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- [发明专利]感光性组合物-CN202210701371.7在审
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佐藤梓实
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东京应化工业株式会社
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2022-06-20
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2023-01-10
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G03F7/027
- 本发明涉及感光性组合物。本发明的课题是提供用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物、使用该感光性组合物的光学元件的制造方法、和光学元件,所述感光性组合物能够通过涂布于透镜并将所形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影从而形成具有优异的遮光性的遮光层本发明的解决手段为使用下述感光性组合物,其为用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物,所述感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D),遮光剂(D)包含实施了导入酸性基团的处理的炭黑
- 感光性组合
- [发明专利]感光性树脂组合物及层叠体-CN200880010895.X有效
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秦洋介
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旭化成电子材料株式会社
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2008-03-06
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2010-02-17
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G03F7/031
- 本发明提供了一种能用碱性水溶液显影的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的感光性树脂层叠体、使用该感光性树脂层叠体在基板上形成抗蚀图案的方法以及该抗蚀图案的用途,所述感光性树脂组合物在干膜制作时具有良好的相容性,对i射线和h射线两种光源显示了同等的感光度,而且分辨率和附着力优异。所述感光性树脂组合物包含:(a)20~90质量%的包含含α,β-不饱和羧基的单体作为共聚成分、酸当量为100~600、重均分子量为5000~500000的热塑性共聚物,(b)5~75质量%的具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体
- 感光性树脂组合层叠
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