|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3498316个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种具有可调键合层的晶圆-CN201320016515.1有效
-
李平
-
武汉新芯集成电路制造有限公司
-
2013-01-11
-
2013-09-18
-
B81B7/00
- 本实用新型涉及一种具有可调键合层的晶圆,包括晶圆层、键合氧化物层,在所述的晶圆层和键合氧化物层之间设有一层晶圆弯曲度的调节层,所述晶圆弯曲度的调节层为可调节晶圆弯曲度的介质薄膜;所述调节晶圆弯曲度的介质薄膜为氧化物或氮化物或金属化合物在晶圆上生长键合氧化物之前淀积一层调节晶圆弯曲的的介质,然后在该介质上生长键合氧化物。在晶圆上生长键合氧化物之前淀积一层调节晶圆弯曲度的薄膜介质,可以调节晶圆的弯曲度,解决了键合的空洞与扭曲的问题,方便晶圆后续工艺的进行,避免空洞、碎片的产生。
- 一种具有可调键合层
|