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[实用新型]一种一体式高强度牛津布加工用并轴装置-CN201920918558.6有效
发明人：张志伟;陆飞;冯志华;王小兴;冯利荣 -专利权人：嘉兴市永利纺织有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B65H49/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一体式高强度牛津布加工用并轴装置，包括多个绕线筒、集线辊和一体式起承载作用的定位部，所述定位部由支撑板和在支撑板上转动连接的承载装置构成，所述承载装置上设有第一承载圆板和与第一承载圆板同轴分布的第二承载圆板本实用新型中，承载装置上第一承载圆板和第二承载圆板呈圆盘状，多个绕线筒均匀分布套设在第一承载圆板和第二承载圆板上的承载轴上，起集线作用的集线辊转动安装在支撑板上，并位于第一承载圆板和第二承载圆板的中心位置
一种体式强度牛津工用装置

[实用新型]一种晶圆盒定位承载装置-CN202320851598.X有效
发明人：程锐;刘林;林镇樟;解家剑 -专利权人：环诚智能装备（成都）有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆盒定位承载装置，包括机架、承载板、定位组件以及驱动组件，承载板用于承载晶圆盒，承载板的一侧与机架铰接以形成铰接点；定位组件设置于承载板上，定位组件用于对晶圆盒进行限位；驱动组件用于驱动承载板以铰接点为圆心转动，以通过承载板带动晶圆盒同步转动。本实用新型通过让承载板与机架之间铰接，并增设用于驱动承载板转动的驱动组件，当晶圆盒放置在承载板上并定位后，可通过调节承载板转动角度的方式实现调节晶圆盒的相对角度，从而有利于在实际应用过程中将晶圆盒调整至适合于拿取或放置的角度，进而更加方便拿取或放置晶圆盒。
一种晶圆盒定位承载装置

[实用新型]一种十二寸晶圆盒解锁装置-CN202222587647.1有效
发明人：王晓飞;顾文豪;张宵雨 -专利权人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提出一种十二寸晶圆盒解锁装置，包括承载组件及解锁组件，解锁组件与承载组件位置对应，并与晶圆盒适配，承载组件包括承载座板，该承载座板沿横向布置，承载座板中安装有定位销，定位销顶部向承载座板上方伸出，并与晶圆盒适配，承载座板通过滑动结构安装于承载支架上，承载支架上还设有承载驱动机构，承载座板与承载驱动机构配合，可对承载座板及解锁座板的位置进行精准定位，使解锁过程和密封门移动过程平稳顺畅，有利于提升晶圆盒解锁及晶圆取放过程的精准度，减少各设备对接部位的偏移误差，避免在晶圆盒解锁过程或晶圆取放过程对晶圆片造成损伤，从而提升集成电路的连通性，提高集成电路的良率和使用寿命。
一种十二寸晶圆盒解锁装置

[实用新型]一种圆压圆模切机刀辊结构-CN202320106888.1有效
发明人：丁祖洋 -专利权人：合肥天智包装材料有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B26F1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆压圆模切机刀辊结构，包括圆模切机刀辊，所述圆模切机刀辊的表面安装有承载板，所述承载板的表面开设有沟槽，所述承载板的表面一体成型有连接部，所述连接部与承载板均滑动连接于圆模切机刀辊的表面本实用在承载板与圆模切机刀辊之间设置了调节组件，并且在圆模切机刀辊的内部设置了对螺纹杆的驱动组件，使得能够通过旋钮的转动来带动螺纹杆转动，进而通过螺纹杆的转动转化为牵引块的直线移动，从而在圆模切机刀辊的表面对承载板的位置进行调节，而且由于承载板的移动是通过螺纹杆与牵引块的配合来驱动的，这就使得承载板的行程不会出现段落，从而实现了承载板的精密调节。
一种圆压圆模切机刀辊结构

[发明专利]承载板的结构强化方法-CN201310629612.2有效
发明人：杨俊英;彭盈超;萧启成 -专利权人：英业达科技有限公司;英业达股份有限公司
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： B21D49/00 文献下载
摘要：一种承载板的结构强化方法，其步骤包含形成一圆凸包于一承载板。承载板具有一承载面。圆凸包凸出承载面。接着，于圆凸包的相对两侧各形成一长条凸包。二长条凸包凸出承载面。同时回整圆凸包，以令圆凸包于承载面的形成处恢复为一平面。回整二长条凸包，以令整个承载面恢复为一平面。
承载结构强化方法

[实用新型]一种倾斜输送用链条-CN202222005319.6有效
发明人：陈亦兵;王晓龙;周子棠;章媛;王州;程腾飞;章毓龙;程学军;骆海兵;方东;章冬光;程波;许兵;余建勋;叶宝丰 -专利权人：安徽黄山恒久链传动有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B65G17/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种倾斜输送用链条，包括外承载板、内承载板、销轴一、销轴二和滚轮，内承载板和外承载板内均焊接有支撑肋板，内承载板和外承载板的折弯方向与节距中心线均倾斜，内承载板和外承载板的两侧均设有两个等大的圆型螺纹孔，内承载板和外承载板的中间均设有一个小螺纹孔一，外承载板均相对设置，外承载板内设置有内承载板、滚轮和套筒，轴端卡板上均设有小螺纹孔二，销轴一依次穿过外承载板的圆型螺纹孔、内承载板的圆型螺纹孔，套筒、内承载板的圆型螺纹孔、外承载板的圆型螺纹孔和小螺纹孔二。
一种倾斜输送链条

[实用新型]全包围式高效圆片烤箱-CN202123258994.1有效
发明人：俞磊;秦峰;吕泓霄;林花 -专利权人：苏州广年科技有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型全包围式高效圆片烤箱，包括烤箱支架，烤箱支架包括对应设置的下装置板和上装置板，上装置板和下装置板间设置有圆片承托组件，圆片承托组件包括对应设置于下装置板左右两侧的一组承载架A，且对应一组承载架A，下装置板后侧还设置有承载架B，一组承载架A和承载架B配合下装置板前侧呈圆状分布，上装置板连接于一组承载架A和承载架B，形成全包围圆片承托式烤箱结构。本实用新型通过仿圆片设置的边缘承托方式进行圆片的承托，保证圆片热处理时的受热均匀度，保证产品制备质量。
包围高效烤箱

[实用新型]手动标识坏芯片装置-CN202021478263.0有效
发明人：潘斐 -专利权人：无锡芯智光精密科技有限公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及一种手动标识坏芯片装置，其包括承载板，所述承载板上穿设有转轴，所述转轴和承载板垂直设置并穿过承载板，所述承载板的上表面上设有固定架，所述转轴穿过固定架和固定架滑动设置，所述固定架背向承载板一侧端面上设有用于放置芯片圆片的圆片托盘，所述圆片托盘转动连接在固定架上，所述转轴穿过圆片托盘和圆片托盘滑动连接，所述固定架背向圆片托盘一侧上设有用于标识芯片圆片的标识件。本申请具有使标识芯片圆片效率更高的效果。
手动标识芯片装置

[实用新型]一种晶圆载盘治具-CN202222868618.2有效
发明人：吴铁山;宁震坤 -专利权人：无锡金田电子有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆载盘治具，包括承载盘及与承载盘连接的操作板，承载盘的表面设有晶圆支撑台，承载盘的表面还设有位于晶圆支撑台外侧的晶圆定位销，晶圆支撑台及晶圆定位销均与承载盘固连，操作板靠近晶圆支撑台的一侧设有晶圆定位块，晶圆定位块通过弹性连接件与操作板连接，晶圆支撑台由缩醛树脂制成。本实用新型的晶圆载盘治具测试能耗低且晶圆不易碎裂。
一种晶圆载盘治具

[发明专利]晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法-CN202010559923.6在审
发明人：郑旭东 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法，其中，所述晶圆防偏承载装置包括：承载板和多个卡钩，所述卡钩通过转轴与承载板连接且沿承载板的周向均匀布设，所述卡钩包括一长边和一短边，所述长边的内侧设置有限位凸起，自然状态下，卡钩处于张开状态，当将晶圆加载到承载板时，晶圆压迫短边，使卡钩旋转，直至长边上的限位凸起与晶圆的侧端面相抵后使晶圆处于约束态，此时，卡钩处于夹紧状态且卡钩的短边的自由端仍高于承载板的上表面，以支撑晶圆。该晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法可有效防止晶圆在传输过程中发生偏移，产生颗粒少且不易聚集，可保证产品质量，应对晶圆变形的适应性好，可适应一定尺寸范围内的晶圆。
晶圆防偏承载装置晶圆防偏方

[发明专利]一种晶圆片承载装置-CN201911381158.7有效
发明人：邓信甫 -专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆片承载装置，包括：框体底座；设置在框体底座上的第一垂直框体板；设置在框体底座上，且与第一垂直框体板相对设置的第二垂直框体板；连接第一垂直框体板的顶部和第二垂直框体板的顶部的框体上盖板；沿竖直方向布置在第一垂直框体板上的第一承载组件；以及沿竖直方向布置在第二垂直框体板上的第二承载组件，第二承载组件与第一承载组件对应部位能够承载晶圆片。可以将该晶圆片承载装置置于半导体清洗设备与外在装置之间，待清洗的晶圆片和清洗后的晶圆片放置在第一承载组件和第二承载组件上，在半导体清洗设备清洗晶圆片的过程中，外在装置可以转移清洗后的晶圆片以及待清洗的晶圆片，从而节省了等待时间，提高了晶圆片的清洗效率。
一种晶圆片承载装置

[实用新型]一种液压支架牵引调向运输回撤装置-CN202121425548.2有效
发明人：贾华龙;王龙峰;杜曜彤;段霄;王鹏飞 -专利权人：贾华龙
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： E21D23/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种液压支架牵引调向运输回撤装置，包括装置本体；所述装置本体底部设置有承载固定板，承载固定板右侧设置有承载圆板，承载固定板承载圆板中心开设有上下贯穿的安装孔，承载固定板承载圆板右侧前方设置有固定板，承载固定板固定板开设有上下贯穿的安装孔，承载固定板固定板安装孔两侧均开设有上下贯穿的螺纹孔，承载固定板承载圆板左侧前后均设置有左右方向的凸形导向板。承载固定板的设置，方便承载转动板通过轴承安装进行转动，方便对移动承载架移动进行导向，方便通过移动承载架顶部支撑液压缸将液压支架顶起脱离地面，解决了通过绞车牵引拉出支护位置，液压支架底部与地面接触拖拽摩擦力大影响移动和磨损液压支架底部的问题
一种液压支架牵引运输回撤装置

[实用新型]一种运输晶圆的推车装置-CN202220947519.0有效
发明人：竺征;雷亚洲 -专利权人：上海先进半导体制造有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种运输晶圆的推车装置，包括推车车体及至少一承载层板，其中推车本体包括支撑框、车轮组件与多根支撑柱，车轮组件位于支撑框下方，支撑柱垂直设于支撑框上方并与支撑框连接，承载层板位于多根支撑柱围成的内部空间并与支撑柱连接，承载层板具有用于承载晶圆盒的承载表面，承载表面相对于水平面倾斜设置。本实用新型的运输晶圆的推车装置的承载层板设置倾斜的承载表面，当晶圆盒放置于倾斜的承载表面后使得晶圆朝同一方向倾斜，防止其左右晃动，保持晶圆运输平稳性，有效降低晶圆在运输过程中损坏的几率。
一种运输推车装置

[实用新型]一种啤酒桶运载托盘-CN201920743698.4有效
发明人：邹定德 -专利权人：苏州迅盛塑胶科技有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： B65D19/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及仓储物流领域，具体涉及一种啤酒桶运载托盘，包括托盘本体，托盘本体上设有若干个承载筒，承载筒内设有承载圆槽，承载圆槽呈矩形整列设置在托盘本体上；承载圆槽的四周还设有若干个限位块，若干个限位块的中心与承载圆槽的圆心的距离均相等且大于承载圆槽的半径，限位块包括限位板和用于连接相邻的限位板的弧形壁，限位板之间还连接有加强板，承载圆槽内还设有承载网，承载网和托盘本体相连接，承载网包括相连接的上缓冲网和下支撑网。
圆槽承载托盘本体承载网限位板限位块本实用新型承载筒啤酒桶圆心仓储物流运输效果运载托盘整列设置弧形壁缓冲网加强板支撑网相等支撑

[实用新型]一种晶圆承载盒-CN201920289570.5有效
发明人：祝璐琨;曹巍;陈雷刚 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-03-07 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆承载盒，涉及半导体集成电路制造领域。所述晶圆承载盒的左侧板和右侧板内侧均设置有用于承载晶圆的第一插槽，当所述晶圆承载盒水平放置时，所述第一插槽与水平方向呈一定角度θ，使承载的所述晶圆位于所述晶圆承载盒口部一侧向上倾斜。本实用新型提供的晶圆承载盒可防止因台面不平整或烤箱振动，所述晶圆从所述晶圆承载盒滑出造成破片，提高了产品的良率，降低了生产成本。
晶圆承载盒晶圆本实用新型承载盒插槽种晶半导体集成电路制造承载烤箱向上倾斜右侧板左侧板台面滑出口部良率破片生产成本平整

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