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- [发明专利]一种压电微机械换能器-CN202110423696.9在审
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秦风;李慧
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广州蜂鸟传感科技有限公司
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2021-04-20
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2021-06-29
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B06B1/06
- 本发明公开了一种压电微机械换能器,属于换能器技术领域,解决了换能器由于采用多换能器组成阵列,导致器件体积较大、成本高的问题,本发明包括基底,基底包括底硅层和设置于底硅层上的埋氧层,埋氧层上方由下至上依次连接有顶硅层、底层金属层、压电材料层和顶层金属层,底硅层和埋氧层处的基底中心位置设置有背部空腔,压电材料层上形成与背部空腔形状相同、尺寸大小相同、位置相对应的振膜区域,振膜区域内的压电材料层包括安装于外侧的振膜外侧电极,振膜外侧电极内部安装有振膜内侧电极,振膜外侧电极与振膜内侧电极之间设置有隔离沟槽。本发明通过隔离沟槽将振膜区域的电极分为内侧和外侧,实现了单个换能器的高性能自发自收工作。
- 一种压电微机械换能器
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