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[其他]高能放电腔-CN86105647无效
发明人：申家镜;彭寄星;张书亮;杨云杰;王林胜 -专利权人：黑龙江牡丹江电子技术研究所
申请日： 1986-07-31 - 公布日： 1988-02-10 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：一种高能放电腔，属于横向放电气体激光器。由多组含电容及放电室的带状传输线所构成的放电腔体与火花开关、电感线圈、输出窗、反射镜等可以组合成布鲁姆林等电路的横向高能放电气体激光腔，本发明比同类放电腔的特性阻抗低一个数量级，而注入能量可以高一个数量级，仅十公分放电长度的特性阻抗只有0.01欧姆，在放电持续时间只为2毫微秒内，就可以注入十焦耳以上的能量，如用来激励氮激光工作物质能获得兆瓦级激光脉冲。
高能放电

[发明专利]设有陶瓷放电腔的高压放电灯-CN98115127.2无效
发明人： R·胡廷格;D·兰格;R·蒂特 -专利权人：电灯专利信托有限公司
申请日： 1998-06-26 - 公布日： 2004-05-26 - 主分类号： H01J61/36 文献下载
摘要：至少在设有陶瓷放电腔(25)的金属卤化物灯的一端有引线的一个由陶瓷金属构成的构件(9)(销或毛细管)，其金属含量高到这样程度使它如同金属那样可被焊接。
设有陶瓷放电高压电灯

[发明专利]一种基于放电的二次电子发射系数测量装置及方法-CN202011287205.4有效
发明人：王春生;孙含笑;薛晨博 -专利权人：燕山大学
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开一种基于放电的二次电子发射系数测量装置及方法，该装置包括放电箱内设置两个放电腔，分别为上放电腔和下放电腔，上放电腔包括上放电板，上放电板与放电箱上内侧壁构成上放电腔，下放电腔包括下放电板，下放电板与放电箱下内侧壁构成下放电腔；该测量方法利用利用汤生自持放电条件公式结合放电平衡时上下放电板长度求得电子发射系数，装置制作简单，测量方法可肉眼观测，方便检测与验证。
一种基于放电二次电子发射系数测量装置方法

[发明专利]一种分段式电容放电装置及其放电方法-CN201810856462.1有效
发明人：谢晔源;王宇;姜田贵;朱铭炼 -专利权人：南京南瑞继保电气有限公司;南京南瑞继保工程技术有限公司
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H02M1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种分段式电容放电装置，所述装置包括第一放电器与第二放电器，第一放电器中包括一个固定腔与一个移动腔；所述固定腔腔内包含第一放电电阻、第一放电电阻一端通过导体与腔头连接，另一端通过导体与腔尾连接；移动腔腔内包含第二放电电阻，第二放电电阻一端通过导体与腔头连接，另一端通过导体与腔尾连接；移动腔可移动到两个位置，移动到第一位置时，移动腔腔头与固定腔的腔头可靠连接，移动腔移动到第二位置时，移动腔腔头与固定腔的腔头不连接本发明还提出了相应的放电方法。本发明通过移动腔不同位置控制可实现放电电阻的调节，适应电容电压较大范围变动时的放电需求，兼顾放电速度与放电安全性、实现简单、便于携带，性价比高。
一种段式电容放电装置及其方法

[发明专利]一种准分子激光器放电腔结构-CN202310669839.3在审
发明人：李术功 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本申请涉及一种准分子激光器放电腔结构，包括：放电腔体，该放电腔体为封闭的卧式空心筒体结构，放电腔体的顶部开设有进气口和排气口；放电腔室，该放电腔室可拆卸密封连接在放电腔体的顶部，且通过进气口和排气口与所述放电腔体相通；放电极对，该放电极对包括固定在放电腔室内的阴极电极和位于放电腔室内且与放电腔体固定连接的阳极电极。本申请的设置了相互可拆卸连接的放电腔体和放电腔室，当放电极对随着工作时间的延长被逐渐被气体“腐蚀”和长期的电子轰击造成电极材料的“蒸发”后，通过拆卸放电腔体上的放电腔室即可快速取出和更换放电极对，整个过程简单快捷
一种准分子激光放电结构

[发明专利]一种线圈结构能随放电腔结构进行变化的离子源-CN202110002163.3在审
发明人：张瑶瑶;刘小波;胡冬冬;张怀东;刘海洋;李娜;郭颂;李晓磊;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种线圈结构能随放电腔结构进行变化的离子源，包括从外至内依次同轴设置的离子源腔、线圈支撑、线圈和放电腔本体；放电腔本体包括放电腔顶部、放电腔中部和放电腔底部；放电腔顶部为中空圆环；放电腔底部为中心设有进气孔的圆盘；放电腔中部包括上端直筒和下端Dome型筒；线圈支撑的外圈安装在离子源腔的内壁面，线圈支撑的内壁面形状与放电腔本体的形状相同；线圈安装在线圈支撑内，且包括筒形螺旋线圈和Dome型线圈；筒形螺旋线圈的位置与上端直筒的位置相对应，Dome型线圈与下端Dome型筒的位置相对应；每层线圈到放电腔本体外壁面的距离均相等。本发明将盘香形ICP源与筒状ICP源相结合，能够分段调节放电腔本体内的等离子体密度，改善刻蚀均匀性。
一种线圈结构放电进行变化离子源

[实用新型]一种平行板式臭氧发生器-CN202223101513.0有效
发明人：赵旺 -专利权人：山东东屋环保设备有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：一种平行板式臭氧发生器，包括贴合连接的地电极板和放电极板，地电极板靠近放电极板一侧的中部向内凹陷设有放电腔，贯通放电腔设有总进气口和总出气口，放电极板包括高压电极板，其靠近地电极板一侧的中部向内凹陷设有调节腔，调节腔内设有放电板，放电板与调节腔的腔底之间设有弹簧，放电板外圈与高压电极板固定且板面与调节腔的顶端齐平，放电板通过高压电极板上的穿线口与外界供电电源连接，通过弹簧来控制放电板的高度与调节腔的顶端齐平，通过控制放电腔深度来控制放电间隙，使得放电板与地电极板之间无刚性接触，有效防止了放电板受挤压损坏，放电板与高压电极板固定连接后，保证其与放电腔之间的间隙均匀稳定，提高了臭氧生成效率。
一种平行板式臭氧发生器

[发明专利]一种大功率气体放电电子枪-CN202211463440.1在审
发明人：张伟 -专利权人：星航高能科技（南京）有限公司;南京晟源企业管理合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：本发明公开了一种大功率气体放电电子枪，属于电子枪技术领域，包括水冷放电腔室外壳以及置于水冷放电腔室外壳中的阴极和阳极，水冷放电腔室外壳、阴极和阳极构成放电腔室，在阳极远离阴极的一端安装有设置多孔气流导引组件，将传统的单一气流输入模式优化为多孔气流输入模式，可以保障输入到放电腔室内的气流沿着放电腔室内壁以层流状态均匀分布，减少低压大电流电弧放电发生几率；在放电腔室附近设置电弧放电红外检测单元，可以快速检测到放电腔室内低压大电流电弧放电发生与消失时刻，可为控制电路提供精准控制参数，调整气体放电电子枪电源的工作状态，从而保障气体放电电子枪长期稳定工作。
一种大功率气体放电电子枪

[发明专利]组合灯的气体放电腔-CN91109294.3无效
发明人：沃尔特·霍尔泽 -专利权人：沃尔特·霍尔泽
申请日： 1991-09-03 - 公布日： 1996-07-24 - 主分类号： H01J61/30 文献下载
摘要：组合灯的气体放电腔，它由一个抽真空的或充气体的，至少部分透明的，完全密封的外壳组成。
组合气体放电

[发明专利]基于热电子放电的电子源-CN201811360134.9有效
发明人：郎文昌;刘伟;胡晓忠 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热电子放电的电子源，包括法兰座以及两个电极，法兰座背对电极的一面固定安装有放电法兰腔，法兰座内部设有第一冷却腔，放电法兰腔内设有第三冷却腔，放电法兰腔的内腔为放电腔，放电腔外壁设有进气孔，两个电极之间连接钨丝，放电腔外壁设有连通的电子通道及加长放电腔，钨丝电极上设有第二冷却腔，电极上的进水管与第二冷却腔之间有流动间隙，电极外壁设有出水口，加长放电腔外套装有磁体，可有效增加电子的运动行程，提升电子浓度；本发明通过第一冷却腔、第二冷却腔以及第三冷却腔的设计保证热电子稳定且长期的进行放电，并通过接通不同电位及磁场约束来提高电子的离化率以及电子浓度。
基于电子放电

[发明专利]电池放电装置及电池放电控制方法-CN202311150520.6在审
发明人：郑伟鹏;丁柏栋;李艳芹;赵峰 -专利权人：深圳市杰成镍钴新能源科技有限公司
申请日： 2023-09-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01M10/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种电池放电装置及电池放电控制方法。电池放电装置包括放电组件及调节组件，放电颗粒放置在放电本体的放电腔内，压料件对放电腔内的放电颗粒统一加压。当局部放电速率过快或过慢时，调节组件的定位驱动件驱动定位隔板由定位孔伸入放电腔，将放电异常位置的区域分隔出来。后将在定位隔板一侧的调节隔板通过调节驱动件由调节孔伸入放电腔内，则定位隔板朝向调节隔板的一侧的空间会因为调节隔板的插入减小，使该侧放电颗粒之间的压力增大。而后定位驱动件驱动定位隔板退出放电腔，使调节隔板朝向定位隔板一侧的空间增加，进而使该侧的放电颗粒之间的压力减小。可以实现对放电腔内不同位置的放电速率的调节控制更加灵活。
电池放电装置控制方法

[发明专利]一种等离子密度可调的离子源装置-CN202110541749.7在审
发明人：张瑶瑶;刘小波;胡冬冬;张怀东;刘海洋;李晓磊;李娜;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01J27/18 文献下载
摘要：等离子密度可调的离子源装置的放电腔的外侧缠绕线圈；射频模块与线圈相连接；气管道导入离子源腔室与所述放电腔相连通；离子源腔室与放电腔的同向开放端面设有格栅；放电腔由两个非统一直径的大径段放电腔及小径段放电腔组成；大径段放电腔及小径段放电腔相通；大径段放电腔的一端面为开放端面，该开放端面面向格栅。本发明涉及等离子密度可调的离子源装置，采用不同位置的线圈可以对晶圆的中间区域及边缘区域进行独立与整体轰击，使得调整放电腔的等离子体密度分布，保证刻蚀均匀性。
一种等离子密度可调离子源装置

[发明专利]MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法-CN201210578509.5无效
发明人：方晓东;梁勖;王效顺;鲍健 -专利权人：中国科学院安徽光学精密机械研究所
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，或采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，并将两信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号，结合准分子激光器专用的同步控制器，可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制，达到所需的控制精度。
mopa 系统准分子激光同步控制中的信号获取方法

[发明专利]应用在离子源中的放电装置及方法-CN201410849819.5在审
发明人：俞建成;闻路红;赵鹏;胡舜迪;孙明超;吴勇;宁录胜 -专利权人：宁波大学
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种应用在离子源中的放电装置及方法，所述放电装置包括中空容器，还包括：放电针，所述放电针设置在所述容器内，包括尖端部分及后端部分；所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔，所述径向孔均匀分布；放电腔，所述放电腔呈筒形，设置在所述容器内的放电针的一侧，所述尖端部分深入到放电腔内；所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧，所述截面的临着轴向的一侧为曲线；所述放电腔接地；电源，所述电源为放电针和放电腔之间引入高压
应用离子源中的放电装置方法

[实用新型]应用在离子源中的放电装置-CN201420866447.2有效
发明人：俞建成;闻路红;赵鹏;胡舜迪;孙明超;吴勇;宁录胜 -专利权人：宁波大学
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种应用在离子源中的放电装置，所述放电装置包括中空容器，还包括：放电针，所述放电针设置在所述容器内，包括尖端部分及后端部分；所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔，所述径向孔均匀分布；放电腔，所述放电腔呈筒形，设置在所述容器内的放电针的一侧，所述尖端部分深入到放电腔内；所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧，所述截面的临着轴向的一侧为曲线；所述放电腔接地；电源，所述电源为放电针和放电腔之间引入高压
应用离子源中的放电装置

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