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- [发明专利]气体混合器与气体混合系统-CN201280056064.2有效
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M·莱茵德尔
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MTU腓特烈港有限责任公司
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2012-10-25
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2014-11-12
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B01F3/02
- 本发明涉及一种用于优选为燃气发动机(400)、尤其是稀燃式气体发动机混合第一气体G1和第二气体G2的、尤其是助燃空气、例如增压空气LL和可燃气体BG的气体混合器(100),所述气体混合器具有可与气体引导部连接的多部分的气体壳体,所述气体壳体具有:第一外部气体壳体部件(110),其在纵轴线LA中具有用于第一气体G1的进给部且在横轴线QA中具有用于第二气体G2的进给部;在形成用于第二气体G2的环形腔(11)的情况下被装入第一气体壳体部件(110)内的第二内部气体壳体部件(120),所述第二内部气体壳体部件具有混合室(20),第一气体G1和第二气体G2可被导入到所述混合室中以用于混合成气体混合物,其中第一气体壳体部件(110)和第二气体壳体部件(120)及环形腔(11)沿着纵轴线LA定向,且混合室(20)柱状地沿着纵轴线LA定向,其中在混合室(20)中布置了由多个空心棒(31,32,33,34)构成的混合装置(30),其中空心棒的空腔(52)按照本发明规定,多个空心棒(31,32,33,34)横向于纵轴线LA且横向于横轴线QA延伸,且至少一个空心棒具有多个用于第二气体G2的通孔(26,27),从而空腔(52)与柱状的混合室(20)流体连接。
- 气体混合器混合系统
- [发明专利]气体混合器、气体混合系统、气体发动机-CN201280024272.4有效
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J·普林茨;M·奥德马特;A·恩斯特
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MTU腓特烈港有限责任公司
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2012-05-15
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2014-07-09
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F02M21/04
- 用于将第一气体(G1)与第二气体(G2)尤其燃烧空气与燃气混合的气体混合器(1,100,200),优选用于气体发动机尤其稀薄气体发动机,具有气体壳体,所述气体壳体具有:文丘里管(20),在所述文丘里管(20)中在形成混合间隙(60)的情况下布置的用于所述第一气体(G1)的迎流体(40);连接在所述文丘里管(20)上的通向进流开口(70)的用于所述第二气体(G2)的进流管(30),所述进流开口(70)通向文丘里管(20);调整机构,借助于所述调整机构能眵变化地设定所述进流开口(70)的进流横截面(71),其中所述调整机构具有对所述进流横截面(71)限界的第一和第二调整部件,其中所述第一调整部件作为第一气体壳体部分并且所述第二调整部件作为第二气体壳体部分形成,其中所述气体壳体部分(91,92,93,94)中的至少一个形成所述文丘里管(20)和/或所述进流管(30)的部分,而且所述气体壳体部分(91,92,93,94)中的至少一个能够相对于另一个运动,其中能运动的气体壳体部分
- 气体混合器混合系统发动机
- [发明专利]气体混合块-CN201410569495.X在审
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E·韦里埃德
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索拉劳尼克斯股份有限公司
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2014-10-23
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2015-04-29
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F23D14/62
- 公开了一种用来制备待供给到火焰检测电极(382)或供给到点火电极的混合块(380)的可燃气体和空气的预先混合物。混合块包括:-出口通道(384),用来将可燃气体和空气的预先混合物引导到混合块外,-至少一个进口(386、486),用来将空气供给到混合块中,-至少两个连接件(388、389),用来将不同的可燃气体供给源连接到混合块,-通道(392、393),在混合块内部,引导来自至少两个连接件(388、389)的每一个的可燃气体。至少两个连接件(388、389)经这些通道(392、393)向混合块中的出口通道(384)是可连接的,切换器(396),用来选择从至少两个连接件(388、389)的哪个中实现对于出口通道(384)的流动连通
- 气体混合
- [发明专利]气体混合装置-CN202210780972.1在审
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张亚梅;黄明策
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拓荆科技(北京)有限公司
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2022-07-05
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2022-08-05
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B01F25/452
- 本发明提供了一种气体混合装置,涉及半导体沉积设备的技术领域,包括混合主体和挡板;混合主体内设置有混合通道,挡板位于混合主体内部,挡板与混合通道对应布置,挡板与混合通道的端部形成混合腔,挡板上开设有通孔,通孔与混合通道呈错位布置,通过将混合主体内输送工艺气体和载气,当工艺气体和载气在混合通道输送的过程中,利用挡板对混合通道内的气体进行阻挡,使得工艺气体和载气在受阻的情况下迫使进入至混合腔中进行扩散,最后通过通孔排出,实现了对工艺气体和载气扩散后均匀混合,避免了比较重的工艺气体朝向一个方向流动,从而确保混气更加均匀,缓解了现有技术中存在的被扩散至沉积室内以处理基板的工艺气体混合不均的技术问题。
- 气体混合装置
- [发明专利]气体混合装置-CN202110930065.6在审
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徐柯柯
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-08-13
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2023-04-04
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B01F23/10
- 本发明提供一种气体混合装置,包括第一气管、第二气管、第三气管和混合结构,其中,第一气管和第二气管均与混合结构连通,用于分别向混合结构内输送第一气体和第二气体,第一气体和第二气体在混合结构内相互碰撞进行一次混合;混合结构用于使进行一次混合后的第一气体和第二气体再次碰撞混合形成混合气体;第三气管与混合结构连通,并能够与半导体工艺设备的工艺腔室连通,用于向工艺腔室输送混合气体。本发明提供的气体混合装置,能够提高气体混和的均匀性,改善工艺效果,并减少装置的占用空间。
- 气体混合装置
- [发明专利]气体混合装置-CN201310092147.3有效
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A·M·塔比赫;A·E·M·耶姆贝里
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阿尔斯通技术有限公司
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2013-01-25
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2013-07-31
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B01F5/00
- 本发明涉及气体混合装置,其用于混合过程设备的过程气体(MF),所述装置包括用于使过程气体流过的气体导管(10a)、布置于气体导管中并包括至少一个混合板(42、44)的混合板区段(24),所述至少一个混合板布置成相对于流过气体导管的所述过程气体的主流向该装置还包括导叶区段(22),该导叶区段布置在所述混合板区段的上游,以与其协作来混合流过气体导管的过程气体,导叶区段包括布置成沿朝向气体导管的第一侧壁(34)的方向引导第一气流部分(GP1)的第一组导叶(26)和布置成沿朝向气体导管的第二侧壁(36)的方向引导第二气流部分(GP2)的第二组导叶(28),所述第二侧壁与所述第一侧壁相对。
- 气体混合装置
- [发明专利]气体混合装置-CN200810035472.5有效
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邵敬铭;褚小东;陈志慧;罗明陨
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上海华谊丙烯酸有限公司
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2008-04-02
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2008-08-27
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B01F5/00
- 公开了一种气体混合装置,它包括:第一种原料气体输入管(2);第二种原料气体输入管(4);缓冲室(3),所述缓冲室(3)的第一端与所述第一种原料气体输入管(2)相连,所述缓冲室(3)的第二端与所述第二种原料气体输入管(4)相连;混合气体输出管(8),它与缓冲室(3)的第一端相背的第三端相连;在缓冲室(3)的横截面平面内分布多根气体分布管(5),所述气体分布管(5)的一端经缓冲室(3)的第一端与所述第一种原料气体输入管(2)流体相通;所述气体分布管(5)的另一端经缓冲室(3)的第三端与所述混合气体输出管(8)流体相通;在所述缓冲室(3)中的气体分布管(5)上还带有一个或多个气体输入孔(6)。
- 气体混合装置
- [发明专利]气体混合装置-CN01101514.4无效
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J·P·汉利
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普莱克斯技术有限公司
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2001-01-12
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2001-11-28
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B01F3/02
- 本发明涉及用于准确混合复合气体的简便的气体混合装置。该装置包括气体控制板、用于调整压差的压力控制阀、流量计和静态混合室。所述复合气体可为一种少量气体和一种主气体,其中,例如所述主气体为氮气和所述少量气体为空气或氧气。优选所述主气体和所述少量气体以在所述主气体中少量气体占大约100ppm至大约10,000ppm的比例,更优选在所述主气体中少量气体占大约500ppm至大约2,000ppm的比例混合。
- 气体混合装置
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