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[发明专利]掩膜版张网框架及掩膜版张网工艺-CN201810639566.7在审
发明人：孙朴;吕守华;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜版张网框架及掩膜版张网工艺，掩膜版张网框架包括框体和多根支撑筋。框体为具有开口的闭合框式结构，框体具有顶面。其中，支撑筋固定于框体的顶面，且支撑筋跨设于框体的开口。其中，掩膜版张网于掩膜版张网框架时，掩膜版边缘焊接于框体的顶面，掩膜版的位于开口的部分由支撑筋支撑。本发明通过在采用“支撑筋固定在框体顶面并筋跨设于框体开口”的设计，使得“掩膜版张网于掩膜版张网框架时，掩膜版边缘焊接在框体的顶面，且掩膜版的位于开口的部分由支撑筋支撑”。据此，本发明提出的掩膜版张网框架能够使掩膜版张网后，由支撑筋提供充分的支撑效果，并使掩膜版获得较佳的平坦度。
掩膜版张网支撑筋框体顶面开口掩膜版边缘跨设焊接支撑闭合框式框体顶面框体开口平坦度

[发明专利]一种金属掩膜版框体组件及金属掩膜版组件-CN202310372806.2在审
发明人：张蔡星;李成林;蔡则凡 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框体组件及金属掩膜版组件，涉及金属掩膜版领域。该金属掩膜版框体组件包括主框体和至少一个压条；主框体的中部具有开口，围绕开口设置有焊接区，焊接区位于主框体的上表面内；压条设置于主框体的上侧，位于开口的边缘至焊接区之间，且顺着开口边缘的方向延伸；至少在压条的两端处通过螺丝连接件与主框体连接该金属掩膜版组件包括上述金属掩膜版框体组件和金属掩膜版；金属掩膜版覆盖于所述开口上，且边缘与所述焊接区相接合，所述压条的下表面施压于金属掩膜版的上表面。本发明可用于减少金属掩膜版的下垂量，有助于提高蒸镀产品质量以及掩膜版组件的使用寿命。
一种金属掩膜版框体组件掩膜版

[发明专利]一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法-CN202310458582.7在审
发明人：蔡则凡;张蔡星;李成林 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23G3/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法，涉及金属掩膜版清洗领域。该伴洗治具包括框体，框体的中部为上下贯通的开口；还包括吸附杆，吸附杆具有磁性，若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处；吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。清洗方法步骤包括：准备上述的伴洗治具；将伴洗治具与掩膜版共同浸没在清洗池中的清洗液内；优选地，将伴洗治具水平置于掩膜版下方，掩膜版水平置于伴洗治具的上方，或者掩膜版竖立置于伴洗治具的上方；清洗。将本发明应用于金属掩膜版的清洗，能够优化金属掩膜版清洗的效率和效果，降低清洗液的更换频次以及更换清洗液所投入的成本。
一种金属掩膜版伴洗治具清洗方法

[发明专利]一种金属掩膜版框体及其加工方法-CN202310251086.4在审
发明人：张蔡星;钱超;王明芳 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框体及其加工方法，涉及金属掩膜版领域。该金属掩膜版框体包括组合框体和衔接件，组合框体由数个相同或不同的拼接段组成，任意两个相邻的拼接段均设置有衔接件进行衔接；拼接段上设置有凹槽，数个凹槽在组合框体的表面组合形成衔接件卡槽，衔接件安装于相应的衔接件卡槽内加工步骤：加工拼接段，能够组合成组合框体的多个拼接段为一组；加工出与每组拼接段相适配的衔接件；将拼接段与衔接件组装在一起，并接合形成一个整体的金属掩膜版框体。本发明可有效利用掩膜版生产过程中的余料，且不受掩膜版框体实际边长和边宽的限制，二次利用率大幅提高。
一种金属掩膜版框体及其加工方法

[发明专利]一种掩膜版-CN202011569059.4在审
发明人：朱广东;李华;刘继宇 -专利权人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜版，涉及光伏电池制造领域。掩膜版包括：掩膜框体、设置在掩膜框体内的若干掩膜条；掩膜条的两端分别与掩膜框体的两个相对侧边连接，掩膜条在掩膜框体中以纵向和/或横向的方式布置；掩膜条的膨胀系数与硅片的膨胀系数两者的差值小于6×10掩膜版与硅片表面紧密接触，并仅通过一次沉积操作就可以实现在光伏电池片表面形成安置电极的凹槽区域和功能层所处区域，不需要额外投入昂贵的设备，减少了工艺流程，提高了生产效率，并且，掩膜条的膨胀系数与硅片的膨胀系数相对接近，从而保持掩膜条与硅片的较优贴合方式，掩膜版不会对硅片本身造成损伤，提高了光伏电池片的能量转换效率。
一种掩膜版

[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法-CN202210356434.X在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法，涉及金属掩膜版领域。液压式金属掩膜版框包括液压框，液压框框体内部具有液体腔，液体腔内填充液压介质，液压框框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆，液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与液体腔连通，调节孔内连接有压力调节单元；还包括四组活动框边，分别设置在液压框的四边上，且均与液压框的上侧面滑动连接，活动框边具有推杆阻挡部，推杆阻挡部覆盖于液压框的相应的框体外侧面，活塞推杆的外端抵接于推杆阻挡部的内侧面掩膜版组件包括上述液压式金属掩膜版框和金属掩膜版。本发明能够抑制掩膜网面的下垂，提高产品质量。
一种液压式金属掩膜版框掩膜版组件及其调节方法

[实用新型]一种掩膜版-CN202023187362.6有效
发明人：朱广东;李华;刘继宇 -专利权人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜版，涉及光伏电池制造领域。掩膜版包括：掩膜框体、设置在掩膜框体内的若干掩膜条；掩膜条的两端分别与掩膜框体的两个相对侧边连接，掩膜条在掩膜框体中以纵向和/或横向的方式布置；掩膜条的不同位置的宽度不同。本实用新型可以采用掩膜版与硅片表面紧密接触，并仅通过一次沉积操作就可以实现在光伏电池片表面形成安置电极的凹槽区域和功能层所处区域，不需要额外投入昂贵的设备，减少了工艺流程，提高了生产效率，并且，也不会对硅片本身造成损伤另外，掩膜条的不同位置的宽度不同，可以制备出宽度具备变化特性的电极，适应了各种对光伏电池片表面的电极形式的设计方案。
一种掩膜版

[发明专利]一种掩膜版搬运装置-CN201710656928.9有效
发明人：许可 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-08-03 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版搬运装置，掩膜版包括基层和设置在基层上的保护层，基层表面开设有镂空图案，保护层的四周延伸至临近基层四周的侧壁，掩膜版搬运装置包括：框架，包括矩形的框体部分；多个夹持机构，设置在框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组夹持机构分别位于框体部分的两相对边所在侧，且两组夹持机构的凹槽相对设置；以及调节机构，连接框架和夹持机构，用于调节框架和夹持部之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构的凹槽之间的间距本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。
掩膜版夹持机构搬运装置保护层框体两组夹持部基层相对位置关系基层表面连接框架相对设置作业效率镂空图案侧壁夹持搬运人手上层延伸污染

[发明专利]掩膜版组件及掩膜版组件制备方法-CN202111366949.X在审
发明人：王善鹤 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版组件及掩膜版组件制备方法，一种掩膜版组件，包括：框体；掩膜版本体，和框体通过焊接件连接，焊接件包括熔接部、至少一个围绕熔接部设置的焊点标定环。，可以用以标定熔接部即焊点处的焊接熔接度，对于焊点品质强度可监控，而在完成熔接部的焊接后，后续可以继续通过检测位于不同位置的焊点标定环的脱落或者完整情况，可以快速标定焊点脱落产品的具体焊点位置，提高了掩膜版组件的焊接稳定性以及品质的可控性，且能够高效追踪确定掩膜版组件的使用寿命。
掩膜版组件制备方法

[实用新型]一种耐酸耐碱的镀膜专用不锈钢掩膜版-CN202022855911.6有效
发明人：明静;张敏 -专利权人：深圳微纳电子科技有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐酸耐碱的镀膜专用不锈钢掩膜版，包括掩膜，所述掩膜的外侧间隙配合有框体，所述掩膜的正面加工有镂空槽。该耐酸耐碱的镀膜专用不锈钢掩膜版，通过掩膜、不锈钢基层和超疏水涂膜层的配合，可通过环氧防腐层、聚氨酯防腐层的双层设置，可极大的提升掩膜版的耐化学腐蚀性能，进而提升耐酸、耐碱性，延长掩膜版的使用寿命，保证其使用效果，可通过卡销与螺栓的对应设置，以及卡销与凹槽的转动连接，使得螺栓旋动可带动卡销转动，反向旋动通过扭力弹簧可使卡销复位，进而使得掩膜和框体之间可快速连接固定，且无需焊接，进而便于对具有不同镂空槽图案的掩膜进行更换
一种耐酸镀膜专用不锈钢掩膜版

[发明专利]一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法-CN202210355669.7在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动活动框边到预设位置，然后将金属掩膜版张网并焊接在活动框边上。本发明能够抑制掩膜网面的下垂。
一种金属掩膜版框掩膜版组件及其加工方法

[实用新型]一种减小Mask形变的支撑掩膜版、掩膜版-CN202221575306.6有效
发明人：黄世雄;谢涛峰;胡明;郑庆靓;李胤粹;李哲;周俊吉;王鑫 -专利权人：绵阳京东方光电科技有限公司;成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种减小Mask形变的支撑掩膜版、掩膜版，包括支撑掩膜版本体，所述支撑掩膜版本体包括开口区及夹持区，所述夹持区围绕所述开口区布设，所述开口区内设置有多个掩膜开口，所述掩膜开口具有与对应的预设掩膜开口位置在偏移和/或形状上的偏移量，以使在四边张网拉伸的拉力减少时所述掩膜开口位于对应的预设掩膜开口位置。本申请通过形成异性的掩膜开口，在张网减小四周拉力后，在满足平坦度要求的同时使得杨末班框体翘曲量减小，同时减小一体化支撑掩膜版整体垂直度变化的可能性。
一种减小 mask 形变支撑掩膜版

[发明专利]分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法-CN202010837092.4有效
发明人：钱超;杨柯 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种分段式掩膜片，其为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任一两个侧面同时，还公开了掩膜版、掩膜版组件及其制作方法，该组件用于OLED器件蒸镀用通过改进和设计可拆卸安装时粘结剂的组份和份数，能够可拆卸地将有损坏的分段式掩膜片进行可选择地、有目的的直接更换，重组后，再将其进行二次或多次使用，降低了修复成本，提升了高精密金属掩膜版的使用良率以及工作效率。
段式膜片掩膜版组件及其制作方法

[发明专利]掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法-CN201610354130.4有效
发明人：张小华;刘少华;刘振宇;闫冬;崔富毅 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：一种掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法。该掩膜版管理系统包括：掩膜版投入模块，其被配置来提供至少一个掩膜版组，每个所述掩膜版组包括一个卡匣和放置在所述卡匣内的多个掩膜版；掩膜版检测和处理模块，其被配置来检测所述掩膜版组中的多个掩膜版，并根据检测结果对需要处理的掩膜版进行对应的掩膜版处理；掩膜版分类模块，其被配置来将经过处理并合格的掩膜版重新调整到所述掩膜版所属的掩膜版组的卡匣中。该掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法可进行精细化的管控，有利于提高生产效率。
掩膜版管理系统以及使用方法

[实用新型]一种双层掩膜版组件和蒸镀装置-CN201720578925.3有效
发明人：赵蓉;金龙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种双层掩膜版组件和蒸镀装置，涉及显示技术领域，用于使第一掩膜版和第二掩膜版之间可以紧密贴合。该组件包括第一掩膜版、第一掩膜版框架、第二掩膜版和第二掩膜版框架；其中，第一掩膜版固定在所述第一掩膜版框架上，在第一掩膜框架固定第一掩膜版的表面上、且未被第一掩膜版覆盖的区域内设置有第一卡接部；第二掩膜版固定在第二掩膜版框架上，在第二掩膜框架固定第二掩膜版的表面上、且未被第二掩膜版覆盖的区域内设置有第二卡接部；第一掩膜框架固定第一掩膜版的表面与第二掩膜框架固定第二掩膜版的表面相对设置，且第一卡接部与第二卡接部卡合，以便第一掩膜版和第二掩膜版相贴合本实用新型用于掩膜版组件的制造。
一种双层掩膜版组件装置

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