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[发明专利]用于制造惰性气体氛围的方法、惰性化设备和惰性气体箱-CN202210511868.2在审
发明人： J·利奥波德;K·科赫;G·施普赖策;C·格罗塞尔;P·哈本沙登;H·科尔布尔;H·魏萨切尔 -专利权人：布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B01J19/14 文献下载
摘要：用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围的方法，包括以下步骤：‑提供所述惰性气体箱100，所述惰性气体箱被气体充注，该气体应通过惰性气体被替换，以及‑将所述惰性气体供应到所述惰性气体箱100中，直到将待替换气体从所述惰性气体箱100中移除，并且所述惰性气体箱100被充注所述惰性气体，其中，‑所述惰性气体的供应以这样高的、分布在所述惰性气体箱100的横截面上的体积流进行，使得产生所述惰性气体的定向的置换流1，所述置换流将所述待替换气体从所述惰性气体箱也公开了惰性化设备200，配置为用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围，和一种配备有惰性化设备200的惰性气体箱。
用于制造惰性气体氛围方法惰性设备

[实用新型]一种更换钢瓶气动隔离装置-CN201721766872.4有效
发明人：黄金海 -专利权人：上海弗川自动化技术有限公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： F17C13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种更换钢瓶气动隔离装置，包括惰性气体隔离管路，惰性气源通过惰性气体隔离管路与钢瓶接口连通，惰性气体隔离管路包括惰性气体输送管道、惰性气体控制管道，惰性气体输送管道与惰性气体控制管道密闭连通，惰性气体隔离管路通过惰性气体输送管道与惰性气源密闭连通，惰性气体隔离管路通过惰性气体控制管道与钢瓶接口密闭连通，惰性气体输送管道上设有微漏阀，惰性气体控制管道上沿进气方向设有单向进气阀、进气控制阀，惰性气源输送的惰性气体依次通过微漏阀本新型采用惰性气体隔离管路在钢瓶接口处通入惰性气体，具有更换钢瓶后接入气体纯度高、无杂质的特点。
惰性气体隔离管路钢瓶接口控制管道输送管道惰性气源密闭连通钢瓶单向进气阀进气控制阀气动隔离微漏本实用新型进气方向气体纯度杂质颗粒混入喷出连通

[发明专利]具有惰性气体环境的模片键合装置-CN201610341324.0有效
发明人：刘少荣;洪健益;欧玉璋;黎永钊;李敏;吴世源 -专利权人：先进科技新加坡有限公司
申请日： 2016-05-20 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种模片键合装置包括：第一惰性气体容器，该第一惰性气体容器具有第一惰性气体浓度；以及封闭在所述第一惰性气体容器内的第二惰性气体容器，该第二惰性气体容器具有第二惰性气体浓度。第二惰性气体浓度比第一惰性气体浓度高。该模片键合装置还包括：键合头，该键合头位于所述第二惰性气体容器中用于接收待键合模片；以及第三惰性气体容器，该第三惰性气体容器具有与所述第一惰性气体容器和所述第二惰性气体容器分离并且能够定位基板以键合模片的惰性气体环境所述键合头操作成在所述第二惰性气体容器内的第一位置和所述第三惰性气体容器内的第二位置之间移动所述模片，以将所述模片键合到位于所述第三惰性气体容器中的所述基板上。
具有惰性气体环境模片键合装置

[发明专利]一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴-CN201910397648.X有效
发明人：彭博;李檀 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B05B7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴，包括喷嘴外壳及内芯，内芯上开设有液体通道及惰性气体旋转内、外环腔，惰性气体旋转内、外环腔分别连通有惰性气体空间，惰性气体空间开设于内芯上或由内芯与喷嘴外壳内壁之间形成；内芯上开设有用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转内环腔以及用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转外环腔的布风孔，惰性气体空间内的惰性气体通过布风孔呈旋转状向惰性气体旋转内、外环腔内进气；喷嘴外壳上分别开设有向惰性气体旋转内、外环腔通入惰性气体的惰性气体进气口。本发明通过改变惰性气体旋转方向产生双螺旋或同向螺旋气流及控制惰性气体加速度，同时配合清洗化学液流量，可以达到既对晶圆损伤小，又可以高效清洗晶圆的目的。
一种表面颗粒清洗喷嘴

[实用新型]晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴-CN201920689581.2有效
发明人：彭博;李檀 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B05B7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴，包括喷嘴外壳及内芯，内芯上开设有液体通道及惰性气体旋转内、外环腔，惰性气体旋转内、外环腔分别连通有惰性气体空间，惰性气体空间开设于内芯上或由内芯与喷嘴外壳内壁之间形成；内芯上开设有用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转内环腔以及用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转外环腔的布风孔，惰性气体空间内的惰性气体通过布风孔呈旋转状向惰性气体旋转内、外环腔内进气；喷嘴外壳上分别开设有向惰性气体旋转内、外环腔通入惰性气体的惰性气体进气口。本实用新型通过改变惰性气体旋转方向产生双螺旋或同向螺旋气流及控制惰性气体加速度，同时配合清洗化学液流量，可以达到既对晶圆损伤小，又可以高效清洗晶圆的目的。
惰性气体外环腔内芯喷嘴外壳连通清洗本实用新型布风孔晶圆惰性气体进气口螺旋气流液体通道化学液内环腔双螺旋旋转状圆表面喷嘴进气内壁双旋同向有向种晶损伤配合

[实用新型]精炼炉开口密封结构-CN202022725555.6有效
发明人：刘晓峰;刘渝;陈露涛;张朝映 -专利权人：重庆钢铁股份有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： F16J15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种精炼炉开口密封结构，包括用于通入惰性气体的惰性气体管道，炉体上开设有开口，所述惰性气体管道绕开口设置，所述惰性气体管道上均匀开设有若干出气孔；当所述惰性气体管道内通入惰性气体后，惰性气体从出气孔出去形成气幕以隔绝炉体外部空气从开口进入由于本方案中惰性气体管道分布设置在开口内，当惰性气体通入到惰性气体管道内时，惰性气体形成气幕封闭开口，避免外界空气从开口进入到炉内而影响钢水质量。
精炼炉开口密封结构

[发明专利]气体回收设备-CN96110281.0无效
发明人：野沢成祯;富田伸二 -专利权人：缔酸株式会社
申请日： 1996-07-16 - 公布日： 1997-05-21 - 主分类号： F25J3/08 文献下载
摘要：本发明的气体回收设备有一CVD装置，它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分，这些通道都与CVD装置相连；还设有废气排放部分，废气循环部分，冷却部分以及回收部分；稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体的气体；供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分；惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。
气体回收设备

[实用新型]具有惰性气体压缩罐的吹瓶机-CN201520540525.4有效
发明人：张本汉 -专利权人：信丰正天伟电子科技有限公司
申请日： 2015-07-24 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： B29C49/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有惰性气体压缩罐的吹瓶机，所述吹瓶机包括吹瓶机主机，还包括换向阀，所述换向阀的惰性气体出口以及空气出口连接至所述吹瓶机主机的进气接管，所述换向阀的惰性气体入口以及空气入口分别连接至惰性气体压缩罐和空气压缩罐；在所述空气入口与所述空气压缩罐之间设置有空气阀门，在所述惰性气体入口与所述惰性气体压缩罐之间设置有惰性气体阀门。本实用新型，当所述惰性气体阀门打开并且关闭空气阀门时，惰性气体经过换向阀后在惰性气体出口流出至吹瓶机进行吹瓶；当关闭惰性气体阀门并打开空气阀门时，惰性气体出口密封，空气进入换向阀后在空气出口流出至吹瓶机
具有惰性气体压缩吹瓶机

[实用新型]一种氩弧焊焊枪用惰性气体喷射架-CN202121814216.3有效
发明人：张小君;杨秋龙;缪海卫;张彦 -专利权人：欧米尼自动化科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： B23K9/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种氩弧焊焊枪用惰性气体喷射架，包括主架体，所述主架体上设有喷枪安装架和惰性气体喷射组件，所述惰性气体喷射组件包括嵌入主架体下表面的惰性气体喷射仓和架设在主架体上表面上的惰性气体供气管，所述惰性气体供气管连通惰性气体喷射仓，所述喷枪安装架包括喷枪容置环和喷枪安装板，本实用新型的优点在于在喷枪安装架前前置了惰性气体喷射仓，可以在焊接加工的过程中实时对焊接部位进行惰性气体喷射降温，降温效果均匀，且可以对焊接部位实施有效的惰性气体保护
一种氩弧焊焊枪惰性气体喷射

[实用新型]换向阀以及具有惰性气体压缩罐的吹瓶机-CN201520540652.4有效
发明人：张本汉 -专利权人：信丰正天伟电子科技有限公司
申请日： 2015-07-24 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： F16K11/044 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种结构稳定的用于吹瓶机的换向阀以及具有惰性气体压缩罐的吹瓶机，所述吹瓶机包括吹瓶机主机，还包括换向阀，所述换向阀的惰性气体出口以及空气出口连接至所述吹瓶机主机的进气接管，所述换向阀的惰性气体入口以及空气入口分别连接至惰性气体压缩罐和空气压缩罐；在所述空气入口与所述空气压缩罐之间设置有空气阀门，在所述惰性气体入口与所述惰性气体压缩罐之间设置有惰性气体阀门。本实用新型，当所述惰性气体阀门打开并且关闭空气阀门时，惰性气体经过换向阀后在惰性气体出口流出至吹瓶机进行吹瓶；当关闭惰性气体阀门并打开空气阀门时，惰性气体出口密封，空气进入换向阀后在空气出口流出至吹瓶机
换向以及具有惰性气体压缩吹瓶机

[实用新型]一种超临界水氧化系统-CN202020221417.1有效
发明人：王钊;程乐明;王青 -专利权人：新地环保技术有限公司
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： C02F1/72 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超临界水氧化系统，属于超临界水氧化技术领域，包括反应器、氧气管线、惰性气体管线和惰性气体稀释管线，氧气管线上设有氧气流量计量机构，氧气管线的输出端连接反应器，惰性气体管线上设有惰性气体流量计量机构，惰性气体管线的输出端连接氧气管线，惰性气体稀释管线的两端分别连接惰性气体管线和氧气管线的中部，惰性气体稀释管线用于向氧气管线内充填惰性气体，惰性气体稀释管线内惰性气体流量小于氧气管线内氧气流量。本实用新型提供的一种超临界水氧化系统，具有通过向氧气管线内充填少量惰性气体，调节氧气进入反应器的浓度，维持反应器内温度和压力的稳定的技术效果。
一种临界氧化系统

[发明专利]灭火系统及方法-CN201010150966.5有效
发明人： A·查塔维;J·G·加特索尼德斯;R·G·登斯特;T·辛普森;D·L·巴西勒克;R·E·格拉泽 -专利权人：基德科技公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： A62C37/36 文献下载
摘要：一种灭火系统包括构造成提供第一惰性气体输出的高压惰性气体源和构造成提供第二惰性气体输出的低压惰性气体源。分配网络与所述高压和低压惰性气体源相连以分配所述第一和第二惰性气体输出。控制器操作性地至少与所述分配网络相连，以控制如何分别分配所述第一和第二惰性气体输出。
灭火系统方法

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法、程序及气体供给系统-CN202080047667.0在审
发明人：永冨佳将;漆原美香;佐佐木隆史 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：基板处理装置包括：处理气体喷嘴，向处理室内供给处理气体；惰性气体喷嘴，以处理气体喷嘴为中心沿周向夹着的方式分别被设置2个以上，并将惰性气体供给到处理室内；处理气体供给部，向处理气体喷嘴供给处理气体；惰性气体供给部，向各个惰性气体喷嘴供给惰性气体；以及控制部，构成为能够分别控制从处理气体供给部向处理气体喷嘴供给的处理气体的流量和从惰性气体供给部向各个惰性气体喷嘴供给的各惰性气体的流量。
处理装置半导体制造方法程序气体供给系统

[发明专利]自加热高温压缩淬火实验用惰性气体保护方法及装置-CN201110092544.1无效
发明人：刘香茹;周旭东;李小红;王辉;张瑞州 -专利权人：河南科技大学
申请日： 2011-04-13 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种自加热高温压缩淬火实验用惰性气体保护方法及专用于实施该方法的保护装置，其是在在热力物理模拟实验机用于夹装金属试样的压头外围套装一个空心套管，该空心套管套孔的两端具有用于与热力物理模拟实验机两压头的外周面对应吻合配合的内壁面，通过该空心套管与两压头配合形成与外界隔离的惰性气体保护空间，在空心套管上设有与所述惰性气体保护空间连通的惰性气体通道，通过惰性气体通道不间断的向所述惰性气体保护空间内通入惰性气体，从而在该惰性气体保护空间内形成对金属试样进行惰性气体保护的惰性气体保护环境本发明的结构简单，操作简便，减少了惰性气体消耗，增加了实验效率。
加热高温压缩淬火实验惰性气体保护方法装置

[实用新型]自加热高温压缩淬火实验用惰性气体保护装置-CN201120107762.3无效
发明人：刘香茹;周旭东;李小红;王辉;张瑞州 -专利权人：河南科技大学
申请日： 2011-04-13 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自加热高温压缩淬火实验用惰性气体保护装置，其是在在热力物理模拟实验机用于夹装金属试样的压头外围套装一个空心套管，该空心套管套孔的两端具有用于与热力物理模拟实验机两压头的外周面对应吻合配合的内壁面，通过该空心套管与两压头配合形成与外界隔离的惰性气体保护空间，在空心套管上设有与所述惰性气体保护空间连通的惰性气体通道，通过惰性气体通道不间断的向所述惰性气体保护空间内通入惰性气体，从而在该惰性气体保护空间内形成对金属试样进行惰性气体保护的惰性气体保护环境本实用新型的结构简单，操作简便，减少了惰性气体消耗，增加了实验效率。
加热高温压缩淬火实验惰性气体保护装置

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