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[发明专利]抛光液换热装置和抛光机-CN202310653035.4在审
发明人：许伟峰;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种抛光液换热装置和抛光机，该抛光液换热装置包括容器、流量控制单元以及第一测温组件，容器包括第一换热腔，第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通，流量控制单元的出口与第一进水口连通，流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通，第一测温组件用于检测从抛光液出口流出的抛光液的温度，第一测温组件与流量控制单元电连接通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。
抛光液换热装置抛光机

[发明专利]箱式磁性复合流体抛光装置-CN201810018675.7有效
发明人：姜晨;高睿;姜臻禹;严广和;黄佳雷 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种箱式磁性复合流体抛光装置，抛光箱一侧的磁性复合流体抛光液注入口与磁性复合流体抛光液回流出口之间通过抛光液通道连接，磁性复合流体抛光液注入口和磁性复合流体抛光液回流出口与外界抛光液注入装置连接，抛光液通道连接前端抛光液驻留腔和后端抛光液回流腔形成抛光液密闭循环系统；抛光盒置于抛光箱中，抛光盒的抛光液出口连通后端抛光液回流腔，抛光液喷射口与前端抛光液驻留腔之间设有球体，球体通过弹簧连接安装在抛光箱中的蜗杆本发明结构简单，不但能够对多个小口径通孔同时抛光，还提高了抛光效率和抛光后孔壁的光洁度。
抛光液复合流体抛光抛光箱增压喷射装置抛光液通道回流出口抛光装置回流腔注入口驻留腔齿轮球体蜗杆光洁度电机密闭循环系统抛光液出口小口径通孔弹簧连接脉冲信号啮合连接抛光效率注入装置传动轴喷射口后孔连通

[发明专利]针式磁性复合流体抛光装置-CN201710929788.8有效
发明人：姜晨;高睿;姜臻禹;黄佳雷;钱大兵 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种针式磁性复合流体抛光装置，抛光针通过夹头和夹具连接电主轴，由电主轴带动抛光针旋转对小口径深孔进行抛光，抛光针两侧和前端均布有抛光液出口，抛光液出口连通抛光针内部的抛光液通道，使抛光液通过抛光针内部抛光液通道流向抛光液出口，内层有机玻璃环粘贴在抛光液出口之间的空隙处，磁铁环粘贴在抛光针的内层有机玻璃环上，磁铁环外部套上与之配合的定制套筒，定制套筒用于保护抛光针和磁铁环，同时便于抛光后的清洗，磁铁环将流出抛光液出口的抛光液吸附在定制套筒上，实现对不同深度小口径通孔四周和半通孔四周以及底面的抛光。本发明结构简单，可以实现对不同深度的小口径深孔实现抛光，同时可以对半通深孔底面实现抛光。
抛光抛光液出口磁铁环套筒抛光液通道小口径深孔有机玻璃环复合流体抛光装置电主轴抛光液内层粘贴针式夹具小口径通孔半通孔空隙处通深孔底面夹头均布吸附连通清洗流出外部配合

[发明专利]抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统-CN201010594263.1无效
发明人：路新春;潘燕;沈攀;何永勇 -专利权人：清华大学
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： F24H7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液加热装置，所述抛光液加热装置包括加热容器，所述加热容器内限定有容纳腔，所述容纳腔内盛装有热交换液体；发热元件，所述发热元件设置在所述容纳腔内用于对所述热交换液体加热；和抛光液换热管，所述抛光液换热管具有入口端和出口端，所述抛光液换热管盘绕在所述容纳腔内且所述抛光液换热管的入口端和出口端分别从所述加热容器内伸出。本发明还公开了包括所述抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统。通过利用包括本发明的抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统，可以向化学机械抛光工序提供所需温度的抛光液，从而提高抛光效果。
抛光加热装置温度控制设备输送系统

[实用新型]一种光学晶体研磨抛光用抛光液处理装置-CN201621261615.0有效
发明人：陈从贺 -专利权人：福州恒光光电有限公司
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学晶体研磨抛光用抛光液处理装置，包括一个抛光液混合容器，抛光液混合容器倾斜置于旋转驱动装置上，旋转驱动装置中设有三个能够支撑驱动所述抛光液混合容器的驱动辊轮，抛光液混合容器的底部设有抛光液出口，抛光液出口处设有一次过滤网片，抛光液出口连接精密过滤装置，精密过滤装置中设有两层过滤介质，两层过滤介质之间设有过渡腔体，过渡腔体的侧壁上连接有杂质收集槽，精密过滤装置的出口连接抛光液供给装置和过滤介质吹气反清洗接口，过滤介质吹气反清洗接口连接有清洁压缩气源；本实用新型过滤后的抛光液中的杂质大大降低，能够定期对过滤介质进行吹气清洁，使过滤介质能够长时间使用，过滤除杂效果稳定可靠。
一种光学晶体研磨抛光处理装置

[发明专利]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光装置-CN201810122104.8在审
发明人：李敏;黄振荣;董婷;邓朝晖;毛美姣;唐成;刘玲令;赵前程 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： B24B25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光装置，包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置，抛光固动盘安装在防尘罩内，防尘罩上设有抛光工具夹具，抛光工具安装在抛光工具夹具上，抛光工具设置在防尘罩内；抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管，中空管上端与抛光液性状调节室出口连接，抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接，抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接，抛光工具的下端处设有凹腔，凹腔内设有液流边界约束机构
抛光工具防尘罩抛光液循环装置夹具抛光液性状剪切增稠抛光装置超精密抛光凹腔动盘协同抛光液出口边界约束出口连接加工材料加工效率室出口室进口中空管上端空管面形下端液流进口

[实用新型]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光加工装置-CN201820213320.9有效
发明人：李敏;黄振荣;董婷;邓朝晖;毛美姣;唐成;刘玲令;赵前程 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B24B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光加工装置，包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置，抛光固动盘安装在防尘罩内，防尘罩上设有抛光工具夹具，抛光工具安装在抛光工具夹具上，抛光工具设置在防尘罩内；抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管，中空管上端与抛光液性状调节室出口连接，抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接，抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接，抛光工具的下端处设有凹腔
抛光工具防尘罩抛光液循环装置夹具抛光液性状本实用新型剪切增稠抛光加工超精密抛光凹腔动盘协同抛光液出口边界约束出口连接加工材料加工效率室出口室进口中空管上端空管面形下端液流进口

[发明专利]防眩玻璃加工清污装置-CN201610790940.4在审
发明人：张源兴 -专利权人：张源兴
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：设有输送辊轮组、簇毛刷、抛光液管、抛光液池、回液管、回液过滤器、回液池、回液泵、回液总管；被加工防眩玻璃放置于输送辊轮组上，簇毛刷设于输送辊轮组上方，抛光液管设于输送辊轮组上方，抛光液管的底部设有一排抛光液滴孔，滴孔孔径为3～8mm，相邻滴孔孔距为50～100mm，回液管的进液口与设于抛光液池底部的回液出口连接，回液管的回液出口接回液过滤器，回液过滤器出口接回液池，回液泵设于回液池中，回液总管的进口接回液泵的出口，回液总管的出口接抛光液管。清污效果好,回液利用效率高。
玻璃加工装置

[实用新型]一种防眩玻璃加工清污装置-CN201621028505.X有效
发明人：张源兴 -专利权人：张源兴
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：设有输送辊轮组、簇毛刷、抛光液管、抛光液池、回液管、回液过滤器、回液池、回液泵、回液总管；被加工防眩玻璃放置于输送辊轮组上，簇毛刷设于输送辊轮组上方，抛光液管设于输送辊轮组上方，抛光液管的底部设有一排抛光液滴孔，滴孔孔径为3～8mm，相邻滴孔孔距为50～100mm，回液管的进液口与设于抛光液池底部的回液出口连接，回液管的回液出口接回液过滤器，回液过滤器出口接回液池，回液泵设于回液池中，回液总管的进口接回液泵的出口，回液总管的出口接抛光液管。清污效果好,回液利用效率高。
一种玻璃加工装置

[实用新型]纳米抛光机及其喷液装置-CN201120124381.6有效
发明人：叶华林;李秀荣 -专利权人：佛山市科达石材机械有限公司
申请日： 2011-04-25 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种纳米抛光机及其喷液装置。其中，喷液装置，包括液桶，所述液桶的底部设置有出液口，所述出液口上连接有第一单向阀，所述第一单向阀的抛光液出口上连接有阀体，所述阀体上具有活塞腔和与活塞腔相连通的抛光液进孔及抛光液出孔，所述抛光液进孔与所述第一单向阀的抛光液出口相连接，所述抛光液出孔上连接有第二单向阀，所述活塞腔内对应设置有活塞。该喷液装置不会造成管路堵塞的问题。同时，通过控制活塞的行程及启停时间，可以方便的实现对抛光液定量、定时、自动喷洒。
纳米抛光机及其装置

[实用新型]一种自动摇匀及添加抛光液的研磨装置-CN201520536051.6有效
发明人：陈从贺 -专利权人：福州恒光光电有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动摇匀及添加抛光液的研磨装置，包括研磨装置本体，所述研磨装置包括动力部、传动部和研磨部，所述研磨部包括抛光盘，所述传动部包括连杆机构，连杆机构的连杆上固定有抛光液容器，抛光液容器的高度大于抛光盘安装高度，容器下部设有出液口，出液口连通输液导管，输液导管通向抛光盘，导管出口处设节流阀，导管尾端被外部支架固定，节流阀高度低于抛光液容器底部且输液导管出口位于抛光盘上方，所述连杆机构的连杆末端固定工件，工件接触抛光盘，连杆在动力部驱动下往复运动以抛光工件，并摇匀抛光液容器内的抛光液，容器内的抛光液经输液导管滴至抛光盘上。本实用新型以简易的结构实现了研磨装置的抛光液自动摇匀及添加。
一种自动摇匀添加抛光研磨装置

[发明专利]一种抛光液加热装置-CN201811036282.5在审
发明人：汪条英 -专利权人：汪条英
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种加热装置，尤其是一种抛光液加热装置属于晶片抛光的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本发明结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广
抛光液加热装置输送管晶片抛光加热器加热控制器温度检测器抛光环境温度检测器管道出口处有效实现检测加热

[实用新型]抛光液加热装置-CN201620059675.8有效
发明人：夏秋良 -专利权人：苏州新美光纳米科技有限公司
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： B24B37/015 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种加热装置，尤其是一种抛光液加热装置，属于晶片抛光的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本实用新型结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广
抛光加热装置

[实用新型]一种TSK减薄机抛光单元管路结构-CN202123123930.0有效
发明人：王涛涛;马勉之;吴树彬;郭博熠;白玉博;刘玉杰;吉武;王祥;李奇 -专利权人：华天科技（南京）有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，有效减少管路结晶情况，提升设备稳定性，提高设备利用率，保证了产品品质要求。一种TSK减薄机抛光单元管路结构，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐、气动泵、压力调节阀和抛光终端；其中，气动泵上连接有气压源端，抛光终端包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐的入口连接，形成闭合循环管路；所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。
一种 tsk 减薄机抛光单元管路结构

[发明专利]一种抛光液供给装置及系统-CN201711405093.6在审
发明人：佀海燕;王广峰;赵宁 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种抛光液供给装置及系统，抛光液供给装置，其特征在于，包括：抛光液供给模块和抛光液供给管路；所述抛光液供给模块包括：供液管路、回流管路和并联管路；所述供液管路的进液口与抛光液供给源连接；所述供液管路的出液口分别与所述回流管路的回流口和并联管路的进口连通；所述并联管路的出口与所述抛光液供给管路入口连通；所述回流管路用于流经所述供液管路的部分或者全部抛光液不参与抛光作业直接回流排出。本发明通过设置回流管路，将部分抛光液分流并回流到原供液端，由此可保证无论是否进行抛光作业，供液管路中的抛光液始终保持流动状态，从而可以有效避免抛光液凝固，堵塞供液管路。
抛光液供液管路回流管路抛光液供给装置并联管路供给管路供给模块抛光作业连通流动状态出液口供给源供液端回流口进液口排出凝固堵塞分流进口出口保证

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