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[实用新型]微机械超声换能器-CN201821180891.3有效
发明人： M·H·莫蒂安纳加尔;P·斯迈斯 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本申请涉及微机械超声换能器。混合微机械超声换能器(102)包括压电微机械换能器(202)和电容微机械换能器(204)。电容微机械换能器(204)与压电微机械换能器(202)垂直堆叠。压电微机械换能器(202)和电容微机械换能器(204)包括公共共享电极(210)。
微机械换能器微机械超声换能器电容压电垂直堆叠共享电极申请

[发明专利]基于直流偏置的接收压电微机械超声换能器系统及方法-CN202110931604.8在审
发明人：娄亮;吴志鹏 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种基于直流偏置的接收压电微机械超声换能器系统及方法，通过设置直流信号源，且使得直流信号源的相对两端分别连接于接收压电微机械超声换能器的顶电极引出端及底电极引出端，从而可通过直流信号源提供直流偏置信号，使接收压电微机械超声换能器产生初始应力形变，改变压电微机械超声换能器的性能参数，使接收压电微机械超声换能器在不同偏置电压下的带宽相互重叠，实现单一阵列覆盖较大的带宽。本发明可在不改变接收压电微机械超声换能器基本结构的条件下，实现对接收压电微机械超声换能器的性能参数的调节，且可增加接收压电微机械超声换能器的带宽，降低了接收压电微机械超声换能器系统的复杂度及成本。
基于直流偏置接收压电微机超声换能器系统方法

[发明专利]压电微机械超声换能器背衬结构-CN202010810942.1有效
发明人：陈余;刘利芳;邢占强;计炜梁;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角本发明的压电微机械超声换能器背衬结构，倾斜部设置倾斜面，传播的声波经过填充部和倾斜部吸收的同时，在倾斜面被反射，减少反射回压电薄膜的声波，提升压电微机械超声换能器的分辨率。压电微机械超声换能器阵列中，多个倾斜面与其相对应的压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间的夹角相一致，使压电微机械超声换能器阵列各个单元间具有相同的背衬衰减特性，提升压电微机械超声换能器阵列各单元的一致性
压电微机超声换能器背衬结构

[实用新型]一种新型医用检测探头-CN202220338159.4有效
发明人：尹峰;李晖 -专利权人：浙江仙声科技有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型医用检测探头，包括外壳、第一压电微机械超声换能器、第二压电微机械超声换能器及电缆，第一压电微机械超声换能器和第二压电微机械超声换能器连接于外壳的内部并位于外壳靠近人体组织的一端，电缆分别电连接于第一压电微机械超声换能器及第二压电微机械超声换能器并由外壳远离人体组织的一端伸出，其中，第一压电微机械超声换能器的压电层的压电材料为PZT，用于发射和接收超声波信号，第二压电微机械超声换能器的压电层的压电材料为本实用新型的医用检测探头对超声波信号具备较好的灵敏度，有效提高人体组织的成像质量。
一种新型医用检测探头

[发明专利]基于直流偏置的压电微机械超声换能器系统及调节方法-CN202110930999.X在审
发明人：娄亮;吴志鹏 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种基于直流偏置的压电微机械超声换能器系统及调节方法，通过设置具有直流信号源及交流信号源的复合信号源，且使得直流信号源及交流信号源的相对两端分别连接于压电微机械超声换能器的顶电极引出端及底电极引出端，从而可通过直流信号源提供直流偏置信号，使压电微机械超声换能器产生初始应力形变，以及通过交流信号源提供交流激励信号，使压电微机械超声换能器产生超声信号。本发明将直流信号源直接施加于压电微机械超声换能器的顶电极引出端及底电极引出端，可在不改变压电微机械超声换能器基本结构的条件下，实现对压电微机械超声换能器的性能参数的调节，降低压电微机械超声换能器系统的复杂度
基于直流偏置压电微机超声换能器系统调节方法

[发明专利]基于MEMS超声换能器的超声内窥镜及其制备方法-CN202310277457.6在审
发明人：苗斌;李加东;商文玲;王丹芮;王光华;张玉超 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种基于MEMS超声换能器的超声内窥镜及其制备方法，超声内窥镜包括超声换能器，所述超声换能器包括多面体和微机械压电超声换能器阵列，所述微机械压电超声换能器阵列设置于所述多面体的侧壁上。本发明不仅可以在微机械压电超声换能器阵列的频率控制中实现更高的灵活性，还提供一种多面体排布，在实现环形面振成像效果的同时，极大的降低加工难度，降低生产成本。
基于 mems 超声换能器内窥镜及其制备方法

[发明专利]基于压电微机械超声换能器的微波致热超声成像系统-CN202310102916.7在审
发明人：吴涛;王雄;王一玮;张乐嘉;蔡俊翔;王保胜 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于压电微机械超声换能器的微波致热超声成像系统，微波源发出的脉冲微波能量通过微波波导传输至被测目标物体；压电微机械超声换能器固定于旋转支架机构上，压电微机械超声换能器与被测目标物体同一平面，正对目标物体中心；旋转支架机构旋转，带动压电微机械超声换能器环绕被测目标物体旋转采集被测目标物体各个位置的超声波信号，超声波信号送计算机，计算机输出被测目标物体三维图像。使用压电微机械超声换能器作为传感器，用于非侵入式体外生物医学成像，实现热声成像技术普及于临床应用和产品上。
基于压电微机超声换能器微波成像系统

[发明专利]多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用-CN202211285363.5在审
发明人：吴涛;刘康福;陆瑶卿 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明的一个技术方案是提供了一种多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器。本发明的另一个技术方案是提供了一种前述的多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器的应用。本发明提供了一种多电极驱动的基于高阶模式的压电微机械超声换能器。高阶模式的压电微机械超声换能器解决了一阶模式的压电微机械超声换能器的发射声压低，发射效率低，抗串扰能力差的问题，因而高阶模式的压电微机械超声换能器在形成大规模高方向性的阵列上具有显著优势。
电极驱动模式压电微机超声换能器应用

[发明专利]一种压电微机械超声换能器封装结构及其封装方法-CN202310335081.X在审
发明人：吴国强;刘崇斌;王向阳 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明属于水下传感器技术领域，公开了一种压电微机械超声换能器封装结构及其封装方法，本发明中的压电微机械超声换能器包括带有贯穿空腔的硅衬底层、位于贯穿空腔上方的换能器薄膜结构，本发明将压电微机械超声换能器固定在载板上，将载板固定在第二封装介质上，第二封装介质围封的空间形成第一腔室，利用第一封装介质充满第一腔室并完全包覆压电微机械超声换能器形成第一封装单元，第一封装介质为声阻匹配的液体介质，第二封装介质为透声固态介质本发明能够提高压电微机械超声换能器在水下的耐压能力。
一种压电微机超声换能器封装结构及其方法

[实用新型]指纹感测装置-CN202120738009.8有效
发明人：王地宝;范成至 -专利权人：神盾股份有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：驱动电路于发射期间驱动微机械超声波换能器阵列发射平面超声波至手指而产生反射超声波信号。微机械超声波换能器于接收期间接收反射超声波信号而产生多个感测电流信号。感测电路感测微机械超声波换能器输出的感测电流信号而产生指纹感测信号。
指纹装置

[发明专利]基于多振膜耦合的压电微机械超声换能器-CN202011485094.8有效
发明人：孙成亮;王磊;吴志鹏;朱伟;胡博豪;林炳辉;占惠花 -专利权人：武汉大学
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多振膜耦合的压电微机械超声换能器。该MEMS压电微机械超声换能器包括沉积于衬底上面的膜片以及活塞振膜。所述活塞振膜可替代MEMS压电微机械超声换能器的压电振膜，将振动模式从传统的高斯模态转换为活塞模式。工作在活塞模式下，换能器可以推动更多的空气，提高输出功率。活塞振膜可以改变换能器的刚度和质量，从而实现频率的调节。此外，通过引入活塞振膜，换能器可以同时工作在多种模态下，并且通过活塞振膜与MEMS压电微机械超声换能器压电膜片之间的互辐射作用，极大地提升了换能器的带宽。
基于多振膜耦合压电微机超声换能器

[发明专利]用于CMOS传感器上的超声换能器的压力端口-CN201980029781.8有效
发明人：基思·G·菲费;刘建伟;杨君宇;约瑟夫·卢茨基 -专利权人：蝴蝶网络有限公司
申请日： 2019-05-02 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H04R7/02 文献下载
摘要：描述了具有压力端口的微机械超声换能器。该微机械超声换能器可以包括被配置成在腔上方振动的柔性膜。在某些情况下，腔可以被膜本身密封。压力端口可以提供到腔的通路，从而控制腔压力。在一些实施方式中，提供了一种包括微机械超声换能器阵列的超声装置，其具有用于超声换能器中的至少一些的压力端口。压力端口可以被用来控制整个阵列上的压力。
用于 cmos 传感器超声换能器压力端口

[发明专利]指纹感测装置-CN202110390381.9在审
发明人：王地宝;范成至 -专利权人：神盾股份有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：驱动电路于发射期间驱动电容性微机械超声波换能器阵列发射平面超声波至手指而产生反射超声波信号。电容性微机械超声波换能器于接收期间接收反射超声波信号而产生多个感测电流信号。感测电路感测电容性微机械超声波换能器输出的感测电流信号而产生指纹感测信号。
指纹装置

[发明专利]微型微机械超声波测距仪-CN201580046943.0在审
发明人： D.霍斯利;A.格德斯;M-H.江;R.普里比拉;S.谢尔顿 -专利权人：啁啾微系统公司
申请日： 2015-07-31 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：一种微型测距仪，包括壳体、微机械超声波换能器和信号处理电路。壳体包括基板和盖。壳体具有一个或多个孔，并且微机械超声波换能器安装在孔上。微机械超声波换能器可以用作发送器和接收器二者。集成电路被配置为驱动换能器以发送声学信号，检测返回信号，并且确定发出声学信号与检测到返回信号之间的飞行时间。
微型微机超声波测距仪

[发明专利]基于微机械压电超声波换能器的流量计及渡越时间测量装置-CN201811594843.3在审
发明人：谢金;陈旭颖;杨磊;杨邓飞;刘鑫鑫 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G01F1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微机械压电超声波换能器的流量计及渡越时间测量装置。在待测管道径向斜对侧安装有相互独立的超声波发射与接收模块，且两个模块由待测流体隔开；所述的超声波发射模块和超声波接收模块均采用微机械压电超声波换能器阵列模块；所述微机械压电超声波换能器阵列模块底部为基底层，基底层上设有换能器单元，换能器单元由底电极、压电层和上电极逐层叠加而成，底电极和上电极分别通过连接线与不同的接线端相连。本发明通过布置在管道径向斜对方向的两块独立的微机械压电超声波换能器阵列先后沿着流体的顺流方向和逆流方向分别互相发射与接收超声波脉冲，测量超声波顺逆流传播的渡越时间，用于计算流体流速和流量。
压电超声波微机械换能器阵列流量计渡越时间测量换能器单元管道径向电极底电极换能器基底层流体斜对超声波发射模块超声波接收模块连接线测量超声波超声波发射超声波脉冲接收模块流体流速逆流方向逐层叠加接线端压电层隔开顺流逆流发射传播

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