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[发明专利]接合方法和接合装置-CN202210518227.X在审
发明人：田代佳;饭野克宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及接合方法和接合装置。提供一种在将包含玻璃基板和树脂层的第1基板与第2基板接合之前降低第1基板的翘曲并提高第1基板与第2基板之间的接合精度的技术。接合方法具有下述步骤(A)～(C)。接合方法具有下述步骤(D)～(E)。(D)利用加热部加热第1基板。(E)使用自加热部向第1保持部输送第1基板的输送部输送第1基板。
接合方法装置

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202210521583.7在审
发明人：牧哲也;大西辰己;稻益寿史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及接合装置和接合方法。提供一种提高基板彼此的接合精度的技术。接合装置包括第1保持部、第2保持部、第1干涉仪、壳体、气体供给部和气流控制盖。第1保持部对第1基板进行吸附保持。
接合装置方法

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202210573388.9在审
发明人：山口纮次朗;福英仁;森胁干文;岩本友之;中井正规;氏平直树;佐藤博纪;宫本誉也;小畠雄大 -专利权人：马自达汽车株式会社
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23K11/11 文献下载
摘要：本发明提供一种接合装置和接合方法，接合装置包括一对加压部件(20)和多个供电部件(31、32)，一对加压部件(20)以从多个被接合部件(101、102)的层叠方向上的两侧夹住多个被接合部件(101、102)的方式对置布置，且设置为能够对多个被接合部件加压，多个供电部件(31、32)布置在多个被接合部件的层叠方向上的一侧或者两侧，多个供电部件(31、32)以在彼此之间夹住由加压部件加压的多个被接合部件的被加压部(105)的方式布置，且设置为与被接合部件抵接而能够向被接合部件供电，供电部件分别设于在多个被接合部件的层叠方向上与加压部件不重叠的位置，由加压部件对多个被接合部件进行加压，并且由供电部件向多个被接合部件供电，由此使被加压部产生电阻热，接合多个被接合部件。
接合装置方法

[发明专利]接合装置以及接合方法-CN202180080494.7在审
发明人：濑尾伸城;吉田谅;小泉慎吾;及川惠太 -专利权人：日本轻金属株式会社
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明的技术问题在于提供能防止接合不良的接合装置和接合方法。其特征是，包括：对由配置成对接或重合地进行接合的位置关系的第一金属构件(1)和第二金属构件(1)形成的、作为进行接合的部位的接合部附近的高度进行测定来获得测定值的测定部(23)；基于由测定部(23)获得的测定值对旋转工具(F)的高度位置进行设定的设定部；以及基于高度位置使旋转的旋转工具(F)沿着接合部相对移动的摩擦搅拌主体部(22)。
接合装置以及方法

[发明专利]接合装置及接合方法-CN202180071439.1在审
发明人：野口勇一郎 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/52 文献下载
摘要：接合装置(100)包括：接合头部(20)，能够移动，保持顶部相机(24)、及与顶部相机(24)隔开偏移距离而配置的接合工具(22)；底部相机(28)，能够拍摄接合头部(20)；参考构件(30)，具有参考标记，固定于相对于底部相机(28)隔开规定的距离的位置；以及算出部(61)，在以将参考标记配置于顶部相机(24)的视野内，且将由接合工具(22)保持的芯片(72)配置于底部相机(28)的视野内的方式使接合头部
接合装置方法

[发明专利]接合方法和接合装置-CN202211613707.0在审
发明人：田代佳;饭野克宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种接合方法和接合装置，能够控制将第一基板与第二基板接合而成的重合基板的翘曲。本发明的接合方法包括：使用第一保持部来吸附并保持第一基板；使用第二保持部来吸附并保持第二基板；以及通过使第一保持部与第二保持部相对地移动来使第一基板与第二基板接触而形成重合基板。本发明的一个方式所涉及的接合方法还包括：将第一基板及第二基板、或者重合基板进行加热；以及使用冷却部将加热后的重合基板进行冷却。另外，在冷却中，通过在重合基板形成温度差来控制重合基板的翘曲。
接合方法装置

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202210899333.7在审
发明人：和田宪雄;杉原绅太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开提供一种接合装置和接合方法，能够减少重合基板的翘曲。基于本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、吸附压力产生部以及升降销。第一保持部用于保持第一基板。第二保持部设置于与第一保持部相向的位置，所述第二保持部具有用于吸附与第一基板进行接合的第二基板的吸附面。吸附压力产生部使得在吸附面产生吸附压力。升降销用于使吸附面上的第二基板相对于第二保持部分离。
接合装置方法

[发明专利]接合装置及接合方法-CN202111516473.3在审
发明人：水田吉郎 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：实施方式的接合装置包括第1吸盘(LC)及第2吸盘(UC)和按压销(30)。第2吸盘(UC)配置于第1吸盘(LC)的上方。
接合装置方法

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202211436039.9在审
发明人：福岛秀行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：本发明提供一种接合装置和接合方法。接合装置将第一基板与第二基板进行接合。接合装置具备第一保持部、第二保持部、移动部、第一变形部、第二变形部及控制部。第一保持部从第一基板的上方吸附并保持第一基板。
接合装置方法

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202211469411.6在审
发明人：森坚一郎;佐佐木亮;长谷川隆行 -专利权人：佳能株式会社;佳能机械株式会社
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供接合装置和接合方法。用于将第二物体接合到第一物体的接合装置包括：第一保持部，其被构造为保持所述第一物体；第二保持部，其被构造为保持所述第二物体；定位机构，其被构造为，就第一方向和第二方向改变所述第一保持部与所述第二保持部之间的相对位置，其被构造为支撑所述第二保持部和所述第一相机；以及控制器，其被构造为，基于所述第一相机的输出和所述第二相机的输出，就所述第一方向和所述第二方向，控制所述定位机构，使得所述第二物体被定位到所述第一物体的接合目标部分
接合装置方法

[发明专利]接合夹具及接合装置-CN202310196169.8在审
发明人：椎名隆行;白石典久;饭岛隆彰 -专利权人： JUKI株式会社
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B29C65/78 文献下载
摘要：接合夹具用于在片状原材料的一个面侧配置片状的被粘物，在片状原材料的端缘部处将被粘物折回，在片状原材料的另一个面侧对被粘物的端缘部进行粘接，该接合夹具具有：载置台，其具有在被粘物之上叠加地载置片状原材料的载置面
接合夹具装置

[发明专利]接合装置和接合系统-CN202310522182.8在审
发明人：大森阳介;菅川贤治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-08-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制接合后的基板的应变的接合装置和接合系统。本实施方式所涉及的接合装置具备第一保持部、第二保持部以及撞击器。第一保持部从上方吸附保持第一基板。另外，第一保持部吸附保持第一基板的外周部的一部分区域，且吸附保持同从第一基板的中心部朝向外周部的方向中的、第一基板与第二基板之间的接合区域的扩大最快的方向相交的区域。
接合装置系统

[发明专利]接合装置以及接合方法-CN201410341895.5有效
发明人：井出昌史;依田薰 -专利权人：西铁城控股株式会社
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高精度且高速地进行光学元件向基板上的常温活性化接合的接合装置以及接合方法。接合装置(1、2)具有：临时固定部(10)，所述临时固定部(10)基于从光学元件出射的光的强度，相对于具有金属制的微凸块的基板对光学元件进行定位，并将第一负荷施加于光学元件以将光学元件临时固定在微凸块上；和正式接合部(20)，所述正式接合部(20)将第二负荷施加于光学元件以使光学元件常温活性化接合在微凸块上，该第二负荷比第一负荷要大，基于从通过临时固定部临时固定了的光学元件出射的光的强度而被调整。
接合装置以及方法

[发明专利]接合方法及接合装置-CN201010503630.2有效
发明人：樱井努;熊泽诚二;片冈秀直 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： B23K26/20 文献下载
摘要：本发明的目的在于提出一种接合方法，在该接合方法中，将低亮度激光与比低亮度激光(101a)的照射区域要小、强度峰值要大的第一高亮度激光(101b)和第二高亮度激光(101c)相重叠来生成重叠激光(101))使间隙(130)的周边(140)的第一构件(110)和第二构件(120)熔融，以第一构件(110)的熔融物和第二构件(120)的熔融物填充间隙(130)，对第一构件(110)和第二构件(120)进行接合
接合方法装置

[发明专利]接合方法及接合体-CN200910007995.3有效
发明人：足助慎太郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-03-06 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供在一部分的区域能够部分地以高的尺寸精度牢固地，且在低温下效率良好地接合两个基材的接合方法、及利用所述接合方法，在一部分的区域部分地接合两个基材而成的接合体。本发明的接合方法包括：准备第一基材(21)和第二基材(22)的工序；在第一基材(21)上的接合膜形成区域(41)以外的区域设定具有相对于含有硅酮材料的液态材料(30)的疏液性的疏液性区域(43)的工序；向第一基材(21)上供给所述液态材料(30)，在接合膜形成区域(41)上形成液态被膜(31)的工序；干燥液态被膜(31)，得到接合膜(3)的工序；通过向接合膜(3)赋予能量，在接合膜(3)显示粘接性的工序；通过贴合第一基材(21)和第二基材(22)，得到经由接合膜(3)部分地接合这些而成的接合体的工序。
接合方法