“微振镜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果822716个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基于FPGA的振镜控制方法、系统及其OCT设备-CN202310005627.5在审
发明人：梁姗姗;翟想想;徐维嘉;刘新;郑海荣 -专利权人：深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本申请实施例公开了基于FPGA的振镜控制方法、系统及其OCT设备，基于对FPGA开发板的改进，实现对振镜的运动轨迹波形的实时配置，提升振镜控制的灵活性。振镜控制方法用于FPGA开发板中，FPGA开发板上设备有微控制单元MCU、通信互联单元和信号生成单元，包括：在使用FPGA开发板输出振镜的运动轨迹波形过程中，通过MCU实时接收振镜的波形数据，其中波形数据用于配置振镜的不同运动轨迹波形
基于 fpga 控制方法系统及其 oct 设备

[发明专利]一种集成温度传感器的一维电磁扫描微镜-CN202310360436.0在审
发明人：万飞;周宇 -专利权人：中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成温度传感器的一维电磁扫描微镜，包括：微镜单元、驱动线圈和温度传感器，所述驱动线圈和所述温度传感器均设于所述微镜单元上；所述驱动线圈用于驱动所述微镜单元振动，所述温度传感器用于监测所述微镜单元的温度；所述微镜单元包括反射镜、驱动框架和固定梁；所述驱动框架上设有容置腔以及环绕所述容置腔的驱动区域，所述反射镜设在所述容置腔内，且所述反射镜通过所述固定梁与所述驱动框架连接；所述驱动框架两侧固定有一对同轴线的转动轴，所述转动轴轴线将所述驱动区域和所述反射镜分为上下两部分；本发明能够将温度传感器集成到微镜表面，实现温度监测，同时该振镜结构能够实现大角度FOV。
一种集成温度传感器电磁扫描

[实用新型]组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备-CN202221925068.7有效
发明人：赵裕兴;袁浩;何雄飞 -专利权人：苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁本实用新型光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直振镜和水平振镜，配合多轴组合运动平台，实现高精度三维立体空间的多面体微加工。
组合式三维激光刻蚀检测设备

[发明专利]一种单振镜扫描光场成像系统和方法-CN202211739989.9在审
发明人：杨懿;王原;郭莉;邵文冲 -专利权人：浙江荷湖科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单振镜扫描光场成像系统和方法，方法包括针对不同待测样品选择系统扫描模式；根据扫描模式得到微透镜阵列中心视图理论点扩散函数；待测样品的发射光通过物镜后透射经过二向色镜，通过镜筒透镜进行像差校正，通过第二滤光片对发射光进行滤波，通过第一中继系统对光路进行调节，根据扫描模式控制二维振镜偏转角度，并通过微透镜阵列、第二中继系统对发射光角度进行角度调节后成像到相机，得到样本三维信息；根据微透镜阵列中心视图理论点扩散函数本发明通过加入二维振镜的扫描方式来提高光场成像系统的分辨率，能够高速获取高分辨率三维图像信息。
一种单振镜扫描成像系统方法

[发明专利]一种基于低频振动探针的颗粒操控装置和方法-CN202111652272.6有效
发明人：黄俊;刘家铭;龚佳群;王璐 -专利权人：江苏大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于低频振动探针的颗粒操控装置和方法，包括至少一个压电悬臂梁振子、至少一个金属探针、容器、显微镜、计算机和信号发生器；所述压电悬臂梁振子与信号发生器连接；所述金属探针的一端与压电悬臂梁振子连接，另一端插入容器的颗粒流体中，所述显微镜位于容器的下方，所述容器的底部为透明材质制成的，显微镜与计算机连接，显微镜用于观察和采集金属探针对颗粒的操控信息，并传送给计算机。本发明利用低频振动进行微颗粒操控，基于流体的低速涡流对被控颗粒进行驱动，可实现对微纳米级微颗粒的捕捉、移动、转移和释放，具有结构简单、操作方便、对被操控颗粒无选择性，对于活性颗粒或细胞的无伤操控等优点。
一种基于低频振动探针颗粒操控装置方法

[实用新型]一种照明装置和投影设备-CN202220245659.3有效
发明人：侯乃文 -专利权人：青岛海信激光显示股份有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G03B21/00 文献下载
摘要：该照明装置包括安装于壳体内的色轮组件、镜片组件、数字微镜晶片以及振镜。壳体具有进光孔以及出光孔，镜片组件的入光侧朝向进光孔。镜片组件包括棱镜组件，棱镜组件用于接收镜片组件入光侧的光束，并使光束依次经过棱镜组件、数字微镜晶片、棱镜组件以及振镜，且振镜的出光侧朝向出光孔。
一种照明装置投影设备

[发明专利]一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜-CN201510968367.7有效
发明人：孙明;宋秀敏 -专利权人：西安励德微系统科技有限公司
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种单侧不等高梳齿驱动微扭转镜，其器件层用于制作微扭转镜的可动镜面结构及其上的反射层、扭转支承梁及其固定锚点、动静梳齿对、静梳齿锚点及焊盘等结构；基底层用于制作背腔；埋氧层用于器件层和基底层的电隔离为了克服其于SOI制作的等高梳齿驱动微扭转镜起振方向不可控，且通过电容检测无法识别方向的问题，本发明提出了通过改变梳齿的厚度，把扭转支承梁一侧的动梳齿和静梳齿制作成不等高梳齿对，另一侧保持为等高梳齿对，使扭转支承梁两侧梳齿对电容最大值位置偏离扫描镜的结构平衡位置，以实现制作出的微扭转镜起振方向确定，并且给通过电容检测提供方向信息，从而实现闭环控制。
梳齿微扭转镜不等高支承梁电容检测基底层器件层制作驱动等高扭转起振最大值位置闭环控制方向确定方向信息结构平衡镜面结构电隔离反射层固定锚埋氧层扫描镜电容背腔焊盘可动锚点偏离

[实用新型]一种高速激光微纳加工装置-CN202223262820.7有效
发明人：史强;周立海;朱林伟 -专利权人：烟台魔技纳米科技有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本申请公开了一种高速激光微纳加工装置，主要涉及激光微纳加工技术领域，用以解决现有装置微纳加工效率较低的问题。包括：激光器，激光器与声光调器对接，声光调器与第一分束器相连，第一分束器分别与转镜系统相连，转镜系统与第一聚焦透镜相连，第一聚焦透镜与第二聚焦透镜相连，第二聚焦透镜与振镜相连，振镜与第三聚焦透镜相连，第三聚焦透镜与第四聚焦透镜相连，第二分束器分别与物镜和显微成像模块相连，物镜与三维移动台对接，显微成像模块和三维移动台分别与控制卡相连，控制卡分别与转镜系统、界面探测模块及计算机相连。本申请通过上述装置提高了微纳加工效率。
一种高速激光加工装置

[发明专利]微扫描式全息成像器-CN202010401923.3在审
发明人：王广军;余为伟 -专利权人：荆门市探梦科技有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G03B35/18 文献下载
摘要：本发明涉及3D成像领域，公开了一种微扫描式全息成像器，包括分别设置于全息成像器内部的二维成像元件、至少一个振镜、成像镜组和焦深扫描机构；振镜的位置与二维显示元件相对应，用于对光线进行光学转化并形成有等效像面；成像镜组的位置与二维成像元件相对应，用于对光线进行光学转化并形成有二维画面；焦深扫描机构与振镜连接，用于控制振镜的空间位置变动，实现对二维画面的体扫描。本发明通过引入焦深扫描机构和多个振镜实现了投影画面周期性体扫描(布拉格周期扫描)，大大降低了体扫描的振幅，提高扫描频率，可以稳定的实现超高分辨率和超快帧频的3D成像/投影显示功能。
扫描全息成像

[发明专利]一种基于复合扫描改进三维微纳结构的加工方法-CN201810742250.0有效
发明人：曹耀宇;李湘滔;李向平 -专利权人：暨南大学
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于复合扫描改进三维微纳结构的加工方法，步骤如下：在衬底上涂上光刻胶；根据光刻胶的曝光需求对激光光源发射的光信号进行调整；将调整后的激光束先穿过二维振镜，再通过物镜聚焦于光刻胶中的指定位置；将待加工的三维结构模型沿纵轴方向拆分成若干个二维平面；将所有的组合成三维模型结构的点的空间坐标信息导入到加工平台的控制系统；微移平台在控制系统预设的运动轨迹下移动，光刻胶在激光束照射下按照平台的运动轨迹进行曝光；在微移平台沿预设好的轨迹运动的同时，二维振镜按另外设置的振动方式振动，即聚焦在光刻胶里的光斑的曝光轨迹由二维振镜振动轨迹和三维微纳微移平台移动轨迹相叠加所组成。
一种基于复合扫描改进三维结构加工方法

[发明专利]用于背光源加工的CO₂激光高速划槽装置及其方法-CN201110006542.6无效
发明人：赵裕兴;余建华 -专利权人：苏州德龙激光有限公司
申请日： 2011-01-13 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及用于背光源加工的CO2激光高速划槽装置及方法，CO2激光器的输出端设置有XY运动扫描振镜，所述XY运动扫描振镜正对于加工平台，CO2激光器发出的激光经过XY运动扫描振镜后，到达加工平台，CO2激光作用于加工平台的被加工材料上，被加工材料受热形成一个200～500μm微坑，控制高速开关激光，每秒钟打出5000～15000微坑，在时间上形成串微坑，再通过运动扫描平台使之在空间平面上形成许多微槽，每个微槽深度在10μm～100μm，运动速度5～15m/s；通过控制平台的速度结合计算机控制扫描运动的路径，在被加工材料平面上形成许多不同密度分布的沟槽，沟槽的长度在500～1000μm，宽度为500μm
用于背光源加工 co sub 激光高速装置及其方法

[实用新型]用于背光源加工的CO₂激光高速划槽装置-CN201120009542.7有效
发明人：赵裕兴;余建华 -专利权人：苏州德龙激光有限公司
申请日： 2011-01-13 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于背光源加工的CO2激光高速划槽装置，CO2激光器的输出端设置有XY运动扫描振镜，所述XY运动扫描振镜正对于加工平台，CO2激光器发出的激光经过XY运动扫描振镜后，到达加工平台，CO2激光作用于加工平台的被加工材料上，被加工材料受热形成一个200～500um微坑，控制高速开关激光，每秒钟打出5000～15000微坑，在时间上形成串微坑，再通过运动扫描平台使之在空间平面上形成许多微槽，每个微槽深度在10um～100um
用于背光源加工 co sub 激光高速装置

[实用新型]一种大视角计算全息显示演示系统-CN201420178143.7有效
发明人：叶丽军;许富洋 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G03H1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大视角计算全息显示演示系统，包括半导体激光器、扩束镜、准直透镜、数字微镜器件、振镜、同步扫描信号控制器、微型计算机、雾化器、DVI接口、USB接口、第一数据线和第二数据线；所述半导体激光器、扩束镜、准直透镜依次连接，所述数字微镜器件和同步扫描信号控制器分别通过DVI接口和USB接口与所述微型计算机相连，所述雾化器产生的雾气团用作全息再现的立体显示屏；工作时，由微型计算机通过VB程序将事先计算得到的各个视角的子全息图按顺序输入数字微镜器件并由振镜同步扫描进行再现
一种视角计算全息显示演示系统

[发明专利]激光雷达微振镜超薄精密加工装置及方法-CN202211504140.3在审
发明人：杨润昊;杨润瑶;杨心宏 -专利权人：南京超晶光电新材料科技研究院有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明提供激光雷达微振镜超薄精密加工装置及方法，属于激光雷达微振镜加工技术领域，包含下支架，所述下支架的上端固连着承载台，所述承载台上安设着用于镜片平稳锁紧的锁紧部，所述锁紧部的外侧安设着用于除去灰尘的除灰部本发明解决了现有的激光雷达微振镜超薄精密加工装置在对镜片执行打磨之际，放置的镜片易产生变动，无法确保镜片匀称的打磨，也会导致次品率的提升，加工成本较高，同时大多加工装置在打磨之际需要人工对镜片执行翻动，
激光雷达微振镜超薄精密加工装置方法

[发明专利]一种5G高频MPI材料钻孔方法-CN202011090507.2有效
发明人：赵城;彭伟红;周丹;田新博 -专利权人：安捷利（番禺）电子实业有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种5G高频MPI材料钻孔方法，包括以下步骤：S1、采用激光对MPI压合工件进行圆形钻孔；S2、将焦距下移一微距离，焦距下移过程中暂停激光钻孔；减小所述振镜扫描速度和增大有效光斑直径，继续采用激光进行圆形钻孔；S3、将焦距下移一微距离，焦距下移过程中暂停激光钻孔；调整所述振镜扫描速度和有效光斑直径至预定值，继续采用激光进行圆形钻孔；S4、将焦距下移一微距离，焦距下移过程中暂停激光钻孔；调整振镜扫描速度和有效光斑直径
一种高频 mpi 材料钻孔方法