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[发明专利]背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法-CN200610117106.5有效
发明人：叶振华;周文洪;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军;何力 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2006-10-13 - 公布日： 2007-03-21 - 主分类号： H01L25/00 文献下载
摘要：一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。
背向集成透镜红外平面探测器制备方法

[实用新型]二代面阵红外探测器组件像元光谱响应一致性测试装置-CN201521128633.7有效
发明人：郭亮;王亮;李冬冰;张研;赵玲 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种二代面阵红外探测器组件像元光谱响应一致性测试装置，所述装置包括：傅里叶光谱仪、测试驱动控制器、模拟采集卡以及光谱处理模块；测试驱动控制器为二代面阵红外探测器组件提供工作时所需的脉冲与电能；所述二代面阵红外探测器组件接收傅里叶光谱仪发射的光，并转换成所述二代面阵红外探测器组件各个像元输出的电压信号；模拟采集卡对所述电压信号进行采集，并将所述电压信号输入到光谱处理模块；所述光谱处理模块对所述电压信号进行处理，得到所述二代面阵红外探测器组件各个像元的光谱曲线，并根据所述光谱曲线对所述二代面阵红外探测器组件各个像元的光谱一致性进行判断。
二代红外探测器组件光谱响应一致性测试装置

[发明专利]一种多线列时差扫描扩展采样亚像元图像配准方法-CN201410319202.2有效
发明人：宋鹏飞;王世涛;金挺;董小萌 -专利权人：中国空间技术研究院
申请日： 2014-07-04 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种多线列时差扫描扩展采样亚像元图像配准方法，(1)构造多线列时差扫描探测装置；(2)多个线列探测器对视场内同一位置场景先后成像，成像后立即转入步骤(3)；每个线列探测器按照步骤(1)中设置采样次数对应的采样间隔在扫描方向进行扫描成像，每次成像分别得到Nt组图像数据，立即转入步骤(3)；(3)分别将各个线列探测器的Nt组图像数据进行处理后形成一帧探测图像；(4)将每个线列探测器对应得到的帧探测图像拼接得到两幅亚像元图像；(5)分别对两幅亚像元图像进行非均匀性校正；(6)以在先成像的亚像元图像为基准，将后成像的亚像元图像在扫描方向向前移动Lp行；(7)求取两幅图像的仿射变换系数，利用该系数完成两幅图像的匹配。
一种多线列时差扫描扩展采样亚像元图像方法

[发明专利]可降低电学串扰的单光子探测器阵列及制备方法-CN201910197797.1有效
发明人：刘凯宝;杨晓红;王晖;何婷婷;李志鹏 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：一种可降低电学串扰的单光子探测器阵列及制备方法。该单光子探测器阵列包括外延片和形成在外延片正面上的钝化层；其中，钝化层上设有若干像元P电极窗口和若干隔离区电极窗口，所述隔离区电极窗口位于相邻的两个所述像元P电极窗口之间；每个像元P电极窗口内均设有像元P电极，每个隔离区电极窗口内均设有隔离区电极；外延片上与所述钝化层相邻一侧形成有有源扩散区和扩散隔离区，其中有源扩散区与像元P电极相邻，扩散隔离区与隔离区电极相邻。本发明的单光子探测器阵列可有效实现对近红外波段微弱光的探测，降低SPAD阵列像元之间的串扰，可完全避免电学串扰，实现SPAD阵列像元之间的高度隔离。
降低电学光子探测器阵列制备方法

[发明专利]像元信号输出方法及红外焦平面探测器的读出电路-CN202210172958.3在审
发明人：袁媛;喻松林;于艳;李敬国;吴卿;黄文刚;曾岩 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本申请涉及一种像元信号输出方法及红外焦平面探测器的读出电路。其中，方法包括：将像元的积分时间划分为像元合并积分时间和像元独立积分时间；在像元合并积分时间内，完成每个像元块内所有像元的合并积分；在像元独立积分时间内，完成每个像元块内每个像元的独立积分；根据所述合并积分获得对应的合并积分信号，根据所述独立积分获得对应的独立积分信号；根据所述合并积分信号和所述独立积分信号进行算法运算，输出像元数字信号。采用本发明提供的方案能提高小像元面积红外焦平面探测器的电荷处理能力和探测灵敏度。
信号输出方法红外平面探测器读出电路

[发明专利]一种红外焦平面探测器闪元测试装置及测试方法-CN202110280547.1有效
发明人：李立华;毛京湘;姬荣斌;李雄军;赵鹏;舒畅;姬玉龙;黄俊博;李红福;马颖婷;孔金丞 -专利权人：昆明物理研究所
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01J5/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外焦平面探测器闪元测试装置及测试方法，该装置主要由黑体辐射源、低噪声电子学驱动电路、数据采集卡、计算机等组成。该方法包括：设置探测器工作条件进行基本性能测试得到探测器的盲元；两点非均匀性校正；选择要进行闪元测试的温度点进行单点非均匀性校正；连续采集F帧；计算或设置闪元判定阀值；剔除盲元后，统计F帧中单个像元超过规定阀值规定次数的像元为闪元本发明的优点在于，可以模拟红外焦平面探测器的使用环境和条件，对除盲元以外的影响红外探测器整机成像质量的闪元进行评价，为红外焦平面探测器提供一种新的性能评价方法及筛选依据，可广泛应用于红外焦平面探测器的性能测试评价工作中
一种红外平面探测器测试装置方法

[发明专利]红外探测器矫正方法、装置、设备及可读存储介质-CN202210563985.3在审
发明人：罗斌;曾广锋;高涛 -专利权人：东莞先导先进科技有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本申请公开了一种红外探测器矫正方法、装置、设备及可读存储介质，该方法包括确定红外探测器的像元点对应的目标像素值；获取红外探测器的像元点输出的当前像素值；判断当前像素值与目标像素值之间的差值是否小于预置的阈值；若差值不小于预置的阈值，则计算当前像素值与目标像素值的平均像素值，并利用平均像素值矫正红外探测器中的OCC参数，以使OCC参数对应的像元点输出的像素值与目标像素值之间的差值变小，获取红外探测器的像元点输出的新的当前像素值可见，本申请的红外探测器矫正方法提高了收敛速度，节省了矫正时间。
红外探测器矫正方法装置设备可读存储介质

[发明专利]基于不变特征的静止轨道闪电探测器辐射响应监测方法-CN202011572825.2有效
发明人：惠雯;刘瑞霞 -专利权人：国家卫星气象中心（国家空间天气监测预警中心）
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于不变特征的静止轨道闪电探测器辐射响应监测方法，该方法为：在闪电成像仪和多通道扫描辐射成像仪的重叠观测时段提取多通道扫描辐射成像仪低温像元，设为Iti，提取满足σti1K的低温像元base:Sub>；查找与Ipi时间和空间最接近的闪电探测器像元作为闪电探测器低温像元；去除闪电脉冲和噪声污染；对闪电探测器低温像元辐射值校正，并建立辐射值随时间的变化特征模型。本发明的监测方法能实现对静止轨道闪电探测器的辐射跟踪，检验探测器辐射响应的稳定性，以便在辐射响应发生变化时，及时对星上背景估计的阈值设置进行调整，保证仪器的探测能力。
基于不变特征静止轨道闪电探测器辐射响应监测方法

[发明专利]一种探测器串音测试装置、其制作方法及串音测试方法-CN201710287481.2在审
发明人：侯治锦;司俊杰;王巍;鲁正雄 -专利权人：中国空空导弹研究院
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种探测器串音测试装置、其制作方法及串音测试方法，在基片上制作至少一个最小单元图形，所述最小单元图形包括中心探测单元和设置在中心探测单元周围的外围探测单元，外围探测单元为不透光，中心探测单元为透光；将制作好的探测器串音测试装置放置在焦平面探测器的前面，使中心探测单元与焦平面探测器的光敏元对准；采用黑体进行测试，根据各光敏元的电压响应值计算焦平面探测器的串音。本发明适用于小像元焦平面探测器的串音，解决了传统小光点测试法不适用于小像元探测器串音的难题，使用本发明测试探测器的串音时，只有最单元图形的中心探测单元有响应，使探测器串音很容易获得。
一种探测器串音测试装置制作方法方法

[发明专利]一种红外探测器及其制备方法-CN201710516396.9有效
发明人：康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了一种红外探测器及其制备方法，通过在有效像元阵列中的每个有效像元中设置探测结构层和盲元结构层；探测结构层和盲元结构层分别位于一非掺杂鳍结构的两侧壁表面。本发明不仅将探测结构层和盲元结构层整合于同一有效像元中，节约了像元的占比，提高了器件集成度；并且能够实现对红外探测器的电阻的灵活调节，并且不会受到光刻、薄膜厚度的影响，进一步提高了探测灵敏度。
一种红外探测器及其制备方法

[发明专利]焦平面红外探测器芯片、探测器和制备方法-CN202110416974.8在审
发明人：郝宏玥;徐应强;牛智川;王国伟;蒋洞微 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L31/0232 文献下载
摘要：本发明公开了一种焦平面红外探测器芯片，包括：接触层，接触层上设置有第一欧姆接触电极和像元阵列；陷光结构阵列，设置在接触层的下面；其中，像元阵列的每一个像元上设置有第二欧姆接触电极，每一个第二欧姆接触电极上设置有铟柱，铟柱与读出电路连接，像元阵列、接触层和第一欧姆接触电极的掺杂类型相同，接触层和第二欧姆接触电极形成PN结。本发明公开的焦平面红外探测器芯片提高样品的吸收率，吸收谱覆盖可见至短波红外波段，提高了探测器芯片的响应波段。本发明还公开了一种焦平面红外探测器芯片的制备方法和一种焦平面红外探测器。
平面红外探测器芯片探测器制备方法

[发明专利]用于无接触式确定温度的方法以及红外测量系统-CN201780041068.6有效
发明人： M.弗兰克;V.森茨;M.巴德贾;A.伦贝格;M.克吕格;H.迪特默 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-06-14 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：无接触确定表面温度、尤其温度分布的方法从红外测量系统出发：其具有红外探测器阵列，红外探测器阵列有：探测器阵列衬底；多个以第一热学导热能力连接到探测器阵列衬底上的测量像元，其对红外辐射灵敏且提供测量信号以确定与入射红外辐射强度相关的温度测量值TMP；多个以比第一热学导热能力更大的第二热学导热能力连接到探测器阵列衬底上的参考像元，其实现为对红外辐射基本不灵敏的盲像元且提供测量信号以确定温度测量值TBP，该方法包括：确定多个参考像元的温度测量值TBP；确定多个测量像元的温度测量值TMP；分别以像元所属的用温度测量值TBP确定的温度漂移分量校正温度测量值TMP。
用于接触确定温度方法以及红外测量系统

[发明专利]一种非制冷红外探测器-CN201110069273.8有效
发明人：姜利军;刘海涛;潘峰;钱良山;池积光 -专利权人：浙江大立科技股份有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01J5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种非制冷红外探测器，特别是一种微桥结构以及由上述微桥结构组成的二维焦平面阵列。微桥结构包含半导体衬底、制作于衬底之上的悬臂梁层次的微结构、制作于衬底之上的盲元层次微结构、以及制作于盲元及悬臂梁之上的像元层次微结构。上述的微桥结构中像元与盲元立体集成在同一个位置的衬底之上，可以有效地避免目前非制冷探测器中由于像元与盲元分布在衬底上相隔较远的不同位置而处于不同温度梯度的缺点。利用上述微桥结构的焦平面探测器可以实现像元与盲元的一一对应关系，这将有效地提高非制冷探测器的背景校正功能，对于改善探测器的性能有较大的帮助。
一种制冷红外探测器

[发明专利]一种平面型子像元结构铟镓砷红外探测器芯片-CN201210019745.3有效
发明人：邓洪海;唐恒敬;李淘;李雪;魏鹏;朱耀明;王云姬;杨波;龚海梅 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2012-01-20 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面型子像元结构铟镓砷红外探测器芯片。红外探测器芯片在结构上主要包括子像元结构的PN结区和载流子侧向收集区。本专利引入了子像元结构，利用了载流子的侧向收集效应，产生在载流子侧向收集区的光生载流子可以被相邻的子像元有效吸收，在探测器量子效率不降低的前提下，光敏元响应均匀。另外，这种结构减少了扩散区域从而有效地减少了扩散热损伤，并引入双层钝化工艺减小表面复合，增加少数载流子的寿命、降低器件的暗电流；对于线列探测器，这种结构可以有效地降低盲元率，抑制光敏元扩大和串音。本设计是一种可以抑制串音、降低器件盲元率及器件暗电流的新型平面型器件结构。
一种平面型子像元结构铟镓砷红外探测器芯片

[发明专利]红外探测器及其制备方法-CN202010639304.8有效
发明人：魏斌;翟光杰;潘辉;武佩 -专利权人：北京北方高业科技有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括多个阵列排布的探测器像元，每个探测器像元包括电极层，电极层上设置有多个阵列排布的图案化镂空结构，图案化镂空结构呈正六边形；红外探测器的红外吸收谱段为3通过本公开的技术方案，实现了红外探测器的宽谱吸收，大大提高了红外探测器对目标物体温度红外辐射能量的吸收率，进而使得红外探测器具有较高的探测灵敏度。
红外探测器及其制备方法