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[发明专利]一种进气装置及衬底处理设备-CN202210361686.1在审
发明人：谢振南;郑振宇 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种进气装置，用于衬底处理设备，衬底处理设备包含一反应腔，所述进气装置位于反应腔上方，进气装置内部设有冷却流体通道以及分别连通外部多个工艺气体源的多个工艺气体输入管路，进气装置内部开有多个工艺气体输出通道；工艺气体输入管路通过至少一个对应的工艺气体输出通道向反应腔内提供工艺气体；冷却流体通道围绕工艺气体输入管路设置，多个工艺气体输出通道围绕冷却流体通道周向排布，冷却流体通道对工艺气体输入管路和工艺气体输出通道进行控温通过本发明的冷却流体通道可以有效对工艺气体输入管道和工艺气体输出通道进行降温，避免了工艺气体的沉积而产生颗粒污染物，大大提高了晶圆成品率。
一种装置衬底处理设备

[实用新型]一种烟气混合装置-CN202020758929.1有效
发明人：张伟明;倪德臣 -专利权人：上海盛剑环境系统科技股份有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： F23J15/06 文献下载
摘要：烟气混合装置包括壳体，壳体中设有内腔，壳体上还设有高温气体引入通道、低温气体引入通道和混合气体输出通道，高温气体引入通道、低温气体引入通道和混合气体输出通道分别与内腔连通，在内腔中，高温气体引入通道的气体流入内腔方向与低温气体引入通道的气体流入内腔方向垂直，混合气体输出通道的气体流出方向与高温气体引入通道的气体流入内腔方向一致。
一种烟气混合装置

[发明专利]一种电场调控气体脉冲释放系统及其应用-CN202310371791.8在审
发明人：侯旭;陈泽敏;张运茂;樊漪 -专利权人：厦门大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： F15B21/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种电场调控气体脉冲释放系统及其应用，该系统包括给气单元、输入通道、输出通道、响应性控制单元和电场调控单元；响应性控制单元设于输入通道和输出通道之间以控制气体由输入通道进入输出通道；给气单元包括气体腔室和推进装置，气体腔室连通输入通道，推进装置用于以恒定的推进速率压缩气体腔室内的气体至每次气体的压强超过临界压强阈值时通过响应性控制单元经输出通道输出，实现脉冲释放，并可由电场调控单元无级调控气体通过的临界压强阈值该系统抗腐蚀、低耗能，可电场调控气体脉冲释放的单次释放量和单次释放间隔；当输出通道外接不同输出单元时，可以实现液滴移动控制、药物控释、化学反应控制等应用。
一种电场调控气体脉冲释放系统及其应用

[实用新型]一种基于片状有机膜的气体渗透性能检测实验装置-CN202220688739.6有效
发明人：王琳;刘华琴;贺明星;杨士胜;杨柳 -专利权人：上海联风能源科技有限公司;上海迎飞能源科技有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于片状有机膜的气体渗透性能检测实验装置，包括：基础装置，基础装置包括上盖和底座；底座上设有气体输入通道和气体调节通道，上盖上设有气体输出通道；控制检测组件，包括气体输入管线、气体调节管线和气体输出管线；气体输入通道与气体输入管线可拆卸连接，气体调节管线与气体调节通道可拆卸连接，气体输出管线与气体输出通道可拆卸连接；气体输出管线的第一支路管线上连接有无油真空泵，气体输出管线的第一支路管线和第二支路管线汇合后的下游分别连接有气体流量检测组件和分析仪本实用新型可以对有机膜片两侧气体参数进行控制和检测，渗透气侧可以为正压或负压，该装置能够对有机膜片的渗透性能进行客观检测评价。
一种基于片状有机气体渗透性能检测实验装置

[发明专利]一种两级稀释的痕量气体混合装置及方法-CN202310678870.3在审
发明人：潘毅;冯尧;张又麒;刘逸凡;孙佳鑫;李昕怡;郑汉宁 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B01F23/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种两级稀释的痕量气体混合装置及方法，混气腔包括第一混气腔以及第二混气腔，第一混气腔以及第二混气腔均连接有真空泵组；第一混气腔输出端与第二混气腔输入端连接，多路并联的微量气体通道输入端连接微量气体气源，输出端连接第一混气腔；一次稀释气体进气通道输入端连接稀释气体气源，输出端连接第一混气腔；二次稀释气体进气通道输入端连接稀释气体气源，输出端连接第二混气腔；混合气体输出通道输入端连接第二混气腔输出端，混合气体输出通道上设置有气体输出电磁阀气体通道上均设置有电磁阀和质量流量控制器。实现了1～10‑10浓度范围内痕量气体的高效采集和稳定传输。
一种两级稀释痕量气体混合装置方法

[发明专利]喷洒装置-CN200710148300.4无效
发明人：李致淳;吴嘉福;苏婷茹 -专利权人：国际联合科技股份有限公司
申请日： 2007-09-04 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： B05B7/00 文献下载
摘要：一种喷洒装置，包括一气体输出单元、一喷嘴模块、一可压缩容器以及一可膨胀容器。气体输出单元用以输出一高速气体。喷嘴模块包括一气体入口、一喷洒出口与一将气体入口连通至喷洒出口的主通道，气体入口连通至气体输出单元。可压缩容器适于盛装一喷洒物质，且连通至主通道。可压缩容器与主通道内的气体压力差，使喷洒物质自可压缩容器吸入主通道。可膨胀容器连通至气体输出单元，使进入可膨胀容器的高速气体对其充气膨胀而挤压可压缩容器，使喷洒物质自可压缩容器进入主通道，并与高速气体从喷洒出口喷出至喷嘴模块外。
喷洒装置

[实用新型]一种气溶胶发生器-CN201921136742.1有效
发明人：高正 -专利权人：吴江市华宇净化设备有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B01J13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气溶胶发生器，其特征在于：包括气溶胶发生装置、与所述气溶胶发生装置连通的液体输出装置、气体输出装置及气溶胶排出管，所述气溶胶发生器还包括第一气体通道与第二气体通道，所述第一气体通道用于将所述气体输出装置和所述气溶胶发生装置连通，所述第二气体通道的入口端与所述气体输出装置连通，所述第二气体通道的出口端和所述气溶胶发生装置的出口端相对设置。通过使用该气溶胶发生器使从中输出的气溶胶的粒子浓度、粒子的分散度和平均粒径等能满足不同的使用需求。
一种气溶胶发生器

[发明专利]玩具水枪-CN202310199592.3在审
发明人：傅珂珂;舒华勇;舒丽峰 -专利权人：浙江马特工具有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： F41B9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种玩具水枪，包括主体和推动组件，主体上开设有容纳腔；推动组件能够移动地设置在容纳腔内并分隔所述容纳腔形成气体腔及储液腔，气体腔和储液腔不连通，主体上还形成有与储液腔相连通的进液通道和输出通道，进液通道用于吸入液体，输出通道用于输出液体，进液通道吸入液体能够使推动组件移动并使气体腔内压力增大，主体上还形成有与气体腔相连通的进气通道，进气通道吸入气体使气体腔内的气压增大并能够使推动组件移动使储液腔内压力增大进液通道吸入液体使得气体腔内产生压缩气体。压缩气体能够在下次输出液体时使用，加快了玩具水枪下一次进行喷淋的进程，提高了玩具水枪的舒适度。
玩具水枪

[发明专利]具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件-CN201610852971.8有效
发明人： Y·罗森佐恩;K·坦蒂翁;I·优素福;V·克尼亚齐克;B·基廷;S·巴纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-03 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：描述具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件。一种气体注入系统包括：(a)侧部气体气室；(b)耦接于所述侧部气体气室的多数N个气体入口；(c)从所述气室径向向内延伸的数个侧部气体出口；(d)N通道气体流率控制器，所述N通道气体流率控制器具有分别耦接于所述N个气体入口的N个输出；及(e)M通道气体流率控制器，所述M通道气体流率控制器具有M个输出，所述M个输出的个别一者耦接于所述可调整的气体喷嘴与所述N通道气体流率控制器的气体输入。
具有方位角径向分布控制区域气体注入组件

[发明专利]具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件-CN201710705541.8有效
发明人： Y·罗森佐恩;K·坦蒂翁;I·优素福;V·克尼亚齐克;B·基廷;S·巴纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-03 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：描述具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件。一种气体注入系统包括：(a)侧部气体气室；(b)耦接于所述侧部气体气室的多数N个气体入口；(c)从所述气室径向向内延伸的数个侧部气体出口；(d)N通道气体流率控制器，所述N通道气体流率控制器具有分别耦接于所述N个气体入口的N个输出；及(e)M通道气体流率控制器，所述M通道气体流率控制器具有M个输出，所述M个输出的个别一者耦接于所述可调整的气体喷嘴与所述N通道气体流率控制器的气体输入。
具有方位角径向分布控制区域气体注入组件

[发明专利]具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件-CN201480003019.X有效
发明人： Y·罗森佐恩;K·坦蒂翁;I·优素福;V·克尼亚齐克;B·基廷;S·巴纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-03 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：描述具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件。一种气体注入系统包括(a)侧部气体气室；(b)耦接于所述侧部气体气室的多数N个气体入口；(c)从所述气室径向向内延伸的数个侧部气体出口；(d)N通道气体流率控制器，所述N通道气体流率控制器具有分别耦接于所述N个气体入口的N个输出；及(e)M通道气体流率控制器，所述M通道气体流率控制器具有M个输出，所述M个输出的个别一者耦接于所述可调整的气体喷嘴与所述N通道气体流率控制器的气体输入。
具有方位角径向分布控制区域气体注入组件

[实用新型]一种气液项两用氟利昂阀门-CN201420551336.2有效
发明人：田衷夫;江程;王涛;王文君;刘培 -专利权人：宁波富华阀门有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： F16K11/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气液项两用氟利昂阀门，包括阀体，阀体上设有液体输出通道和气体输出通道以及控制液体输出通道启闭的液体控制机构和控制气体输出通道的气体控制机构。该气液项两用氟利昂阀门的气体输出通道和液体输出通道分别位于氟利昂气罐的顶部以及底部的位置，当需要使用气态的氟利昂时，打开阀体上的气体控制机构，进行气态的氟利昂输出，当需要使用液态的氟利昂时，打开阀体上的液体控制机构，进行液态的氟利昂输出，气态与液态输出变换快，达到了一阀既具有气液项两用的功能又降低了氟利昂使用成本，提高了使用效率的目的。
一种气液项两用氟利昂阀门

[发明专利]高炉炉顶送料气密箱卸压排气净化回收系统-CN201710990746.5在审
发明人：谭险峰 -专利权人：成都瑞柯林工程技术有限公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： C21B7/22 文献下载
摘要：该系统包括气体除尘装置，该气体除尘装置的待除尘气体输入端用于与所述气密箱的卸压排气输出通道连接，气体除尘装置的已除尘气体输出端用于与和高炉炉体连接的高炉煤气排送路径中的低压气体传送通道连接，其中，卸压排气输出通道与低压气体传送通道之间具有用于驱动所述气密箱的卸压排气从卸压排气输出通道通过气体除尘装置而流入低压气体传送通道的压力差
高炉炉顶气密箱卸压排气净化回收系统

[实用新型]高炉炉顶送料气密箱卸压排气净化回收系统-CN201721365297.7有效
发明人：谭险峰 -专利权人：成都瑞柯林工程技术有限公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： C21B7/22 文献下载
摘要：该系统包括气体除尘装置，该气体除尘装置的待除尘气体输入端用于与所述气密箱的卸压排气输出通道连接，气体除尘装置的已除尘气体输出端用于与和高炉炉体连接的高炉煤气排送路径中的低压气体传送通道连接，其中，卸压排气输出通道与低压气体传送通道之间具有用于驱动所述气密箱的卸压排气从卸压排气输出通道通过气体除尘装置而流入低压气体传送通道的压力差
卸压排气气体除尘装置传送通道低压气体输出通道除尘气体高炉炉顶回收系统排气净化气密箱送料气箱卸本实用新型高炉炉体高炉煤气回收净化低成本输出端输入端压力差排送驱动

[实用新型]一种制氧机用连接板结构-CN202020700541.6有效
发明人：梁学明;梁振举 -专利权人：中山市美安健康科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C01B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制氧机用连接板结构，包括连接板，所述连接板上设有氧气输入通道、氧气输出通道和产品气体输出通道；所述连接板上还设有用于控制氧气输入通道内端口与氧气输出通道内端口连通或隔绝的氧气控制阀通道，所述氧气控制阀通道上设有氧气控制阀；所述氧气输入通道外端口用于与外部储氧装置连通；所述氧气输出通道外端口用于与外部氧气装置接头连通；所述产品气体输出通道内端口用于与分离塔内腔连通，所述产品气体输出通道外端口用于与外部产品气体装置接头连通
一种制氧机用连接板结

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