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[发明专利]具有改进的选择性的气体传感器-CN200880120821.1有效
发明人：安德烈亚斯·赫尔维希;格哈特·米勒;扬·施潘哈克 -专利权人：欧洲宇航防务集团德国有限责任公司
申请日： 2008-11-27 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及用于检测气体的气体传感器(1)，该气体传感器(1)具有至少一个被施加到衬底(2)上的气体敏感层，其中在衬底(2)上还设置至少一个用于与所述层接触连接的导电带(3)，并且导电带(3)由具有非催化特性的掺杂金属氧化物材料形成，以避免导电带(3)对气体的检测的影响。这避免了现有技术的缺点并且提供了气体敏感层的接触连接，这在通过气体敏感层检测气体时不会影响敏感度性能。
具有改进选择性气体传感器

[发明专利]基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法-CN201210036092.X有效
发明人：梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青;陈鑫;詹爽 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-02-17 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器及其制作方法，该气敏传感器从下往上依次为：衬底、下电极、敏感膜和上电极；其中，该敏感膜位于下电极与上电极之间，其截面部分被暴露出来，使得气体在该截面处同敏感膜作用，充分发挥出敏感膜的敏感特性。本发明提供的基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法，相比于传统的平面敏感膜，具有立体敏感的性质，易于被测气体与所有敏感膜的接触，极大的发挥了敏感膜的层间作用，实现在常温或高温下对特殊气体敏感的功能。
基于柔性衬底传感器及其制备方法

[发明专利]一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法-CN201510509623.6有效
发明人：太惠玲;叶宗标;郑伟健;刘春华;杜晓松;谢光忠;蒋亚东 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法，属于微电子机械系统气体传感器技术领域，其目的在于提出一种传感器，通过以金属氧化物纳米粒子作为催化媒介减小石墨烯薄膜对气体响应时气体分子电子转移的化学势垒，从而增强单一石墨烯薄膜的气体敏感特性。本发明基于石墨烯材料优异的气体敏感特性，在叉指电极上优先沉积一层纳米级的金属氧化物粒子，再沉积石墨烯薄膜层，通过加热工艺获得具有气体敏感增强效应的石墨烯/金属氧化物复合薄膜。本发明适用于气体传感器，实现对不同气体高灵敏度和高选择性探测。
一种石墨金属氧化物复合气体传感器及其制备方法

[发明专利]MEMS气体传感器和提高MEMS气体传感器稳定性的方法-CN201910630446.5有效
发明人：刘宇航;刘秀洁;许诺;汪晓军 -专利权人：北京机械设备研究所
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种MEMS气体传感器、提高MEMS气体传感器稳定性的方法和装置，属于传感器技术领域，所述MEMS气体传感器包括：基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和基于P型掺杂半导体材料的敏感单元中的至少一种，以及，基于P型本征半导体材料的敏感单元；所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测氧化性气体；所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测还原性气体；所述基于P型本征半导体材料的敏感单元的电气特性稳定，用于修正所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和/或所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元的电性漂移。
mems 气体传感器提高稳定性方法

[发明专利]一种同时具有气敏和光敏的化学传感器-CN201610819121.8在审
发明人：金慧娇;田汉民;花中秋;曾艳;李彦;戎小莹;张天 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2016-09-09 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明所制备的一种同时具有光敏特性和气敏特性的化学传感器涉及专门适用于对各种气体以及光照检测的半导体器件。本发明所制备的一种同时具有光敏特性和气敏特性的化学传感器，由化学传感器的敏感层、平面型镀Au陶瓷衬底、引线以及气敏传感器底座构成；所述的化学传感器的敏感层为CH3NH3PbI3钙钛矿前驱液和WO3纳米粉末掺杂得到的薄膜层通过制备CH3NH3PbI3钙钛矿前驱液与WO3纳米粉末混合的化学传感器，不仅改善了传感器的气敏特性，提高了其对气体的灵敏度，而且这种化学传感器对光的敏感度很好，在光照强况下，降低了传感器的电阻值，从而使其对气体的灵敏度提高
一种同时有气光敏化学传感器

[发明专利]光纤气体化学传感器-CN91107275.6无效
发明人：金吉祥 -专利权人：成都科技大学
申请日： 1991-08-20 - 公布日： 1996-09-25 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：光纤气体化学传感器是一种测定气体含量的光纤化学传感器，尤其适用于二氧化硫气体的测定。它主要包括传感器体、光导纤维和敏感元件。被测气体扩散进入传感器与敏感元件中的化学试剂进行化学反应后，敏感元件的光学特性发生变化，光导纤维传输变化量信息。本发明结构简单、价格低廉、使用方便；在测定二氧化硫气体时，检测灵敏，响应速度快，选择性高。不仅可用于烟道气及其他体系的二氧化硫气体监测，还可在选择合适的敏感元件条件下，用于其他气体含量的测定。
光纤气体化学传感器

[实用新型]光纤气体化学传感器-CN91214863.2无效
发明人：金吉祥 -专利权人：成都科技大学
申请日： 1991-08-20 - 公布日： 1992-03-25 - 主分类号： G01N21/75 文献下载
摘要：光纤气体化学传感器是一种测定气体含量的光纤化学传感器，尤其适用于二氧化硫气体的测定。它主要包括传感器体、光导纤维和敏感元件。被测气体扩散进入传感器与敏感元件中的化学试剂进行化学反应后，敏感元件的光学特性发生变化，光导纤维传输变化量信息。本实用新型结构简单、价格低廉、使用方便；在测定二氧化硫气体时，检测灵敏，响应速度快，选择性高。不仅可用于烟道气及其他体系的二氧化硫气体监测，还可在选择合适的敏感元件条件下，用于其他气体含量的测定。
光纤气体化学传感器

[实用新型]气敏传感器-CN95204569.9无效
发明人：蒋大鹏;张立功;吕安德;范翊;李亚君 -专利权人：中国科学院长春物理研究所
申请日： 1995-03-02 - 公布日： 1996-05-01 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种气敏传感器由衬底、叉指电极和敏感层组成的传感器的敏感层外至少有一层修饰保护层。该保护层是由适合生长LB薄膜的双亲性有机分子，具有较好的成膜特性。通过修饰保护层材料的选择可以实现敏感层的保护作用，使有害气体不能进入而被测气体可以扩散进入敏感层中，从而提高器件的使用寿命和稳定性。
传感器

[发明专利]高灵敏度半导体气敏元件-CN91108927.6无效
发明人：吴兴惠 -专利权人：云南大学
申请日： 1991-09-09 - 公布日： 1995-02-08 - 主分类号： H01C7/00 文献下载
摘要：一种高灵敏度半导体气敏元件，由N型和P型半导体材料制成的两种敏感体构成一个整体气敏元件，并包含有衬底、电极和加热器，其特征是这两种敏感体对待测气体均敏感，两者可组合成N-P型或P-N型结构，当接触待测气体时，P型敏感体的电阻随待测气体浓度增大而增大，N型敏感体的电阻却随之而减小。所以该元件的灵敏度近似等于构成它的这两种敏感体各自灵敏度的乘积，因而可实现检测气体的高灵敏度，同时还可实现选择性倍增，改善热稳定性和初期驰豫特性，增强抗环境湿度的能力。
灵敏度半导体元件

[发明专利]贵金属/贱金属氧化物/石墨烯三元复合气敏材料及制备-CN201510570223.6有效
发明人：孙宇峰;孟凡利;葛胜;赵丽洁 -专利权人：安徽工程大学
申请日： 2015-09-09 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种贵金属/贱金属氧化物/石墨烯三元复合气体敏感材料及其制备方法。通过一系列工艺实现贵金属/贱金属氧化物/石墨烯三元复合气体敏感材料的制备。该复合材料结合了组分各自本身的优异特性，在克服传统金属氧化物敏感材料灵敏度低、选择性差、电阻大等缺点的同时进一步提升了传感器的气敏特性。以此三元复合材料制作的气敏传感器用于检测丙酮气体比金属氧化物/石墨烯复合材料及金属氧化物/贵金属半导体材料作为敏感材料的传感器具有更高的灵敏度、更快的响应、更短的恢复时间以及更强的选择性，具有广阔的应用前景
贵金属金属氧化物石墨三元复合材料制备

[发明专利]一种变压器瓦斯气体检测方法、系统、设备和介质-CN202211591748.4在审
发明人：黄之明;成传晖;卓然;傅明利;贾磊;罗颜;高萌;王邸博;陈秋霖;杨伟鸿;赵思诚;冯建辉;林灏凡;蒲金雨 -专利权人：南方电网科学研究院有限责任公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种变压器瓦斯气体检测方法、系统、设备和介质，通过当接收到变压器对应的待检测瓦斯气体数据时，获取待检测瓦斯气体数据对应的多个气体参数。基于气体参数和预设的检测敏感原理，确定待检测瓦斯气体数据对应的检测传感器。基于检测传感器和对应的气体参数，构建检测传感器对应的目标拟合多项式。基于目标预设拟合多项式，确定待检测瓦斯气体数据对应的检测数据。通过预设的检测敏感原理，结合传感器的交叉敏感特性，实现一个传感器检测多个气体参数，大幅减少系统中传感器的数量，降低传感集成的难度。
一种变压器瓦斯气体检测方法系统设备介质

[发明专利]一种基于气体传感器阵列的汽车尾气检测方法-CN200810126443.X有效
发明人：张正勇;梅涛;孔德义;徐定钧 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2008-06-27 - 公布日： 2008-11-05 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于气体传感器阵列的汽车尾气检测方法，气体传感器阵列安装在可改变温度、湿度并能注入和排出被测气体的测试箱中，包括CO气体传感器、NO₂气体传感器，可燃性气体传感器、检测方法有安装气体传感器阵列标定与汽车尾气检测系统，气体传感器阵列在洁净空气中的特性标定，气体传感器阵列对单组分气体的敏感特性标定，气体传感器阵列对汽车尾气中总碳氢化合物的敏感特性标定，气体传感器阵列对混合气体检测精度的测试，气体传感器阵列应用于汽车尾气的检测与分析。该方法还包括数据融合处理，分别计算出八组气体传感器阵列的八组浓度值和平均值，分别得到汽车尾气中CO、NO₂和总碳氢化合物的浓度。
一种基于气体传感器阵列汽车尾气检测方法

[发明专利]高光谱卫星数据反演氧化亚氮廓线的通道选取方法及装置-CN201711057456.1有效
发明人：马鹏飞;厉青;王桥;张丽娟;陈辉;张玉环;王中挺;周春艳;毛慧琴;陈翠红 -专利权人：环境保护部卫星环境应用中心
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种高光谱卫星数据反演氧化亚氮廓线的通道选取方法及装置，包括：高光谱卫星数据在氧化亚氮υ1和υ3吸收带随气体浓度变化时的亮温变化幅度，选取变化幅度最大的光谱区间作为敏感通道集；根据氧化亚氮υ1和υ3吸收带的气体透过率以及传感器观测噪声，从敏感通道集中选取不被其它气体吸收特性覆盖且传感器噪声较小的通道作为优化通道集；根据权重函数的物理意义，从优化通道集中选取权重函数峰值所在高度不重叠的通道作为反演通道集本发明根据氧化亚氮的红外吸收特征以及高光谱数据不同通道对不同气压层氧化亚氮吸收敏感的特性选择最优通道，使在所选反演通道上目标气体信息量大，干扰气体信息量小，氧化亚氮廓线的反演精度高。
光谱卫星数据反演氧化亚氮通道选取方法装置

[实用新型]石墨烯复合气体敏感材料、气敏传感器-CN201822231845.8有效
发明人：刘瑞 -专利权人：苏州甫一电子科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨烯复合气体敏感材料及气敏传感器。所述石墨烯复合气体敏感材料包括金属催化层、多个石墨烯层和多个金属氧化物和/或金属修饰层，其中一石墨烯层直接叠设在金属催化层上，且所述多个石墨烯层与所述多个金属氧化物和/或金属修饰层交替层叠设置，使所述石墨烯复合气体敏感材料具有三维多层复合结构本实用新型提供的石墨烯复合气体敏感材料具有良好的气敏特性，能够在较低温度下工作，并且具有良好选择性、重复性，能够在多种气敏传感器中广泛应用，同时其制备工艺简单易实施，可控性好，适于规模化生产。
复合气体敏感材料石墨烯石墨烯层本实用新型金属催化层金属修饰层金属氧化物气敏传感器多层复合结构规模化生产交替层叠气敏特性制备工艺可控性三维应用

[发明专利]一种乐甫波气体传感器-CN200910008940.4无效
发明人：李红浪;刘久玲;程利娜;何世堂 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2009-02-13 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： G01N29/12 文献下载
摘要：本发明提供一种乐甫波气体传感器，包括：压电基片、沉积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜，其中，该敏感膜为半导体型气敏材料层，输入叉指换能器在压电基片中激发声波并传播，输出叉指换能器用于接收声波，当加载的被测物与敏感膜发生反应后会导致声波的特性发生变化，通过检测这些变化而得到关于被测物的特性结论。本发明的乐甫波气体传感器能够克服现有半导体型传感器检测下限不高的缺陷，从检测手段方面改善传感器性能，将乐甫波传感器的结构，与现有的半导体型固体气敏膜技术相结合，实现高灵敏度、稳定的气体检测功能。
一种乐甫波气体传感器

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