装置传输到氢钝化炉中进行氢钝化处理，该工艺过程连续，省去了搬运太阳能电池的工艺步骤，在提高生产效率的同时可避免搬运太阳能电池所造成的损伤
太阳能电池氢钝化固化炉传输装置氢钝化处理固化处理一体机固化搬运工艺步骤工艺过程连续设置生产效率顺序设置传输出片进片炉中损伤穿过

[实用新型]一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机-CN201921877668.9有效
发明人：王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 -专利权人：苏州南北深科智能科技有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机，包括机架、用于对太阳能电池进行固化处理的固化炉、用于对太阳能电池进行氢钝化处理的氢钝化炉和用于传输太阳能电池的传输装置，固化炉和氢钝化炉顺序设置在机架上，固化炉出片的一端部与氢钝化炉进片的一端部相邻，传输装置连续设置在机架上，且传输装置分别穿过固化炉和氢钝化炉。该太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机结构简单，太阳能电池在固化炉中完成固化处理后可直接通过传输装置传输到氢钝化炉中进行氢钝化处理，该工艺过程连续，省去了搬运太阳能电池的工艺步骤，在提高生产效率的同时可避免搬运太阳能电池所造成的损伤
一种太阳能电池 hit hjt 工艺固化钝化一体机

[发明专利]一种异质结电池氢钝化方法、氢钝化装置、电池、电池组件及太阳能供电站-CN201910622692.6在审
发明人：周剑;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：苏州迈正科技有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种异质结电池氢钝化方法、氢钝化装置、电池、电池组件及太阳能供电站，所述方法包括使用光源照射异质结电池，所述光源照射的同时通过热辐射的方式将所述异质结电池加热至20℃至300℃之间，所述光源的光强为本发明的异质结电池氢钝化方法通过光源提供照射同时加热的方法对异质结电池进行氢钝化，使得氢钝化设备的结构简单，且传热的方式为热辐射，热辐射传热速度快，热惯性小且不存在与被测对象达到热平衡的问题。
氢钝化异质结电池热辐射太阳能供电传热电池组件光源照射加热电池被测对象光源提供热惯性热平衡太阳光光强光源照射

[发明专利]一种以高压氢钝化提高光增益的硅纳米晶的制备方法-CN201711155227.3在审
发明人：张驰;周文捷;马磊;张宇宸;陆明 -专利权人：复旦大学
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C01B33/023 文献下载
摘要：本发明具体为一种以高压氢钝化提高光增益的硅纳米晶的制备方法。本发明借助半导体电子电路领域较为常见的氢钝化原理，以氢气为材料处理的基本原料，并以适当加温和高圧密封为手段，实现材料钝化。高压氢钝化能够有效对发光材料中的部分缺陷进行饱和与消除，减少非辐射复合中心，从而实现显著增加纳米晶体硅发光强度以及光增益的效果，提高光增益的纳晶硅材料可用于新型硅激光器的研制。本发明提出了一种不同于传统高温氢钝化以及等离子体氢钝化的氢钝化方法，该工艺不需维持高温，也不需经过等离子体放电过程，对材料发光增强效果显著，并且成本低廉、操作简单、安全可控。
一种高压钝化提高增益纳米制备方法

[发明专利]甲醇裂解制氢装置催化剂的钝化方法-CN202110667324.0在审
发明人：李洪亮;陈建业;房海霞 -专利权人：新疆蓝山屯河能源有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B01J23/72 文献下载
摘要：本发明涉及甲醇裂解制氢装置技术领域，是一种甲醇裂解制氢装置催化剂的钝化方法，该甲醇裂解制氢装置催化剂的钝化方法，按下述方法进行：将脱盐水输送至循环系统中，当循环系统中甲醇水溶液浓度＜5%时，向反应器中通入少量压缩空气，使得反应器中的铜系催化剂开始钝化，持续向反应器中通入压缩空气，当反应器中的空气含量升至20%时，反应器温度逐渐下降，当反应器温度无变化时，钝化结束，继续向反应器中通入压缩空气，吹干反应器，更换铜系催化剂本发明甲醇裂解制氢装置催化剂的钝化方法钝化时间短，人员操作方便，工艺简单易行，有效的解决了现有甲醇裂解制氢装置催化剂的钝化方法钝化时间长的问题。
甲醇裂解装置催化剂钝化方法

[发明专利]一种晶硅电池钝化方法-CN201710304646.2在审
发明人：王钊;康迪;张昕宇;金浩 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶硅电池的钝化方法，包括对扩散后的硅片进行热氧钝化；在所述硅片的表面沉积第一层钝化膜；进行低温烧结，释放所述钝化膜内的氢；在所述硅片的表面沉积第二层钝化膜；进行丝网印刷和高温烧结。其中，将氢释放到硅片体内，就能中和硅片内的缺陷和断键，降低体复合，在保证沉积第一层钝化膜使表面钝化效果好的情况下，此时薄膜较薄，做低温烧结更易将氢元素推进到硅片体内，体钝化和表面钝化效果更好，因此能够提升电池的开路电压
一种电池钝化方法

[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202111172611.0在审
发明人：黄世罗;金俊植 -专利权人：爱思开海力士有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L23/538 文献下载
摘要：半导体器件包括：衬底；多层互连，其设置在衬底上；第一钝化层，其包括氢并且覆盖多层互连之中的顶部互连；第二钝化层，其设置在第一钝化层之上，以阻止氢从第一钝化层向外扩散；直插式顶电介质层，其在第二钝化层之上；直插式重分布层，其通过穿通直插式顶电介质层、第二钝化层和第一钝化层，连接至顶部互连中的一个；以及氢阻挡内衬，其设置在直插式重分布层与第一钝化层之间。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]半导体结构的制造方法和半导体结构-CN202110931841.4有效
发明人：李雄;朱黄霞;郭肖林 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L23/29 文献下载
摘要：半导体结构的制造方法包括：在所述外围区形成PMOS器件；在所述阵列区形成NMOS器件；形成位于所述PMOS器件上的第一钝化层；形成位于所述NMOS器件上的第二钝化层；所述第一钝化层和所述第二钝化层内具有氢元素，所述第一钝化层内的氢含量小于所述第二钝化层内的氢含量；形成所述第一钝化层和所述第二钝化层后进行退火处理。
半导体结构制造方法

[发明专利]一种钝化接触晶体硅电池制备方法-CN202011578750.9有效
发明人：王尧;陈达明;陈奕峰;刘成法;邹杨 -专利权人：天合光能股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种钝化接触晶体硅电池制备方法，其中方法包括：采用激光对太阳电池划片并裂片，得到多个电池切片；对每一个电池切片，在其切割边缘上涂覆钝化浆料；以及对已涂覆钝化浆料的电池切片进行氢钝化，其中所述钝化浆料能够在所述氢钝化的过程中被烧结
一种钝化接触晶体电池制备方法

[发明专利]半导体器件的制备方法-CN202010802312.X有效
发明人：韩瑞津;曾辉 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体器件的制备方法，将氢钝化工艺调整到第一钝化层上形成第二钝化层之后，图案化所述第二钝化层及所述第一钝化层之前，在进行氢钝化工艺时，顶层金属互联层被第一钝化层及第二钝化层覆盖，第一钝化层及第二钝化层可以在氢钝化工艺的升降温过程中充分抑制顶层金属互联层因热膨胀系数差导致应力失配进而引起的热应变
半导体器件制备方法

[发明专利]一种采用氢钝化的异质结太阳电池的制造方法-CN202111129304.4在审
发明人：许志 -专利权人：福建新峰二维材料科技有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用氢钝化的异质结太阳电池的制造方法，它包括氢钝化工序，具体如下：采用等离子体增强化学的气相沉积法对制绒后的半导体基板表面进行氢钝化、氧化处理，之后清洗去除氢钝化、氧化处理形成的膜层。本发明的目的在于提供一种采用氢钝化的异质结太阳电池的制造方法，不但能够提高异质结太阳能电池的转换效率，而且能够解决铸造单晶硅和多晶硅体少子寿命低、杂质缺陷多等问题，使其应用于异质结太阳能电池当中，从而进一步降低异质结太阳能电池的制作成本
一种采用钝化异质结太阳电池制造方法

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