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[实用新型]一种晶圆片的取片装置-CN202221349191.9有效
发明人：洪加添;潘锴 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片的取片装置，包括卡塞盒和载台底座；载台底座的上表面为倾斜面；卡塞盒可拆卸放置在载台底座上，且卡塞盒内的每个卡塞槽沿着倾斜面的倾斜方向依次排列分布；本实用新型通过将载台底座上方设置为倾斜面，从而使得卡塞座以倾斜放置的方式放置在载台底座上，位于卡塞槽内的晶圆片便会朝向同一方向倾斜，确保了位于卡塞槽内的每片晶圆片的固定间距，使得吸笔深入时不易刮伤晶圆片，且晶圆片在放置入卡塞槽处时也能够根据卡塞盒的倾斜方向来确保每片晶圆片正背面朝向的一致，也有效防止吸笔吸片时吸到晶圆片正面，减少操作造成的质量缺陷，以提升晶圆片的生产效率。
一种晶圆片装置

[实用新型]一种晶圆片清洗用载盒-CN202222908091.1有效
发明人：洪加添;黄秀兰;林展成 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种晶圆片清洗用载盒，所述固定板立设，所述固定板的下部侧壁贴附外盒的一外侧壁设置；所述固定板上部设有定位孔；所述内盒设有多个且均设置在外盒内，所述内盒靠近固定板的一端向下倾斜本实用新型的有益效果在于：只需设置卡塞中的晶圆片反面全部都朝向固定板，晶圆片在所述晶圆片清洗用载盒中时，晶圆片因为重力自动的反面贴附卡塞内壁，而正面与卡塞间隔设置。故本实用新型提供的晶圆片清洗用载盒，实现晶圆片在清洗机中时，晶圆片的正面不贴住卡塞内壁。
一种晶圆片清洗用载盒

[实用新型]晶圆卡塞盒载具定位机构-CN202223365930.6有效
发明人：刘钦源;雷剑锋;郑少宇 -专利权人：普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，涉及一种晶圆卡塞盒载具定位机构。本实用新型通过定位组件对卡塞盒顶部进行定位，压料组件将卡塞盒压紧在定位组件上，以此完成卡塞盒的周向和竖直方向定位，保证卡塞盒取放晶圆时的稳定性，支撑板上支撑槽与固定凹槽同步对卡塞盒上的晶圆进行平稳支撑，有效防止晶圆的移动，又可避免磨损晶圆的边缘，可保证晶圆在运输和取放料过程中的安全。
晶圆卡塞盒载具定位机构

[实用新型]一种晶圆片叠片装置-CN202123405975.7有效
发明人：陈飞;孙月平 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片叠片装置，包括下承载组件，包括用于承载卡塞盒的支撑面、用于支撑晶圆片的载台以及用于驱动所述的载台上下运动以将位于所述卡塞盒内的晶圆片顶出卡塞盒的驱动单元；上压台组件，包括位于所述载台正上方的上压台代了现有技术中人工叠片方式，通过使用叠片装置，起到了整盒晶圆片叠片功能，进而起到了降低接触污染、提高作业效率。
一种晶圆片叠片装置

[发明专利]晶圆盒载具、晶圆盒清洗设备及晶圆盒清洗的方法-CN202310656544.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。
晶圆盒载具晶圆盒清洗设备方法

[实用新型]一种半导体晶圆传输系统-CN202122763636.X有效
发明人：朱新亮 -专利权人：上海玖蓥智能科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体晶圆传输设备技术领域，具体是一种半导体晶圆传输系统，包括晶圆机械手、陶瓷手臂、晶圆校准器、晶圆卡塞、卡塞治具，陶瓷手臂设置在晶圆校准器上端，晶圆校准器、晶圆卡塞设置在晶圆机械手四周，晶圆卡塞设置卡塞治具上。本实用新型同现有技术相比，通过在卡塞治具内重叠设置不同大小的U型凸台，并在U型凸台上设置对应大小的X向微调定位块和Y向微调定位块，通过不同大小的X向微调定位块和Y向微调定位块与对应的U型凸台相配合，使卡塞治具可以兼容不同大小的晶圆卡塞
一种半导体传输系统

[发明专利]晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法-CN202311203313.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-09-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法，所述检测辅助装置包括驱动组件和与所述驱动组件连接的载具，所述晶圆盒能够被收容在所述载具内，且所述驱动组件能够驱动所述载具带动所述晶圆盒绕转动中心线同步摆动，其中，所述转动中心线位于所述晶圆盒的中心对称面上。进行洁净度检测时，向晶圆盒的内腔中注入适量检测液，后驱使载具带动晶圆盒摆动，使得检测液浸润晶圆盒内腔的所有表面，最后使用液体颗粒检测设备对检测液进行检测，该检测辅助装置能够通过驱动组件驱使载具并带动晶圆盒同步摆动
晶圆盒检测辅助装置洁净方法

[发明专利]晶圆标记设备-CN202210457980.2在审
发明人：李志强;李文强;杨建新;朱霆;盛辉;周学慧;张凯 -专利权人：深圳泰德半导体装备有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆标记设备，该晶圆标记设备包括机架、至少一个料盒载具以及至少一检测机构，所述机架设有机台；所述料盒载具设于所述机台，所述料盒载具用于固定晶圆料盒；所述检测机构包括至少两检测器，至少两所述检测器间隔设于所述料盒载具的表面，两所述检测器同时检测到所述晶圆料盒的信号时，所述晶圆料盒预装到位。本发明技术方案旨在减小料盒的上料误差，提升晶圆的标记效率。
标记设备

[实用新型]一种晶圆载具盒适配器及半导体晶圆搬送装置-CN202321200761.2有效
发明人：张明辉;余涛;王周杰 -专利权人：乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆载具盒适配器及半导体晶圆搬送装置，其中晶圆载具盒适配器用于放置在半导体晶圆搬送前端模块装载平台上，包括适配器本体；若干个挡块，分布于所述适配器本体的上表面，用于对所述晶圆载具盒进行空间定位；存在检测传感器，设置于所述适配器本体的上方，用于检测所述晶圆载具盒是否存在以及是否放平；若干个定位柱，分布在所述适配器本体的下表面，用于与所述装载平台的定位销相配合；夹紧块，设置在所述适配器本体的下方本实用新型实现了一个晶圆搬送前端模块装载口平台可以兼容布置晶圆盒和晶圆载具盒，解决了单个设备只能处理晶圆不能处理晶圆载具的问题。
一种晶圆载具盒适配器半导体晶圆搬送装置

[发明专利]一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备-CN201811564336.5在审
发明人：刘超群 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备，所述晶舟盒，用于装载晶圆，包括：盒体，所述盒体具有内部空腔、顶盖、与所述顶盖相对的底壁；晶圆载具，设置于所述盒体的所述内部空腔内，用以装载至少一个晶圆；所述晶圆载具与所述顶盖、所述底壁可拆卸固定连接，所述顶盖能够打开，以取出或装载所述晶圆载具。本发明的晶舟盒能够提高每小时产量和保证晶圆安全性。
一种晶舟盒包括半导体设备

[发明专利]晶圆运输载具以及晶圆盒检测方法-CN201810053920.8有效
发明人：詹翔安;李忠宪;萧凤儒 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供一种晶圆运输载具以及晶圆盒检测方法，晶圆运输载具包括：一乘载装置，具有一容置空间以及与容置空间连接的一检测区域；一悬吊装置，设置于容置空间内，且被配置用以将一晶圆盒移动至容置空间内；以及一检测装置，设置于乘载装置上，被配置用于检测晶圆盒的门板的位置，以于门板位于检测区域内时，发出一警告信号。利用本公开的检测装置可于悬吊装置移动晶圆盒的过程中，或是晶圆运输载具运输晶圆盒的过程中即时地检测晶圆盒的门板是否松脱于外壳，并可于检测到门板松脱于外壳时发出警告信号，进而可防止门板脱落于外壳与降低晶圆报废的风险
运输以及晶圆盒检测方法

[发明专利]清洗回收晶圆盒或卡塞的方法-CN201810177357.5在审
发明人：廖彬;刘留;周铁军 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种清洗回收晶圆盒或卡塞的方法，包括以下步骤：使用光源检查晶圆盒或卡塞，撕去晶圆盒或卡塞上的标签，将晶圆盒或卡塞拆卸备用；将拆卸备用的晶圆盒或卡塞放入第一超声槽中进行超声清洗3~5min，第一超声槽里放有氨水和去离子水形成的混合溶液，氨水和去离子水体积比为1:30~60；之后将晶圆盒或卡塞取出放入溢流槽中，使用去离子水进行溢流处理1~3min；将晶圆盒或卡塞取出放入第二超声槽中进行超声清洗3~5min，第二超声槽内盛放有酒精和去离子水的混合溶液，酒精和去离子水的体积比为1:10~30；之后再将晶圆盒或卡塞取出放入溢流槽中，使用去离子水进行溢流处理1~3min；取出晶圆盒或卡塞晾干后在暗室里使用光源进行检查，挑出合格的晶圆盒或卡塞。
晶圆盒卡塞去离子水超声槽放入取出氨水超声清洗混合溶液体积比溢流槽拆卸光源溢流备用酒精清洗回收晾干暗室盛放撕去标签检查

[发明专利]一种自动矫正式晶圆料盒上料载具-CN202311083063.3在审
发明人：安礼余;肖山竹 -专利权人：宇弘研科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-08-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，属于晶圆上料相关技术领域，包括上料载具本体；所述上料载具本体的后方固定设置有阻料防尘板；还包括：所述上料载具本体的顶面左右两侧均通过轴承转动设置有双向螺纹杆，且左右两侧双向螺纹杆的前后两侧外壁均螺纹连接于纠偏导向板的底端；其中，阻料防尘板内部的推送槽口中部滑动设置有防尘遮蔽板；其中，对称设置的所述纠偏导向板的顶面中部均固定安装有驱动盒体。该自动矫正式晶圆料盒上料载具，上料托举平台与定位横板对晶圆料盒进行定位，由纠偏导向板与纠偏导轮防止晶圆料盒在供料时不会发生偏移，并通过防尘遮蔽板的后移与下降，进而便于晶圆料盒后续针对晶圆体的供料工作。
一种自动矫正式晶圆料盒上料载具

[实用新型]晶圆镀锅自动上下料装置-CN202222422904.6有效
发明人：吴泽斌;林志阳;王世锐 -专利权人：厦门特仪科技有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆镀锅自动上下料装置，属于蒸镀设备技术领域，晶圆镀锅自动上下料装置，包括机台，机台上设置有卡塞定位组件、晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件，卡塞定位组件位于晶圆移栽模组的一侧，移料载台位于晶圆移栽模组的另一侧，晶圆移栽模组能够将晶圆在卡塞定位组件和移料载台之间移栽，第一视觉定位组件设置于移料载台靠近晶圆移栽模组的一侧，机械手组件设置于移料载台的一侧，能够将晶圆在移料载台和镀锅定位旋转组件之间移栽本实用新型的晶圆镀锅自动上下料装置，实现对晶圆的自动上下料，生产效率高。
晶圆镀锅自动上下装置

[实用新型]具保护晶圆的真空吸附载具机构-CN201920010832.X有效
发明人：陈石矶 -专利权人：陈石矶
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种具保护晶圆的真空吸附载具机构，用于承载一晶圆，该晶圆上已制成多个晶片；该具保护晶圆的真空吸附载具机构包括一载板用于承载位于其上方的该晶圆；至少一真空环路配置于该载板上，其为分布在该载板上表面的凹槽；该真空环路包括一贯穿孔从该真空环路的底部贯穿到该载板的下方；一密封塞用于密封该贯穿孔的下方而使得气体无法流过该贯穿孔；当该载板承载该晶圆时，该真空环路被抽真空，而应用大气压力差将该晶圆固定在该载板上，使得该载板可以载送该晶圆
晶圆载板真空环路空吸承载贯穿孔载板上表面大气压力抽真空密封塞穿孔晶片密封贯穿配置应用

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