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[发明专利]扩散系统-CN200410068272.1无效
发明人：金俊永;崔秉龙;李银京 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2004-08-27 - 公布日： 2005-05-04 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：提供一用于在晶片中形成掺杂层的扩散系统。该扩散系统包括一产生掺杂气体的扩散器；一预先混合掺杂气与反应气体并预先加热气体混合物的预先混合器；一主室，气体混合物在其中与晶片发生反应；一缓冲箱，其从外部隔离排气孔与用来将晶片安装进或退出主室的挡板；以及一在主室的反应后将用过的气体排出的废气排出系统。
扩散系统

[实用新型]扩散系统-CN202222854908.1有效
发明人：刘加森;赵小勇;李阳;肖兵;王崇宇;范斌;张智富 -专利权人：中威新能源（成都）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扩散系统，扩散系统包括主机、冷却箱、风扇以及冷却管，其中，所述主机设有冷却室，所述冷却室内设有用于承载石英舟的缓存支架；冷却箱所述冷却箱设置在所述缓存支架下方，所述冷却箱设有内腔以及与所述内腔相连通的出风孔上述冷却装置能加快对扩散工艺后的石英舟以及电池片的降温冷却，提高了生产效率。
扩散系统

[发明专利]扩散设备和扩散系统-CN202110601929.X在审
发明人：蒋新和;王国峰;任宏志 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种扩散设备和扩散系统，用于对晶圆进行氧化沉积制程，其特征在于，包括：炉体、进气口、出气口和晶舟以及导流管，炉体内部中空结构；进气口设置在所述炉体上，用于进气；进气口和出气口分别位于炉体底部的两侧；晶舟设置在炉体内，用于承载晶圆；导流管设置在炉体内，导流管的一端与进气口连接，另一端延伸至炉体的上部，导流管设置有第一开口，第一开口设置在导流管上，靠近炉体的上部；其中，扩散设备还设置有第二开口，对应晶舟的下部设置
扩散设备系统

[实用新型]扩散炉及扩散系统-CN202222268645.6有效
发明人：舒大帅 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：扩散炉及扩散系统，属于太阳能电池技术领域。扩散系统包括扩散炉和磷源储气罐。扩散炉包括炉管和输气管，炉管具有对立的第一端和第二端，用于容纳沿第一端至第二端方向延伸的石英舟。由于出气端沿气体输送方向增大，且出气端沿气体输送方向超出石英舟，则从出气端流出的气体能够以相对较小的流速与石英舟的端部接触，使得位于出气端相邻位置处的硅片能够与工艺气体接触更长时间，提高扩散质量。
扩散系统

[发明专利]缝洞型油藏条件下注入气填充介质扩散试验装置、试验方法与扩散系数确定方法-CN202111273395.9在审
发明人：侯吉瑞;王志兴;刘中春;宋传真;朱桂良;李卉 -专利权人：中国石油大学(北京)
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： E21B47/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种缝洞型油藏条件下注入气填充介质扩散试验装置、试验方法与扩散系数确定方法。该装置包括：气体注入系统、注入气填充介质扩散试验系统、压力监测系统及温控系统；注入气填充介质扩散试验系统包括相连接的密封高温高压气体缓冲罐和密封高温高压扩散釜；密封高温高压扩散釜包括可拆卸密封连接的釜体和釜盖，用于放置填充介质模拟岩心且尺寸满足放入其中的填充介质模拟岩心的侧壁不与密封高温高压扩散釜的内壁接触；气体注入系统出口与密封高温高压气体缓冲罐入口连接；压力监测系统分别与密封高温高压气体缓冲罐和密封高温高压扩散釜连接；温控系统用以控制注入气填充介质扩散试验系统的温度。
缝洞型油藏条件下注入填充介质扩散试验装置试验方法扩散系数确定

[发明专利]一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法-CN201210324787.8有效
发明人：令晓明;范多旺;夏荣斌;范多进;李德文;杨树本 -专利权人：常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司
申请日： 2012-09-05 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： F04F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。
一种防爆扩散真空系统及其控制方法

[发明专利]一种基于高时空分辨成像的载流子扩散预测方法及系统-CN202211188372.2在审
发明人：姜澜;薛博丰;朱彤;高国权;王英杰 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G16C60/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于高时空分辨成像的载流子扩散预测方法及系统，属于载流子扩散超快检测领域。本发明的系统包括实测数据获取单元、扩散模型创建单元、载流子扩散拟合结果获取单元。本发明实现方法为：获取载流子扩散的实测数据；基于所述实测数据构建高斯扩散模型，基于高斯扩散模型建立载流子扩散模型；根据所述实测数据和所述载流子扩散模型，并基于非线性最小二乘法和高斯拟合方法预测载流子扩散的扩散系数、寿命和扩散距离。本发明利用高时空分辨成像超高的空间分辨率和超快的时间分辨率能够保证载流子扩散测量的精度。本发明预测的载流子扩散的扩散系数、寿命和扩散距离，能够优化高时空分辨成像系统，改善飞秒激光加工效果。
一种基于时空分辨成像载流子扩散预测方法系统

[实用新型]一种激光投影装置-CN201720036514.1有效
发明人：吕晓敏 -专利权人：上海晟智电子科技有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：该装置由激光光束汇聚系统、荧光轮激发系统、匀光系统和成像系统组成，激光光束汇聚系统包括第一扩散片，荧光轮激发系统包括第二扩散片和荧光轮，匀光系统包括色轮，色轮和荧光轮组合使用，第一扩散片设在蓝光激光光源右侧，第二扩散片设在第一扩散片的右侧，荧光轮设在第一扩散片与第二扩散片之间，色轮设在第二扩散片下方。
一种激光投影装置

[发明专利]用于调设在腔中的压力的方法和半导体系统-CN201911238508.4在审
发明人： J·克拉森 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于调设借助于衬底和衬底罩构造的腔中的压力的方法，其中，腔是半导体系统、尤其晶片系统的部分，其中，半导体系统包括借助于衬底和衬底罩构造的另外的腔，其中，在腔中布置有微机电系统，其中，在另外的腔中布置有另外的微机电系统，其中，在衬底和/或衬底罩中布置有扩散区域，其中，方法至少包括以下扩散步骤：在扩散步骤中气体借助于扩散区域从环境扩散到腔中，其中，在扩散步骤期间，气体从环境到腔中的扩散性和/或扩散流量高于气体从环境到另外的腔中的另外的扩散性和/或另外的扩散流量，和/或，在扩散步骤期间，另外的腔至少基本上受保护以防止气体侵入到另外的腔中。
用于设在中的压力方法半导体系统

[发明专利]含氦天然气中氦气有效扩散系数测试装置及方法-CN202211472621.0有效
发明人：刘全有;李朋朋;高宇 -专利权人：北京大学
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明涉及氦气勘测、检测设备技术领域，尤其涉及一种含氦天然气中氦气有效扩散系数测试装置及方法，旨在解决缺乏系统的方法以及配套的实验装置对含氦天然气中氦气的扩散行为进行定量表征的问题。本发明提供的含氦天然气中氦气有效扩散系数测试装置包括扩散系统和取气分析系统；扩散系统包括上游扩散室、下游扩散室和真三轴仪，以模拟气体扩散过程；取气分析系统包括上游气样驻留室、下游气样驻留室和色谱分析仪用于获取扩散中的气体并分析其气体组分通过对扩散过程的模拟和及取样分析，并对获得的数据进行计算、拟合，最终得到氦天然气中氦气有效扩散系数。
天然气氦气有效扩散系数测试装置方法

[发明专利]用于自动照明装置的改进的扩散系统-CN201080051389.2有效
发明人：帕维尔·尤里克 -专利权人：罗布照明有限公司
申请日： 2010-09-11 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本发明描述了一种改进的自动照明装置(12)，以及采用改进的图像扩散系统(27)的照明系统(10)。通过提供多组光学扩散元件改进了所述图像扩散系统(27)，这些光学扩散元件可以同时或相继地进行操作，以提供对所应用的图像扩散的范围和控制的改进。
用于自动照明装置改进扩散系统

[发明专利]一种切向扩散耦合烟气外循环多元可调低氮燃烧设备-CN202010950374.5有效
发明人：吴同杰;张义星;代文娟;金艺花;李炳希;吴庆福 -专利权人：富士特锅炉（天津）有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： F23N1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种切向扩散耦合烟气外循环多元可调低氮燃烧设备，包括燃气调控系统、新风调控系统、烟气回收调控系统、引火装置、多元可调扩散燃烧装置以及综合控制系统；燃气调控系统为多元可调扩散燃烧装置提供燃气，新风调控系统为多元可调扩散燃烧装置提供助燃风，烟气回收调控系统将多元可调扩散燃烧装置燃烧燃气产生的烟气通过新风调控系统重新送回多元可调扩散燃烧装置燃烧调控烟气含氮量；综合控制系统对各个系统和多元可调扩散燃烧装置进行精确控制，耦合锅炉智能调控输出功率匹配用户端的用能变化
一种扩散耦合烟气循环多元可调燃烧设备

[发明专利]包括ATM扩散网的移动通信系统及其信道建立方法-CN95108337.6无效
发明人：柳承文;朴容完;丁铉奎;郑琪谟 -专利权人：韩国移动通信株式会社
申请日： 1995-08-04 - 公布日： 2002-09-11 - 主分类号： H04Q7/22 文献下载
摘要：一种包括ATM交换机的异步传输方式(ATM)扩散网的移动通信系统以及该系统的信道建立方法，其包括多个PCS交换系统，各自含有基站控制器，由PCS交换系统相互连接构成网形结构。其建立信道的方法包括用所选定的一个PCS交换中心按照扩散算法将所选定的移动台产生的扩散分组信息传送到全部基站控制器；通过基站控制器经基站收发信机系统广播扩散分组信息；由终接移动台产生扩散确认分组信息；以及将扩散确认分组信息传送到ATM扩散网。
包括 atm 扩散移动通信系统及其信道建立方法

[发明专利]一种不同尺度孔隙煤中瓦斯扩散行为测试装置及方法-CN201710203076.8有效
发明人：李祥春;杨春丽;张良;聂百胜;张雅坤 -专利权人：中国矿业大学（北京）
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种不同尺度孔隙煤中瓦斯扩散行为测试装置及方法，包括瓦斯扩散测试系统、恒温系统、气路系统；瓦斯扩散测试系统主要包括瓦斯扩散测试缸，瓦斯扩散测试缸内部包括一个可调节距离的两个测试板；恒温系统包括恒温箱，用于温度调节；气路系统包括高压气瓶、减压阀、截止阀、进气管路、出气管路和真空泵。该装置及方法可开展实现不同煤质、不同水分、不同温度、不同瓦斯压力、不同尺度孔隙条件下的瓦斯扩散实验。
一种不同尺度孔隙瓦斯扩散行为测试装置方法

[实用新型]一种不同尺度孔隙煤中瓦斯扩散行为测试装置-CN201720329366.2有效
发明人：李祥春;张良;张雅坤;杨启凡;扎恩哈尔·杜曼;姚瑶;杨春丽;聂百胜 -专利权人：中国矿业大学（北京）
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种不同尺度孔隙煤中瓦斯扩散行为测试装置，包括瓦斯扩散测试系统、恒温系统、气路系统；瓦斯扩散测试系统主要包括瓦斯扩散测试缸，瓦斯扩散测试缸内部包括一个可调节距离的两个测试板；恒温系统包括恒温箱，用于温度调节；气路系统包括高压气瓶、减压阀、截止阀、进气管路、出气管路和真空泵。该装置可开展实现不同煤质、不同水分、不同温度、不同瓦斯压力、不同尺度孔隙条件下的瓦斯扩散实验。
一种不同尺度孔隙瓦斯扩散行为测试装置

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