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[发明专利]气体流量控制柜-CN201911405040.3在审
发明人：吴雷雷;冯辉;陈之敏;胡程辉;李仲杰;刘伯兴;李灿;李志敏 -专利权人：格力电器（郑州）有限公司;珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种气体流量控制柜，涉及流量控制领域，包括：主控制器、气体通道、位于气体通道上的气体流量采集装置，气体通道用于向外接设备输运气体；主控制器与气体流量采集装置连接，用于根据给定气体流量与气体流量采集装置采集的实际气体流量对气体通道中的气体流量进行闭环控制，从而精确控制气体通道中的气体流量，进而精确控制各种包含气体流量作业的外接设备中的气体流量，保证相应设备的作业性能。
气体流量控制

[发明专利]一种含水蒸汽的混合气氛高温气固反应装置及控制方法-CN202110647325.9有效
发明人：刘蔚;钱炯;蔡志刚;孟凡江;杨义忠;矫明;苏诚;王宝顺;钟强;沈金李 -专利权人：浙江久立特材科技股份有限公司;上海核工程研究设计院有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B01J8/00 文献下载
摘要：本发明涉及气固反应技术领域，具体为一种含水蒸汽的混合气氛高温气固反应装置及控制方法。一种含水蒸汽的混合气氛高温气固反应装置，包括大流量气体控制模块，小流量气体控制模块，主流量调节器，水蒸汽控制模块，主控制阀一，气固反应控制模块，主控制阀二，真空泵，以及尾气处理控制模块；所述大流量气体控制模块用于提供恒定流量的大流量气体，其包括第一气罐，第一控制阀，第一流量调节器和第二控制阀。本发明将气体介质分为大流量气体和小流量气体，并通过大流量气体控制模块和小流量气体控制模块进行分别接入，小流量气体先在气体混合器中充分混合之后再与大流量气体逐步混合，可防止大流量气体流速过快而影响小流量气体的流量稳定性
一种含水蒸汽混合气氛高温反应装置控制方法

[发明专利]燃料电池系统-CN201480077150.0有效
发明人：青木哲也;垣内孝宏;藤井隆宏 -专利权人：日产自动车株式会社
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01M8/04828 文献下载
摘要：燃料电池系统具备：湿润目标值计算部，其计算燃料电池的湿润状态的目标值；气体要求流量计算部，其基于对燃料电池的发电要求来计算正极气体要求流量；湿润控制用负极气体流量计算部，其在烘干控制时至少基于湿润目标值和正极气体要求流量来计算湿润控制用负极气体循环流量；以及负极气体流量控制部，其基于湿润控制用负极气体循环流量来控制负极气体循环流量。燃料电池系统还具备：湿润控制用正极气体流量计算部，其在烘干控制时至少基于湿润目标值和负极气体循环流量的测定值或估计值来计算湿润控制用正极气体流量；以及正极气体流量控制部，其基于正极气体要求流量和湿润控制用正极气体流量来控制正极气体流量
燃料电池系统

[发明专利]气体流量控制器-CN201180058238.4有效
发明人： D·哈丁;M·霍尔兹沃思;D·帕帕佐格劳 -专利权人：技术信息有限公司
申请日： 2011-12-02 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B03D1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种浮选气体流量控制器，以用于控制从碎矿石中将有价值的矿物与其他物料分离的浮选室的浮选气体流量。该气体流量控制器包括用于控制通向浮选室的气体流量的阀和用于监测经过阀的通向浮选室的气体流量的流量计。该流量计也用于根据要求调节阀以改变气体流量大小从而满足浮选室的气体流量的要求。本发明还涉及包括气体流量控制器的浮选室、流量控制系统，和用于利用气体流量控制器控制通向浮选室的气体流量的方法。
气体流量控制器

[发明专利]一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法-CN202210339302.6在审
发明人：周璐;孔令伟;董栋;钱伟;窦灏;丁万生;李德安;田红兵;刘文亮;徐军;杨晓明;孟繁杰;刘文芝;刘霞;季德程;梁荣林;刘景超;孙勋松;张亮;成林全;王新 -专利权人：青岛明华电子仪器有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01F25/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法，包括：基于标准质量流量控制值以对某一待处理气体的质量流量进行控制，待处理气体与热式质量流量控制器的标定气体不同；采用体积流量计获取待处理气体的质量流量实测值；基于待处理气体的标准质量流量控制值及质量流量实测值获取质量流量校准模型；采用质量流量校准模型对待处理气体的目标质量流量控制值进行校准以获取待处理气体的实际质量流量控制值，并基于实际质量流量控制值对待处理气体的质量流量进行控制通过本公开提供的方法，有效解决了现有技术中的热式质量流量控制器只能对单一气体的质量流量进行控制的问题。
一种用于质量流量控制器气体校准方法

[发明专利]气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置-CN201910828034.2有效
发明人：韩笑娜;姜宏伟;陈庆 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置，该流量控制器的校准方法包括以下步骤：S1，接收用户输入的所述气体流量控制器的气体流量设定值，向所述气体流量控制器输出所述气体流量设定值；S2，通过气体流量传感器检测所述气体流量控制器所在管路的实际气体流量值；S3，判断所述气体流量设定值与所述实际气体流量值的差值的绝对值是否小于或等于预设阈值；若是，根据预先建立的补偿关系获取与所述气体流量设定值对应的气体流量补偿值，并向所述气体流量控制器输出所述气体流量补偿值；若否，进行报警。通过本发明，提高了流量控制器调试及维护的便捷度。
气体流量控制器校准方法系统装置

[发明专利]气体流量控制-CN201610545338.4有效
发明人： H-J·施卢特 -专利权人：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括：布置在进气管线上的至少第一和第二流量限制件；连接到所述进气管线的气体流量控制管线；在所述气体控制管线上的气体流量控制器；以及用于控制所述进气管线和所述气体控制管线中的气体流量的阀门还提供一种控制至分析设备中的气体流量的方法。
气体流量控制

[实用新型]一种气体流量检测控制装置-CN201820829140.3有效
发明人：肖豪;王富生;汪兴业;郑海为 -专利权人：深圳睿境环保科技有限公司
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：一种气体流量检测控制装置，包括：采样单元、流量测量单元以及流量控制单元；所述采样单元负责采集气体；所述流量测量单元负责测量采集到的气体的流量；流量测量单元将测量到的气体流量信号发送至流量控制单元；流量控制单元根据所述气体流量信号对所述采样单元进行调控它能够实现按设定流量采集高温腐蚀性气体的控制。
流量测量单元流量控制单元采样单元气体流量检测气体流量信号控制装置测量高温腐蚀性气体采集流量采集发送调控

[发明专利]质量流量控制器系统-CN201080047852.6有效
发明人：竹内洋之;米田丰;矶部泰弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2010-12-22 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
质量流量控制器系统

[发明专利]流量控制装置以及处理装置-CN201210384397.X有效
发明人：冈部庸之;守谷修司;松野一成 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体
流量控制装置以及处理

[实用新型]低压化学气相淀积反应系统-CN200720144353.4有效
发明人：朴松源;白杰;何有丰;唐兆云 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种LPCVD反应系统，包含提供反应气体的气体源、流量控制器、气体喷放装置以及反应腔室，所述气体源、流量控制器和气体喷放装置通过气体管路顺序相接；所述反应气体由所述气体源流出，经由所述流量控制器及气体喷放装置进入所述反应腔室；所述反应系统还包含压力控制器，所述压力控制器与连接气体源和流量控制器的气体管路以及连接流量控制器和气体喷放装置的气体管路分别相连；所述流量控制器为低压流量控制器。可增强进入其内的流量控制器的氟化氢气体的稳定性。
低压化学气相淀积反应系统

[发明专利]气体流量检测与控制装置及方法-CN201910918771.1有效
发明人：雷宇;伍正华;李锐;方志刚;蔡昌新;廖锐全;王伟;韩中轩;魏吉凯;高强 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体流量检测与控制装置及方法，包括：控制模块、位于管道上的流量检测模块和流量调节模块，流量检测模块和流量调节模块均与控制模块连接，流量检测模块用于检测管道内气体的流量，流量调节模块用于调节管道内气体的流量，控制模块用于根据流量检测模块检测的管道内气体的流量，控制流量调节模块将管道内气体的流量调节至预设流量。本发明提供的气体流量检测与控制装置及方法，减少了管道上插接件的数量，且结构简单，有效提高了工作效率。
气体流量检测控制装置方法

[发明专利]气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法-CN202110579201.1有效
发明人：何漫丽;牟昌华;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明实施例提供的气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法，其流量传感器用于实时检测气体通道中的气体流量值；流量调节阀用于调节气体通道中的气体流量；压力传感器用于实时检测气体通道中指定位置处的气体压力值；温度传感器用于实时检测在气体通道的入口处的气体温度值；控制单元用于根据气体压力值、气体温度值和设定流量值，以及预先存储的气体流量与驱动参数在不同的气体压力和气体温度下的对应关系，获得驱动参数的输出值，并将输出值输出至流量调节阀，以控制流量调节阀开启与输出值对应的阀门开度。本发明实施例提供的气体质量流量控制器，可以实现气体流量控制的快速响应，并实现气体流量快速达到稳定。
气体质量流量控制器控制方法

[实用新型]一种激光器气体流量配比智能控制装置-CN201120549103.5有效
发明人：谢作越;卢洪湖;彭金明;陈燚;高云峰 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2011-12-25 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光器气体流量配比智能控制装置，包括气体控制板、三路气体压力开关、三路气体流量传感器和用于根据气体控制板发送的气体流量调节信号调节激光器的气体通道内气体流量比例的三路气体比例调节阀；气体控制板与三路气体压力开关电连接，用于接收三路气体压力开关发送的气体压力信号、并根据气体压力信号判断激光器的气体通道内是否有气体流过；气体控制板与三路气体流量传感器电连接，用于接收三路气体流量传感器发送的气体流量信号；气体控制板与三路气体比例调节阀电连接，用于根据气体流量信号，产生气体流量调节信号。本实用新型的控制装置能实现激光器各路气体流量配比的快速精确调节，调节方便，且无需人为的干预。
一种激光器气体流量配比智能控制装置

[发明专利]用于MOCVD上控制流量的泵液装置-CN202111234523.9在审
发明人：王延恺;迮建军;古宏伟;蔡渊 -专利权人：苏州新材料研究所有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F04F1/06 文献下载
摘要：本发明公开了用于MOCVD上控制流量的泵液装置，包括液体容器、安装在所述液体容器上的液体管道和气体管道、以及控制中心；气体管道的一端连接气体源，气体管道的另一端连接液体溶液，所述气体管道上安装有用于检测并控制气体流量的质量流量控制器，所述液体管道上安装有用于检测液体流量的液体流量传感器，所述质量流量控制器、所述液体流量传感器均与所述控制中心电连接。该泵液装置通过液体流量来反馈控制气体流量，只要在控制中心上设定液体流量，控制中心即可精确地调节气体流量，进而达到精确控制液体流量的目的。
用于 mocvd 控制流量装置

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