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[发明专利]一种MEMS-CMOS集成的压力传感器及其制备方法-CN202210228548.6在审
发明人：林春燕;尚海平;王玮冰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01L1/26 文献下载
摘要：本公开提供了一种MEMS‑CMOS集成的压力传感器的制备方法，包括：S1，将第一晶圆片进行刻蚀，形成空腔结构；S2，采用键合工艺在形成空腔结构的第一晶圆片表面上键合第二晶圆片；S3，利用扩散工艺在第二晶圆片表面注入杂质原子形成MEMS压力传感器；采用CMOS工艺在第二晶圆片上未形成MEMS的表面上制作CMOS器件；S4，在步骤S3形成的器件表面上生长介质层，并通过光刻及刻蚀工艺在介质层上形成接触孔；S5，在接触孔内及部分介质层上沉积金属材料，完成CMOS与MEMS互联；S6，在步骤S5形成的器件表面生长钝化层；S7，在CMOS器件上方多次层叠介质层及金属层形成金属互联层，并刻蚀MEMS压力传感器上方的介质层，完成MEMS‑CMOS集成的压力传感器制备。本公开还提供了一种MEMS‑CMOS集成的压力传感器。
一种 mems cmos 集成压力传感器及其制备方法

[发明专利]一种压力传感器及其制作方法-CN202010347092.6有效
发明人：李婷;尚海平;王玮冰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种压力传感器及其制作方法，该压力传感器包括具有相对的第一面及第二面的衬底、设置在衬底的第一面上的感压膜、设置在衬底的第二面上的压力腔、设置在衬底的第二面上的盖板。感压膜上设置有由四个压敏电阻组成的惠斯通电桥。四个压敏电阻包括两个纵向电阻和两个横向电阻；两个纵向电阻的电阻阻值相等，两个横向电阻的电阻阻值相等。纵向电阻的电阻阻值大于横向电阻的电阻阻值。通过设置两个纵向电阻的电阻阻值大于两个横向电阻的电阻阻值，利用惠斯通电桥上两个纵向桥臂与两个横向桥臂的电阻阻值的不对称设计，以引入与原有非线性趋势相反的非线性在电路层面补偿压力传感器的整体非线性，从而减小压力传感器的非线性误差。
一种压力传感器及其制作方法

[发明专利]半导体器件和制作方法-CN201811314954.4有效
发明人： 尚海平;曹治;王英辉;王玮冰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01N27/414 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体器件和制作方法。该半导体器件包括：衬底；第一绝缘层，位于衬底的表面上；电极层，位于第一绝缘层的远离衬底的表面上；第二绝缘层，位于电极层的远离第一绝缘层的表面上，第二绝缘层具有间隔设置的多个通孔，各通孔使得电极层的部分表面裸露，第二绝缘层的材料和/或第一绝缘层的材料包括非晶碳化硅。该半导体器件中第一绝缘层的材料和/或第二绝缘层的材料为非晶碳化硅，该材料可以有效防止由于海水腐蚀造成的器件失效的问题，极大的提高了半导体器件的使用寿命。此外，碳化硅对于强酸强碱等强腐蚀性溶液，也有很好的抗腐蚀性，可以较好的满足海水原位检测的应用。
半导体器件制作方法

[实用新型]一种具有翻炒功能的蒸药机-CN202222141514.1有效
发明人：尚海军;郭英丽;尚海林;尚海平;钟玲;宁鹤;齐高娃;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： A61J3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有翻炒功能的蒸药机，包括蒸煮罐、支撑架、转动电机、转动杆、盖板、搅拌桨叶、蒸汽输送管、连接头、出料管、对接管。本实用新型的有益效果是：在本蒸药机中的搅拌桨叶整体呈丝带状结构，并设置有两组，且两组搅拌桨叶相互反向设置，并通过钢管与转动杆焊接固定，通过丝带状结构的搅拌桨叶在蒸煮罐的内部转动，进而实现对蒸煮罐内部药材的翻炒，加快该蒸药机的整体蒸煮效率，在本蒸药机中的蒸汽输送管整体采用不锈钢材料制作构成螺旋状结构，并在其内部贯穿设置有空腔，且其侧壁上密布设置有喷孔，喷孔与空腔贯通，通过螺旋状结构的蒸汽输送管使整体能够均匀的被喷射在蒸煮罐的内部空腔中，进一步加快对药材的蒸煮效率。
一种具有翻炒功能蒸药机

[实用新型]一种药材切片机-CN202222787260.0有效
发明人：尚海军;邢永新;郭英丽;张昆;尚海林;尚海平;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B26D7/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种药材切片机，包括工作台，所述工作台上放置有物料，所述工作台上活动设置有用于切割物料切割机构，所述工作台上固定有箱体，所述箱体内设有压持机构，所述述箱体上设有输送机构，所述输送机构还包括电动推杆和安装箱，所述箱体内腔固定有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定有推板，所述电动推杆的输出端延伸至箱体外，使推板与物料相抵触，所述安装箱内腔的一端固定有第一电机，所述第一电机的输出轴水平设置有螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上固定有拨片。该药材切片机在需要移动药材切割，可通过电动推杆将药材推动切割处，进行切割，切割完后的药材，通过推板将物料推出，便于使用。
一种药材切片机

[实用新型]一种便于操作的种植覆土装置-CN202221909592.5有效
发明人：郭英丽;尚海军;尚海林;尚海平;钟玲;宁鹤;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： A01C5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于操作的种植覆土装置，包括壳体和支撑柱，所述壳体外部底端的四角处分别固定焊接有支撑柱，所述支撑柱的底部安装有电动脚轮，所述壳体的下方横向设置有框体，所述框体内部的两侧之间活动安装有滚筒，所述框体顶端的内部固定焊接有卸料槽，所述卸料槽与壳体之间固定焊接有折叠管。该便于操作的种植覆土装置通过在壳体的下方横向设置有框体，根据装置与地面的间距旋转啮合套筒底部转盘，因啮合套筒与转盘皆设置有对应的螺纹，通过丝杆调整下方框体的位置，收缩的折叠管也随之展开，再以支撑柱底部的电动脚轮驱使装置前进，框体内安装的滚筒便能从后方压平地面，解决了未能整平沟槽的问题。
一种便于操作种植装置

[实用新型]一种滚筒式洗药机-CN202222208390.4有效
发明人：尚海军;尚海林;郭英丽;宁鹤;钟玲;齐高娃;尚海平;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滚筒式洗药机，包括筒体，所述筒体的底部安装有支脚，所述支脚顶部的左侧安装有水箱，所述筒体右侧的顶部安装有进料座，所述进料座的顶部固定连接有进料口，所述筒体右侧的底部安装有驱动电机，所述从动转轮和主动转轮之间套接有连接带。该滚筒式洗药机通过设置有分配管、水箱、抽水泵、喷嘴和排水管，使用时，药材倒入筒体内部后，启动抽水泵，通过抽水管抽取水箱内部的水，将水导入分配管的内部，通过喷嘴对下方喷淋，开始对筒体的内部注水，一段时间后，开始对药材清洗，喷嘴外部罩设有拦截网，可拦截杂质，避免杂质堵塞喷嘴，提高了使用的寿命，解决的是不方便对喷淋头防护。
一种滚筒式洗药机

[实用新型]一种药材加工用研磨装置-CN202221991816.1有效
发明人：尚海军;郭英丽;尚海平;钟玲;宁鹤;齐高娃 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B02C18/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材加工用研磨装置，包括第一固定壳和第二固定壳，所述第一固定壳的顶端固定连接有第二固定壳，所述第二固定壳的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿第一固定壳顶端的内部并固定连接有固定轴。该药材加工用研磨装置通过设置有储料盒、破碎刀、安装座、连接座，因连接座的外部设置有外螺纹，安装座的内部设置有内螺纹的关系，可将储料盒旋拧安装在连接座的外部，然后打开驱动电机，驱动破碎刀进行转动，从而对储料盒中的药材进行破碎，使其研磨成粉状，之后再反向旋拧储料盒，可将其拆卸，这样在研磨时更加方便，无需倾倒，更加适用，解决了在药材研磨后不便于下料，需要手动倾倒的问题。
一种药材工用研磨装置

[实用新型]一种具有烘干功能的洗药机-CN202222194186.1有效
发明人：郭英丽;尚海军;尚海林;尚海平;钟玲;宁鹤;齐高娃;张昆;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-08-20 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B08B3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有烘干功能的洗药机，包括外箱体和预留口，所述外箱体内部的底端固定连接有废水回收箱，所述外箱体一侧的底端设置有预留口，所述外箱体内部的顶端固定安装有固定座，所述固定座的内部之间设置有储水管，所述储水管的底端固定连接有分水管。该具有烘干功能的洗药机通过设置有固定架等零件，因固定架一端的底端之间设置有固定框，固定框之间固定连接有过滤网，在对药材清洗时，药材外部沾染的泥土可通过过滤网过滤至网面，避免进入废水回收箱，因第一连接块嵌在第一卡槽内部，在过滤完毕后，可将其固定框取出，将网面上的泥土进行清理，解决了不便于过滤废水中的泥土的问题。
一种具有烘干功能洗药机

[实用新型]一种药材切片装置-CN202222615878.9有效
发明人：尚海军;郭英丽;尚海林;尚子轩;尚海平;宁鹤;钟玲 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-10-03 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B26D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材切片装置，属于药材加工技术领域，以解决现有技术中，下料过程中，不能对药材的下料进行把控，而导致刀片在统一切割时，容易出现切片不均匀，而导致药材易损坏，提高了生产成本，无法满足生产所需，包括设备本体，所述设备本体上表面连通有下料斗，所述设备本体内顶部固定安装有下料箱，通过设置的驱动电机输出轴主动锥形齿轮转动，从而带动从动锥形齿轮转动，转动台在下料台上表面进行转动，通过设置的下料台内部开设有下料口，使得转动台推动药材移动掉落至下料管道中，步进电机输出轴带动传动齿轮正转，使得一个齿条从下料管道抽出，另一个齿条插入下料管道内部，使得能够将药材进行单个的下料，满足了生产所需。
一种药材切片装置

[实用新型]一种药材种植用翻土装置-CN202221990525.0有效
发明人：尚海军;郭英丽;钟玲;尚海平;尚海林;齐高娃;宁鹤;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-07-30 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： A01B33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材种植用翻土装置，包括安装梁，所述安装梁的顶端固定连接有防护罩，所述安装梁一侧的两端分别设置有一组手柄，所述手柄的一端固定连接有连接杆。该药材种植用翻土装置通过设置有驱动电机、翻土刃、翻土轮、支撑架、传动皮带、从动轮和驱动轮，在进行翻土时，先启动驱动电机带动驱动轮转动，驱动轮转动的同时通过传动皮带带动从动轮转动，从动轮转动的同时带动翻土轮转动，翻土轮再带动外部的翻土刃快速在土地内部运动，从而完成翻土的目的，两端的支撑架对翻土轮进行支撑，提高翻土时的稳定性，且翻土轮可以在装置运行过程中出现倾斜时对装置限位防止装置倾倒，解决的是翻土时整体稳定性差的问题。
一种药材种植翻土装置

[实用新型]一种便于收集的切药机-CN202222169987.2有效
发明人：尚海军;尚海平;钟玲;王广树;王恩久;张静敏;宋传玲 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B26D1/29 文献下载
摘要：本实用新型涉及切药机技术领域，且公开了一种便于收集的切药机，包括支撑柱，支撑柱顶端安装有切药机，支撑柱侧端安装有插座，插座内部由固定螺栓安装有卡块，卡块末端安装有连接块，连接块底端安装有盛药斗，盛药斗内部安装有转轴，且外壁安装有电机，转轴外壁安装有刀片，且末端连接有电机，盛药斗底端安装有导筒，导筒内部安装有插板，且正下方放置有收集箱。该便于收集的切药机，通过在切药机侧端设计可拆卸式的盛料斗及导筒，导筒设置在盛药斗底端，能够对下落的药材起到导向的作用，方便药材下落至下方的收集箱内部，起到便于收集的效果，通过在导筒内部设计挡板，解决了更换收集箱时药材会掉落问题。
一种便于收集切药机

[实用新型]一种药材种植开沟机-CN202221963416.X有效
发明人：尚海军;尚海林;郭英丽;钟玲;尚海平;宁鹤;齐高娃;尚子轩 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： A01C5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材种植开沟机，包括开沟机发动机和行走履带，所述开沟机发动机的底端设置有行走履带，所述开沟机发动机的前端装配有安装架，所述安装架的顶端固定连接有后挡壳体，所述安装架的内部安装有刀盘开沟器，所述安装架的底端固定连接有套筒，所述套筒的内部活动套接有竖杆，所述竖杆的底端装配有导向轮，所述竖杆和套筒之间固定连接有锁定螺栓。该药材种植开沟机通过设置有导向轮、套筒、竖杆、锁定螺栓，开沟土壤时，行走履带在两侧的田埂中行走，导向轮在沟壑中行走，辅助提高行走履带行走的稳定性，导向轮高度可调，适合针对不同高度的田埂进行调整，解决了履带行走稳定性有待提高的问题。
一种药材种植开沟机

[发明专利]一种电导率传感器的制备方法及电导率传感器-CN201811295869.8有效
发明人： 尚海平;曹治;王英辉;王玮冰 -专利权人：昆山微电子技术研究院
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电导率传感器，在衬底中设置有沿厚度方向贯穿衬底的通孔，该通孔会被设置在衬底表面的四个电极中的一个所覆盖，同时在该通孔中会设置有与电极电连接的引线。通过该通孔以及引线可以沿衬底厚度方向引出电极的电信号，从而避免引线与电极处于同一平面，进而使得设置在衬底表面的第二电极、第三电极以及第四电极可以呈完整的环形，保证测量时信号的稳定性。本发明还提供了一种导电率传感器的制备方法，所制备而成的电导率传感器同样具有上述有益效果。
一种电导率传感器制备方法

[实用新型]药材精筛装置-CN202221901909.0有效
发明人：尚海军;王广树;王恩久;张静敏;张四喜;尚海平;钟玲 -专利权人：内蒙古日出东方健康产业有限公司
申请日： 2022-07-23 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B07B9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材精筛装置，药材精筛装置由精筛入料斗，机箱，药材挡板，机箱内板，挡板连杆，挡板操作杆，振动电机，筛板连杆，筛板，下料台，加固件，底架，风扇连杆，风扇，传送带，传送带连接销组成，从药材精筛装置被精筛出来的药材通过筛板或下料台出口被收集或进入药材收集装置，被药材精筛装置精筛后，可以对药材进行进一步的加工，如水洗，切片等加工操作，极大地节约了人力资源。
药材装置

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