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[发明专利]半导体装置的制造方法、半导体装置以及曝光装置-CN200880101115.2无效
发明人：内田诚一;小川裕之 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2008-07-14 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明的半导体装置的制造方法，其为在基板上具有半导体层、和平坦化层的半导体装置的制造方法，当俯视基板时所述平坦化层为包围半导体层的形状，所述制造方法包括：在基板上形成半导体层的工序；在半导体层上形成感光性有机膜的工序，所述感光性有机膜具有与半导体层的光吸收波段重复的感光波段；和将该感光波段的光从基板侧对感光性有机膜曝光，并对感光性有机膜进行显影而形成平坦化层的工序。
半导体装置制造方法以及曝光

[发明专利]感光性组合物、转印膜、图案形成方法、电路配线的制造方法-CN202211430635.6在审
发明人：两角一真;片山晃男;有富隆志;佐藤守正 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供一种在波长365nm的光下不易感光、在波长436nm的光下容易感光且在黄色灯下的保存稳定性优异的感光性组合物。并且，提供一种在波长365nm的光下不易感光、在波长405nm的光下容易感光且在黄色灯下的保存稳定性优异的感光性组合物。并且，提供一种使用上述感光性组合物的转印膜、图案形成方法及电路配线的制造方法。一种感光性组合物，其包含碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂，其中，该感光性组合物满足规定的要件3及4。
感光性组合转印膜图案形成方法电路制造

[发明专利]感光性树脂组合物、显示器隔壁结构物及显示装置-CN202010129825.9在审
发明人：朴薛基;金勋植;安基熏;李在乙 -专利权人：东友精细化工有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明提供感光性树脂组合物、由上述感光性树脂组合物制造的显示器隔壁结构物及包含上述显示器隔壁结构物的显示装置，上述隔壁形成用感光性树脂组合物的特征在于，包含(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)聚合性化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂，由上述感光性树脂组合物制造的固化膜在450nm以上470nm以下的波长中的最大透过率小于10％，在620nm以上660nm以下的波长中的最小透过率为30％以上。本发明的感光性树脂组合物提供在隔壁形成后的厚膜中防止形成逆锥形而容易制造具有有利于形成隔壁的顺锥形形状的隔壁，且有效阻挡蓝色光的效果。
感光性树脂组合显示器隔壁结构显示装置

[发明专利]感光性树脂组合物、光固化图案、及图像显示装置-CN201610076871.0有效
发明人：赵庸桓;曺伯铉 -专利权人：东友精细化工有限公司
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：本发明提供感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置。本发明涉及感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的光固化图案、及具备该光固化图案的图像显示装置，所述感光性树脂组合物通过含有粘合剂树脂、聚合性单体、聚合引发剂、具有特定结构的重复单元的聚硅氧烷系的第1表面活性剂、在分子内以5～10重量％含有氟的聚硅氧烷系的第2表面活性剂、及溶剂，在形成膜时，可以得到中心部与前端部的高度差小而平坦、并且不产生干燥不均的固化膜。
感光性树脂组合光固化图案图像显示装置

[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的感光性树脂层及彩色滤光片-CN201811382995.7有效
发明人：白好贞;金钟基;朴民志;申遇汀;尹振燮;李范珍;林知泫;张永雄 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开一种感光性树脂组合物、使用此组合物制造的感光性树脂膜以及包括所述感光性树脂膜的彩色滤光片，所述组合物包含(A)量子点；(B)重量平均分子量为约2,000g/mol到约12,000g/mol的粘合剂树脂
感光性树脂组合使用彩色滤光

[发明专利]感光性树脂组合物、干膜、固化物和电子部件-CN201980048207.7在审
发明人：刘文琪;本松让 -专利权人：太阳控股株式会社
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：[课题]提供：具有高的灵敏度、且对得到溶解对比度和高温图案维持性优异的干燥涂膜和体现低的线热膨胀系数的固化膜有效的、感光性树脂组合物、以及使用该感光性树脂组合物的干膜和电子部件。[解决方案]本发明的感光性树脂组合物的特征在于，包含：(A)下述通式(1)或(2)所示的含酯基的聚酰亚胺前体；和，(B)感光剂。
感光性树脂组合固化电子部件

[发明专利]正型感光性树脂组合物、和使用它的固化膜、保护膜、绝缘膜、半导体装置以及显示装置-CN201080007723.4无效
发明人：长谷川匡俊 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2010-02-12 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物，是即使在对所述正型感光性树脂组合物施加热经历而进行脱水闭环的情况下，也可降低半导体晶片等衬底的翘曲的正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物通过在半导体晶片等衬底上进行涂布、曝光、显影而形成图案，含有以聚苯并唑前体为主成分的聚酰胺树脂；一种固化膜，是对所述含有以聚苯并唑前体树脂为主成分的聚酰胺树脂的正型感光性树脂组合物进行脱水闭环而得到的；本发明的课题还在于提供具有所述固化膜的保护膜、绝缘膜、半导体装置、显示装置。本发明为含有聚酰胺树脂(A)和感光剂(B)的正型感光性树脂组合物，该聚酰胺树脂含有通式(1)表示的重复单元(A-1)、通式(2)表示的重复单元(A-2)和/或通式(3)表示的重复单元(A-2)，由此解决上述课题
感光性树脂组合使用固化保护膜绝缘半导体装置以及显示装置

[发明专利]微电机结构的制造方法-CN201210552739.4有效
发明人：程晋广 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：在基片上形成非感光性聚酰亚胺膜层。采用光刻工艺并做进一步显影或干法刻蚀形成非感光性聚酰亚胺图形。去除光刻胶图形。对非感光性聚酰亚胺图形进行填充，并形成g层膜层。对g层膜层进行光刻刻蚀形成g层图形。采用显影去除非感光性聚酰亚胺图形，形成微机结构。本发明能简化工艺条件、降低工艺的复杂度和成本，采用简单工艺就能实现较大范围厚度变化的膜层制备、以满足不同微机结构对工艺上的需求。
微电机结构制造方法

[发明专利]感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法-CN200780013593.3有效
发明人：斋藤学;矶纯一;市川立也;大桥武志;赖华子;宫坂昌宏;熊木尚 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2007-04-13 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种顺次层叠支持体、感光层、保护膜而成的感光性元件，所述感光层由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及最大吸收波长为370～420nm的化合物的感光性树脂组合物形成，所述保护膜是以聚丙烯为主要成分
感光性元件图案形成方法印刷电路板制造

[发明专利]感光性树脂组合物及其应用-CN201510479292.6在审
发明人：曾靖渊 -专利权人：奇美实业股份有限公司
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：本发明提供了一种感光性树脂组合物及其应用。所述感光性树脂组合物为黑色矩阵用感光性树脂组合物，本发明还提供了使用该黑色矩阵所形成的彩色滤光片及液晶显示组件。上述感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、溶剂(D)、黑色颜料(E)、式(a)所示的化合物(F)及聚酯变性有机硅树脂(G)。本发明的黑色矩阵用感光性树脂组合物具有降低膜缩及降低粗糙度的优点。
感光性树脂组合及其应用

[发明专利]黑色感光性树脂组成物及其硬化膜，以及具有该硬化膜的滤色片及触控面板-CN201410498052.6有效
发明人：川端智也 -专利权人：日铁化学材料株式会社
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了黑色感光性树脂组成物及其硬化膜，以及具有该硬化膜的滤色片及触控面板。本发明的黑色感光性树脂组成物含有(A)既定的碱可溶性树脂，(B)具有至少1个乙烯性不饱和键结的光聚合性单体，(C)光聚合起始剂，(D)黑色颜料，以及(E)溶剂的黑色感光性组成物，其中，(E)溶剂含有于大气压下沸点为本发明提供了减压干燥时防止涂膜缺陷，可得到膜厚均匀性优异的涂膜，且得到使用于滤色片与触控面板的硬化膜的适合的黑色感光性树脂组成物。
黑色感光性树脂组成及其硬化以及具有滤色片面板

[发明专利]化合物、包含所述化合物的组合物、使用所述化合物的层及膜、彩色滤光片及偏光板-CN201911035204.8有效
发明人：金善大 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C07D487/22 文献下载
摘要：公开一种由化学式1表示的化合物、包含所述化合物的感光性树脂组合物及粘着剂组合物、使用所述感光性树脂组合物制造的感光性树脂层、使用所述粘着剂组合物制造的粘着剂膜、包括所述感光性树脂层的彩色滤光片以及包括所述粘着剂膜的偏光板
化合物包含组合使用彩色滤光偏光

[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、显示装置及图案形成方法-CN201811121141.3在审
发明人：石川达郎;松本直纯;盐田大 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供：能提供具有高遮光性的固化膜、并且通过低温下的烘烤而稳定地进行固化的感光性树脂组合物、使该感光性树脂组合物固化而形成的固化膜、具备该固化膜的显示装置、和使用前述的感光性树脂组合物的图案形成方法另外，针对具备发光元件的基板，提供不会对发光元件造成热损伤的遮光膜形成工艺。使用下述的感光性树脂组合物，其包含(A)粘结剂树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)着色剂、和(E)热固性化合物，其中，作为(D)着色剂，将(D1)炭黑及/或无机黑色颜料、与(D2)有机颜料组合
感光性树脂组合物固化膜着色剂发光元件图案形成显示装置固化光聚合性化合物光聚合引发剂热固性化合物无机黑色颜料有机颜料组合粘结剂树脂高遮光性热损伤遮光膜烘烤基板炭黑

[发明专利]具有大体积炔基侧基的二胺单体、聚苯并噁唑前体、感光性树脂组合物及其应用-CN202211588249.X有效
发明人：门秀婷;杜孟成;李铭新;王珂;王辉然 -专利权人：波米科技有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C07D209/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有大体积炔基侧基的二胺单体、聚苯并噁唑前体、感光性树脂组合物及其应用，该二胺单体中同时含有邻羟基苯胺基团和芳香型大体积炔基侧基，可以用于制备具有大体积炔基侧基的聚苯并噁唑前体树脂，进而可以制备正型感光性树脂组合物，该正型感光性树脂组合物显影时对比度优异；此外，由此感光性树脂组合物可制备聚苯并噁唑固化膜，由于二胺单体向树脂中引入了芳香型大体积炔基侧基，从而可以有效降低固化膜介电常数，炔基的交联同时可以改善固化膜的成膜性，提高其耐溶剂性和耐热性。
具有体积炔基侧基单体噁唑前体感光性树脂组合及其应用

[发明专利]正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置、显示器装置-CN200980128457.8有效
发明人：寺山美树 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种高感光度且即使以低温进行固化时耐热性及可靠性仍优越的正型感光性树脂组合物。又，本发明的目的在于提供一种高感光度且即使以低温进行固化时耐热性及可靠性仍优越的固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置、显示器装置。本发明的正型感光性树脂组合物含有聚酰胺系树脂与感光剂，其特征在于，上述聚酰胺系树脂具有特定的结构。又，本发明固化膜的特征在于，由上述正型感光性树脂组合物所构成。又，本发明的保护膜及绝缘膜的特征在于，由上述固化膜构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述固化膜。
感光性树脂组合固化保护膜绝缘使用它们半导体装置显示器