专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]多功能氮化炉-CN200920231584.8无效
  • 吴光治 - 南京摄炉(集团)有限公司
  • 2009-09-01 - 2010-06-02 - C23C8/24
  • 本实用新型公开一种多功能氮化炉,包括氮化罐,其特征在于:氮化罐上设置有氨气入口、氮气和氢气形成的混合气体入口以及甲醇气体入口,氮化罐附设有氨气支路、含有氮气和氢气的混合气体支路、甲醇气体支路,与现有技术相比,本实用新型在淡化罐上设置氨气入口、氮气和氢气的混合气体入口、甲醇气体入口以及二氧化碳催化剂入口,通过氨气分解炉将氨气分解为氮气和氢气,通入混合气体、以及甲醇,不仅可以提高金属热处理的效率,缩短时间,还能提高金属表面的氮含量以及碳含量
  • 多功能氮化
  • [实用新型]一种油蒸气过滤系统-CN202121849092.2有效
  • 金兆迪;郑琦;谢金坤;宫晓伟;何茂金;梁仁刚 - 杰瑞环保科技有限公司
  • 2021-08-09 - 2022-01-18 - B01D46/00
  • 该油蒸气过滤系统包括加热炉、第一过滤塔、第二过滤塔和惰性气体源;加热炉形成有反应室以及与反应室相连通的第一油气出口;第一过滤塔形成有第一容纳腔、第一气体入口和第一油气入口,第一油气出口与第一油气入口相连通,第一容纳腔内布置有第一过滤器,第一气体入口与第一过滤器连通;第二过滤塔形成有第二容纳腔、第二气体入口和第二油气入口,第一油气出口与第二油气入口连通,第二容纳腔内布置有第二过滤器,第二气体入口与第二过滤器连通;惰性气体源的出气口与第一气体入口和第二气体入口连通。
  • 一种蒸气过滤系统
  • [发明专利]气体输送结构及气相沉积设备-CN202211247743.X在审
  • 刘振;吴凤丽;刘润哲;金基烈 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2022-10-12 - 2022-12-30 - C23C16/455
  • 本发明提供了气体输送结构及气相沉积设备。该气体输送结构包括:分气块,包括多个气体入口及多条独立的气路,其中,第一入口经由第一气路通向喷淋板的内区挡板,第二入口经由第二气路通向喷淋板的外区挡板,第三入口经由第三气路通向喷淋板的清洗气体分气板;以及喷淋板,包括内区挡板、外区挡板及清洗气体分气板,其中,内区反应气体经由第一入口、第一气路及内区挡板,被喷洒到待加工晶圆的中心区域,外区反应气体经由第二入口、第二气路及外区挡板,被喷洒到待加工晶圆的边缘区域,清洗气体经由第三入口、第三气路及清洗气体分气板,被喷洒到晶圆托盘的中心区域及边缘区域。
  • 气体输送结构沉积设备
  • [实用新型]气流盖及气相沉积系统-CN202221694088.8有效
  • 程志青;黄理承;宋长伟;朱涛;芦玲 - 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
  • 2022-07-01 - 2022-10-14 - C23C16/44
  • 该气流盖包括盖体;盖体的顶面和/或侧面设置有第一反应气体入口、第二反应气体入口和第三反应气体入口;盖体的底面设置有多个第一反应气体出口、多个第二反应气体出口和多个第三反应气体出口;盖体内部设置有第一反应气体腔、第二反应气体腔和第三反应气体腔;第一反应气体入口、第二反应气体入口和第三反应气体入口中的一个或者多个设置有推气装置。本实用新型的目的在于提供一种气流盖及气相沉积系统,以在一定程度上解决现有技术中存在的Ⅲ族反应气体与掺杂反应气体各自通入量无法单独调整的技术问题。
  • 气流沉积系统

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