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- [发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN201310173326.X有效
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仙波昌平;吹野康彦
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东京毅力科创株式会社
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2013-05-10
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2017-06-09
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H01L21/3065
- 本发明提供基板处理方法和基板处理装置,能够缩短在使用多种处理气体对基板连续地实施多个处理时所需要的时间。在具有腔室(11)和向该腔室导入处理气体的处理气体导入管路(12)的导入管(19)的基板处理装置(10)中,在对自上方以第1层、第2层以及第3层的顺序层叠有第1层、第2层以及第3层的基板(S)连续地实施蚀刻处理时,在蚀刻第1层后,使置换气体流入到导入管中而将残留在导入管、腔室中的第1蚀刻气体挤出而排出,在蚀刻第2层后,使置换气体流入到导入管中而将残留在导入管、腔室中的第2蚀刻气体挤出而排出,在蚀刻第3层后,使置换气体流入到导入管中而将残留在导入管、腔室的第3蚀刻气体挤出而排出。
- 处理方法装置
- [发明专利]卧式压缩机-CN201210034471.5有效
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羽部恭介;小野口昌宏;菅原涉;岛田敦
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日立空调·家用电器株式会社
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2012-02-15
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2013-04-24
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F04B39/00
- 本发明提供卧式压缩机,其降低气体罩排出的冷媒气体中的油含油量,防止在机外排出空间产生噪音,抑制压缩冷媒的压力损失的产生。卧式压缩机(50)具备密闭容器(1)、压缩机构部、电动机部、吸入管(7)及排出管(13)。在电动机部与排出管之间设置用于区划密闭容器的隔板(12),在该隔板的与电动机部的相反侧安装上部以及下部开放的气体罩(16)。在隔板的上部形成供冷媒气体流通压缩的冷媒气体通道孔(12a),在下部形成供润滑油流通的润滑油通道孔(12b)。气体罩形成为上边比密闭容器的内径(15s)小、且高度为覆盖冷媒气体通道孔的高度。气体罩弯折成型并形成为截面呈矩形形状,利用隔板与气体罩来构成气液分离机构。
- 卧式压缩机
- [实用新型]一种高效加热器-CN201520509932.9有效
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张航
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江苏沃德托普热力科技有限公司
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2015-07-15
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2015-12-30
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F28D7/00
- 本实用新型提供一种高效加热器,包括一直筒型壳体,壳体顶部设置物料入口,壳体底部设置物料出口,壳体内部设置多根竖直的加热管,壳体侧面从上至下依次设置不凝性气体排出口、蒸汽入口、冷凝水出口和二次蒸汽排出口;壳体外围设置一环形管,环形管与壳体之间均匀设置排气孔,环形管与不凝性气体排出口相连通。通过在加热器上部设置环形管,并通过排气孔与加热器内部联通,将不凝性气体引到环形管内,然后通过不凝性气体排出口排出加热器,使得加热器内的加热管道可以更加高效地使用,提高了生产效率,降低了生产成本。
- 一种高效加热器
- [发明专利]干燥装置-CN201711020131.6有效
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帆山克明
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株式会社川田
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2017-10-27
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2020-12-08
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F26B11/00
- 本发明提供一种干燥装置,能够抑制加热干燥后的粉粒物料的温度在排出管的内部降低。该干燥装置(1)具有:存储槽(10),存储粉粒物料即树脂颗粒(9);第1循环管(30),将存储槽(10)排出的气体通过加热器(33)加热后向存储槽(10)导入;排出管(41),将树脂颗粒(9)从存储槽(10)排出。存储槽(10)内的树脂颗粒(9)通过从第1循环管(30)导入的热风进行干燥。另外,该干燥装置(1)具有对设于排出管(41)的第2排气口(413)和第1循环管(30)进行连接的第2循环管(50)。存储槽(10)内的气体的一部分经由排出管(41)向第2循环管(50)流动。由此,能够抑制排出管(41)中的树脂颗粒(9)的温度降低。
- 干燥装置
- [发明专利]气体排出阀和具有气体排出阀的压缩机-CN201510708139.6有效
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隋勇;丁思远;邢立丽;张海峰
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丹佛斯(天津)有限公司
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2015-10-27
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2019-06-11
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F04C29/12
- 本发明公开一种气体排出阀,包括:阀座、阀体和阀盖。在阀盖中形成有一个容纳腔,在容纳腔的周壁上形成有与容纳腔连通的气体通道,并且在容纳腔的顶壁上形成有与容纳腔连通的泄气孔;在阀体上形成有一个盲孔;阀体容纳在阀盖的容纳腔中,当具有预定压力的压缩气体从排气孔排出时,容纳在阀盖的容纳腔内的阀体被排出的压缩气体顶起并吸附在容纳腔的顶壁的内侧上,并且从排气孔排出的压缩气体经由阀盖的气体通道流出。在本发明中,在排气时阀体能够被可靠地吸附在阀盖的容纳腔的顶壁的内侧上,因此,在排气时气体排出阀能够被可靠地保持在打开位置,保证排气顺畅,并且能够防止气体排出阀因气体压力波动而导致的频繁切换和疲劳失效。
- 气体排出具有压缩机
- [实用新型]气体排出阀和具有气体排出阀的压缩机-CN201520839363.4有效
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隋勇;丁思远;邢立丽;张海峰
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丹佛斯(天津)有限公司
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2015-10-27
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2016-05-04
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F04C29/12
- 本实用新型公开一种气体排出阀,包括:阀座、阀体和阀盖。在阀盖中形成有一个容纳腔,在容纳腔的周壁上形成有与容纳腔连通的气体通道,并且在容纳腔的顶壁上形成有与容纳腔连通的泄气孔;在阀体上形成有一个盲孔;阀体容纳在阀盖的容纳腔中,当具有预定压力的压缩气体从排气孔排出时,容纳在阀盖的容纳腔内的阀体被排出的压缩气体顶起并吸附在容纳腔的顶壁的内侧上,并且从排气孔排出的压缩气体经由阀盖的气体通道流出。在本实用新型中,在排气时阀体能够被可靠地吸附在阀盖的容纳腔的顶壁的内侧上,因此,在排气时气体排出阀能够被可靠地保持在打开位置,保证排气顺畅,并且能够防止气体排出阀因气体压力波动而导致的频繁切换和疲劳失效
- 气体排出具有压缩机
- [发明专利]降低机油排出量的旋转压缩机-CN200510084127.7无效
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廉容范
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乐金电子(天津)电器有限公司
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2005-07-14
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2007-01-17
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F04C29/02
- 一种可以避免因为机油不足而导致的可靠性及性能下降的问题的降低机油排出量的旋转压缩机。本发明降低机油排出量的旋转压缩机,包括:具有排出管及吸入管的外壳;安装于上述外壳内部,用于产生驱动力的电机部;安装于上述外壳内部,通过接收电机部传递的动力工作并对冷媒气体进行压缩的压缩机部;具有与上述外壳对应的横截面且设有多个用于使冷媒气体通过的第1贯穿孔,并安装于上述外壳内部的上述电机部上侧,对排出到上述排出管的冷媒气体中的机油进行分离的第1机油分离部件;设有多个用于使冷媒气体通过的第2贯穿孔,安装于上述第1机油分离部件的上侧或下侧中的任一侧,对排出到上述排出管的冷媒气体中的机油进行分离的第2机油分离部件。
- 降低机油排出旋转压缩机
- [实用新型]一种环保工程用有害气体处理装置-CN202120480661.4有效
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符长征
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湖南艺水环境工程设备有限公司
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2021-03-05
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2021-11-05
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B01D53/78
- 本实用新型公开了一种环保工程用有害气体处理装置,本实用新型涉及环保工程技术领域。该环保工程用有害气体处理装置,有害气体通过进入管、空心盘和出气管,由下倾斜出气孔排出至处理罐内,通过设有多个出气管,使得有害气体较为均匀地分布在处理罐内,通过驱动电机转动带动搅拌杆转动,从而对处理罐内的净化液搅拌,使得有害气体与处理罐内的净化液充分反应,并且通过设有出气机构,液压缸带动密封塞往复运动一定距离,使得处理罐顶部经过净化的有害气体震荡,进一步地与处理罐内腔的净化液反应,然后由液压缸带动密封塞移动一定距离越过排出管,使得净化后的气体由排出管排出,提高了有害气体净化的质量。
- 一种环保工程有害气体处理装置
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