专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]连续直写纳米粒子溶液的扫描探针及其制造方法-CN201010591933.4无效
  • 彭倍 - 彭倍
  • 2010-12-17 - 2012-07-11 - G01Q60/38
  • 本发明提供了一种连续直写纳米粒子溶液的扫描探针,包括有探针针尖和悬臂梁的硅基底,位于探针针尖周边与探针针尖之间有环形针尖微通道从而与探针针尖形成火山口式结构的环形外壳,探针针尖顶端伸出环形外壳外,悬臂梁远离探针针尖的一端上有贮液槽,位于悬臂梁内的输送微通道的两端分别与环形针尖微通道、贮液槽连通,探针针尖顶端直径为18~22nm。本发明既具有AFM探针的书写分辨率,又可实现分子溶液的传输,能解决SPL技术瓶颈。本发明的另一个目的是为了提供这种扫描探针的制造方法。
  • 连续纳米粒子溶液扫描探针及其制造方法
  • [发明专利]一种基于图像识别的定位方法、装置和设备-CN202111006723.9在审
  • 聂锦辉;林聪;陈立;马明;郑泉水 - 深圳清华大学研究院;清华大学
  • 2021-08-30 - 2021-11-09 - G06K9/00
  • 本申请公开了一种基于图像识别的定位方法、装置和设备,包括获取针尖主体在放大设备中处于清晰状态时的针尖主体图像;对针尖主体图像进行二值化处理,并确定针尖的位置,得到针尖模板图像;将待定位探针针尖在放大设备中的二值化图像与针尖模板图像匹配,确定待定位探针针尖的位置;控制定位后探针针尖与微型块接触,并进行推动。对针尖主体处于清晰状态时的针尖主体图像进行二值化处理,在二值化处理的针尖主体图像中确定针尖的位置得到针尖模板图像,针尖模板图像中针尖的位置可以确定至几个像素点,针尖形态轮廓非常准确,再利用针尖模板图像与待定位探针针尖的二值化图像进行匹配,确定待定位探针针尖的位置,提升待定位探针针尖定位准确性。
  • 一种基于图像识别定位方法装置设备
  • [发明专利]制作探针针尖的方法-CN200880017917.5有效
  • 洪锜弼;蔡钟炫;李鹤周 - M2N公司
  • 2008-05-29 - 2010-03-24 - G01R1/067
  • 公开了一种用于制作探针针尖的方法,其能够在所述探针针尖由于与晶片芯片频繁接触而磨损时防止所述探针针尖的前端的表面尺寸的迅速增大,并且还能够提高所述探针针尖的所述前端的精度。所述用于制作探针针尖的方法包括:在硅晶片上形成所述探针针尖的前端;形成第一保护层,该第一保护层形成图案以使所述探针针尖的所述前端的一部分曝光;以及在通过所述第一保护层的图案而露出的一部分中形成所述探针针尖的主体
  • 制作探针针尖方法
  • [发明专利]一种悬臂式探针系统-CN201510821440.8在审
  • 岳小兵;张志勇;祁建华;施瑾;王锦 - 上海华岭集成电路技术股份有限公司
  • 2015-11-23 - 2016-01-27 - G01R1/073
  • 本发明提供了一种悬臂式探针系统,包括探针探针卡板以及防止所述探针针尖熔断的保护装置,所述探针远离针尖的一端与所述保护装置一端焊接,所述保护装置另一端焊接于所述探针卡板上。本发明通过设置在探针卡的探针与基板的焊接部位增加保护装置(例如熔断器),可以在针尖导通电流接近限定电流时断开电路,保护了探针针尖,有效的解决了探针针尖熔断的问题,将探针针尖熔断改进为熔断器熔断,从而使探针针尖熔断更换探针超过24小时以上甚至无法更换探针,改进到只需更熔断器,几分钟内即可处理完毕,这样既降低了成本也节约了时间。
  • 一种悬臂探针系统
  • [发明专利]一种可调节针尖角度式标定探针及其使用方法-CN202310363962.2在审
  • 刘继坤;陈盛;荣健;胡熙臣 - 杭州键嘉医疗科技股份有限公司
  • 2023-04-07 - 2023-06-23 - A61B34/20
  • 本发明提供了一种可调节针尖角度式标定探针及其使用方法,所述标定探针包括:反光装置架、针体、针尖标定位置。其中,所述反光装置架上安装有反光装置,所述针体分为上针体和下针体,并通过针尖调节机构连接,所述针尖调节机构上设置有旋钮,通过旋转所述旋钮可以改变所述针尖调节机构的夹紧力,实现标定探针针尖的角度调节与固定,所述针尖标定位置末端为球状结构。本发明提供的标定探针通过旋转所述标定探针针尖调节机构的旋钮,可以调整所述标定探针针尖角度,使得所述标定探针针尖标定位置可以放置到待注册部位,并可被双目相机捕捉到所述标定探针的反光装置,从而实现全位置注册
  • 一种调节针尖角度标定探针及其使用方法
  • [发明专利]探针的清针方法及探针-CN201410568450.0在审
  • 庄宝龙;詹琦隆;王世荣;张程 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2014-10-22 - 2016-05-18 - B24B1/00
  • 本申请公开了一种探针的清针方法及探针。该清针方法包括以下步骤:对探针的表面进行抛光处理,以清除探针的表面上的污染物,并对探针的表面进行削切活化;对探针针尖进行研磨处理,以钝化探针针尖。本申请通过对探针的表面进行抛光处理以清除探针的表面上的污染物,且探针的针长没有明显损耗。然后,本申请通过对探针针尖进行研磨处理以钝化探针针尖,从而减少了因针尖过于尖锐导致的测试焊盘被打穿,并减少了因针尖过于脆弱导致的探针发生断针的概率。因此,采用本申请提供的清针方法进行请针后,针尖长度无明显变化,即实现了减小清针过程中探针的损耗,并提高采用探针进行功能性测试时的测试良率的目的。
  • 探针方法
  • [实用新型]手持式差分接触探针以及手持式接触探针-CN201620099729.3有效
  • J·斯威姆 - 是德科技股份有限公司
  • 2016-02-01 - 2016-11-30 - G01R1/073
  • 本申请提供手持式差分接触探针以及手持式接触探针。所述手持式差分接触探针(10),其包括:外壳(12),其配置为在用户的手中受握持;成对探针臂(14),其受外壳(12)承载;以及成对相对探针端组件(16),其每一个均受各个探针臂(14)之一承载,并且均具有探针端电路(18),其在其末梢端处耦合到探针端(20)。探针端跨段调整机构(22)受外壳(12)承载,并且耦合到所述成对探针臂(14),并且配置为调整各探针端(20)之间的跨段。接地路径机构(30)耦合在各个探针端组件(16)的探针端电路(18)之间,并且包括成对弯曲导电条带弹性元件(32),其每一个均在其外端(34)处耦合到各个探针端电路(18),并且每个弯曲导电条带弹性元件
  • 手持式差分接触探针以及
  • [发明专利]一种原子力探针针尖修正系统-CN202211112416.3在审
  • 刘俊;马宗敏;唐军;温焕飞;石云波;刘晓雅;方向前;温阳;陈纵横 - 中北大学
  • 2022-09-14 - 2022-11-29 - G01Q60/38
  • 本发明公开了一种原子力探针针尖修正系统,涉及原子力显微镜技术领域,包括:探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器、探针修正控制器、脉冲冲击修正装置、原子力修正装置、压电扫描器和修正标准装置;待修正探针反射的激光依次经过探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置和针尖模型解析器,确定针尖附着物的尺寸和方位;探针修正控制器根据针尖附着物的尺寸和方位产生启动信号,通过脉冲冲击修正装置或原子力修正装置,使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上,实现待修正探针针尖修正。本发明实现了探针的修正。
  • 一种原子探针针尖修正系统
  • [发明专利]扫描探针显微镜及扫描方法-CN200410085110.9有效
  • 北岛周;渡边和俊;胁山茂;安武正敏;井上明 - 精工电子纳米科技术有限公司
  • 2004-08-25 - 2005-06-08 - G01N13/10
  • 公开了扫描探针显微镜和扫描方法,其能减小或避免因探针与样品碰撞而造成的损害,缩短测量时间,提高生产力和测量精确度,不受粘附水层的影响收集样品表面的观测数据,如形貌数据。显微镜具有振动探针的振动单元、探针与样品表面接近或接触时收集观测数据的观测单元、探针与样品表面接近或接触时检测探针振动状态变化的检测单元和控制探针在平行于样品表面的X和Y方向上及在垂直于样品表面的在收集观测数据以后,控制单元在平行于样品表面的方向上扫描探针,直到达到在X或Y方向上的下一观测位置。在扫描中,若检测到探针振动状态变化,控制单元就在Z方向上远离样品表面移动探针
  • 扫描探针显微镜方法
  • [发明专利]硅基自锐式AFM探针的制备方法-CN201010503888.2有效
  • 李加东;吴东岷 - 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 2010-10-12 - 2011-04-13 - G01Q60/38
  • 本发明揭示了微纳机械传感器领域中的一种硅基自锐式AFM探针的制备方法,采用顶层硅厚度等于AFM探针针尖高度与悬臂梁厚度之和的双抛双氧SOI片为制备原料,在制备原料的顶面对应AFM探针针尖的位置光刻设置一针尖掩膜,在针尖掩膜的保护下通过完全的湿法腐蚀使针尖自行锐化,直至针尖掩膜脱落、一次成型具有纳米级针尖的AFM探针。应用本发明的技术方案按步骤实施,真正实现了湿法腐蚀一次成型纳米级针尖的AFM探针制作,解决了探针针尖需氧化工艺锐化的问题,进一步降低了AFM探针的制作成本。
  • afm探针制备方法
  • [发明专利]探针装置-CN02811402.7无效
  • 凯·德辛尔;马库斯·法伊;赖纳·罗特;托马斯·斯坦 - 塞隆医疗设备公司
  • 2002-05-24 - 2004-07-14 - A61B18/14
  • 本发明基于以下构想,即提供一种探针装置,它用于电热凝结生物组织并具有一远端的探针(2)和一近端的手柄(1)。在这里,该探针装置具有在该远端探针区域里的至少一个第一电极和一个第二电极。该探针装置的一内导体(10)从远端探针(2)延伸向近端手柄(1)并被设置用来导电接通在该远端探针中的第一电极(11)。该探针装置的一外导体(19)从远端探针(2)延伸向近端手柄(1)并被设置用来导电接通在该远端探针中的第二电极(13)。该内导体和该外导体(10,19)彼此电绝缘。并且如此选择内导体(10),即在该探针(2)和该手柄(1)之间的探针装置的抗弯强度被提高了。
  • 探针装置

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