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- [发明专利]微细加工处理剂、和微细加工处理方法-CN202180002940.2有效
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山崎阳介;堀上健太;伊达和哉;长谷部类;二井启一;西田哲郎
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斯泰拉化工公司
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2021-06-11
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2023-06-30
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C09K13/08
- 本发明提供对至少具有含硅绝缘膜的被处理物，在抑制微粒的残留的同时能够进行良好的微细加工的微细加工处理剂和微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂是用于对至少具有含硅绝缘膜的被处理物进行微细加工的微细加工处理剂，其特征在于，包含以下的化学式(1)所示的化合物、氟化氢、氟化铵和水，M+base:Sub>2‑Rf) (1)(化学式(1)中，Rf表示碳原子数为1～4的全氟烷基，M+表示氢离子或铵离子)上述化合物的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.001质量％以上且0.5质量％以下，上述氟化氢的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.05质量％以上且25质量％以下，上述氟化铵的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.5质量％以上且40质量
- 微细加工处理方法
- [发明专利]高频微细测试治具及其制作方法-CN202111347882.5在审
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殷岚勇;高宗英
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苏州韬盛电子科技有限公司
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2021-11-15
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2022-03-01
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G01R1/04
- 本发明涉及一种高频微细测试治具，包括导向框、治具本体、弹簧针和治具盖板，所述治具盖板盖合在治具本体的一侧，所述导向框卡在治具本体的另一侧，所述治具本体和治具盖板上对应设置若干微细针孔，所述微细针孔的内壁涂附微弧氧化绝缘涂层，所述弹簧针的两端分别插入治具本体和治具盖板上的微细针孔内，并通过微弧氧化绝缘涂层与治具本体和治具盖板绝缘。本发明高频微细测试治具采用金属材质，满足高频传输的需求；在治具本体和治具盖板上的微细针孔内壁上通过微弧氧化涂覆绝缘涂层，大大减少制造成本和生产周期；涂层厚度可以达到小于等于10μm，如此使得微细针孔的间距小于等于
- 高频微细测试及其制作方法
- [发明专利]水处理装置-CN201010209373.1有效
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日高政隆;隅仓岬;武本刚;五十岚民夫;前田勇司;田所秀之
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株式会社日立制作所
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2010-06-21
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2010-12-29
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C02F1/78
- 本发明提供一种使用了臭氧微细气泡的经济性和可靠性高并提高起动时的处理水的水质可靠性的水处理装置。在将被处理水向迂流式的接触槽供给而使其与臭氧微细气泡反应，从接触槽向利用处进行配水，并将迂流流路最上游段的被处理水导入微细气泡生成装置，将产生微细气泡的被处理水注入接触槽的循环流动中，在装置起动时，将环路切换到微细气泡生成装置的吸入侧而使迂流流路最下游段的处理水循环由此，使停止时残留在接触槽内的处理水或在初期的充水后贮存在接触槽内的被处理水在微细气泡生成装置中循环，通过微细气泡处理后进行配水，能够提高处理水的水质可靠性。
- 水处理装置
- [发明专利]一种微细结构的抛光方法及装置-CN202010492333.6有效
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郭江;张鹏飞;朱志成
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大连理工大学
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2020-06-03
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2022-04-08
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B24B31/00
- 一种微细结构的抛光方法及装置，基于剪切增稠与化学复合效应实现，装置包括抛光系统、抛光液循环装置、振动装置和角度调节装置。方法利用化学腐蚀和非牛顿流体抛光液的剪切增稠效应实现对微细结构工件的腐蚀抛光。具有微细结构的工件表面首先被腐蚀，利用垂直/倾斜振动下抛光液的剪切增稠作用实现对微细结构工件的抛光，通过调控工件振动倾角实现最高效率抛光。本发明可实现对微细结构工件的高效抛光，克服微细结构工抛光过程中表面质量与面形精度不能兼顾的难题，能有效消除表面缺陷。抛光后的微细结构工件具有纳米级表面粗糙度和亚微米级面形精度。
- 一种微细结构抛光方法装置
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