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[实用新型]磁力传动式罗茨螺杆真空机组-CN201721829395.1有效
发明人：徐晶;唐松林;施华良 -专利权人：江阴爱尔姆真空设备有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁力传动式罗茨螺杆真空机组，包括罗茨泵（1）和螺杆泵（2），罗茨泵（1）的排气口（3）与螺杆泵（2）的吸气口（4）硬连接；螺杆泵（2）通过一联轴器（5）连有第一电机（6），罗茨泵（1本实用新型中的罗茨泵采用了磁力扭矩耦合器来取代普通的联轴器，该设置可使罗茨泵和螺杆泵同时启动，罗茨泵介入更早，机组抽速更大。罗茨泵的排气口与螺杆泵的吸气口硬连接，工作稳定性好，而且本实用新型相对于现有的罗茨螺杆真空机组还去除了变频器和压力变送器，成本更低。
罗茨泵螺杆泵本实用新型真空机组螺杆罗茨磁力传动磁力扭矩联轴器排气口耦合器电机工作稳定性压力变送器吸气变频器吸气口硬连接抽速机组

[发明专利]无扩散泵式复合膜镀膜机-CN201210437315.3有效
发明人：陈生贩;陈显东;江裕捺;陈生镇;陈发杰 -专利权人：上海宏昊企业发展有限公司
申请日： 2012-11-06 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成。
扩散复合镀膜

[发明专利]一种双极高压干式罗茨真空泵机组-CN201510745862.1在审
发明人：牛余宝;张学飞;牛联刚;扈奎 -专利权人：山东三牛机械有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双极高压干式罗茨真空泵机组，属于真空泵机组，其结构包括一级罗茨真空泵、二级罗茨真空泵、电动机和中间冷却器，所述的一级罗茨真空泵和二级罗茨真空泵分别通过联轴器与电动机相连，一级罗茨真空泵的出气口和二级罗茨真空泵的进气口分别与中间冷却器相连，一级罗茨真空泵的进气口端依次设置有单向阀、真空阀装置、进气消声器和进气波纹补偿器，一级罗茨真空泵的出气口上设置有放空阀，二级罗茨真空泵的出气口上设置有排气消声器。本发明具有真空泵内不需要通入密封水，解决了设备厂家对真空泵冷却水水质要求的改造，降低了成本，采用双轴伸电动机直联带动一级罗茨真空泵和二级罗茨真空泵，真空泵效率提高等特点。
一种极高压干式罗茨真空泵机组

[实用新型]一种双极高压干式罗茨真空泵机组-CN201520878062.2有效
发明人：牛余宝;张学飞;牛联刚;扈奎 -专利权人：山东三牛机械有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双极高压干式罗茨真空泵机组，属于真空泵机组，其结构包括一级罗茨真空泵、二级罗茨真空泵、电动机和中间冷却器，所述的一级罗茨真空泵和二级罗茨真空泵分别通过联轴器与电动机相连，一级罗茨真空泵的出气口和二级罗茨真空泵的进气口分别与中间冷却器相连，一级罗茨真空泵的进气口端依次设置有单向阀、真空阀装置、进气消声器和进气波纹补偿器，一级罗茨真空泵的出气口上设置有放空阀，二级罗茨真空泵的出气口上设置有排气消声器。本实用新型具有真空泵内不需要通入密封水，解决了设备厂家对真空泵冷却水水质要求的改造，降低了成本，采用双轴伸电动机直联带动一级罗茨真空泵和二级罗茨真空泵，真空泵效率提高等特点。
一种极高压干式罗茨真空泵机组

[实用新型]直排大气罗茨真空泵-CN91205523.5无效
发明人：张文福;李凤惠 -专利权人：张文福;李凤惠
申请日： 1991-04-05 - 公布日： 1991-12-11 - 主分类号： F04C18/18 文献下载
摘要：本实用新型是一种能直排大气罗茨真空泵，用于真空获得系统。本实用新型的主要特征是在原有罗茨泵基础上加装离心叶轮增压排气装置。上述装置的主要构成有排气室、轮壳、叶轮，并将罗茨泵抽出气体通向排气室中，由叶轮排出，从而实现罗茨真空泵抽出气体能直排大气。本实用新型即保持了原有罗茨泵的优点，又克服罗茨泵抽气不能直排大气的缺点，与油封式真空泵类相比能带来较好的使用效益。
大气真空泵

[发明专利]斜式罗茨螺杆复合真空泵-CN202110582281.6有效
发明人：李坤 -专利权人：威鹏晟（山东）真空技术有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本发明提供一种斜式罗茨螺杆复合真空泵，其设有泵体，泵体的内部设有前置内腔体和复合转子内腔体，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向设有罗茨泵转子叶片，罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，前置内腔体中设有互相啮合的同步齿轮为斜齿轮啮合，相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面啮合。其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本发明可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理中。
斜式罗茨螺杆复合真空泵

[发明专利]一种罗茨式氢气循环泵-CN202310333288.3在审
发明人：吴隆发;巫修海;马云芳;张凯翔;周子淼;吕科琦;王志杭;叶阳;陈彪;曹能 -专利权人：台州职业技术学院
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种罗茨式氢气循环泵，属于泵技术领域。它解决了现有的转子与泵体内壁之间密封性较差，罗茨式氢气循环泵的制造成本较高的问题。本罗茨式氢气循环泵包括具有转子室的泵体和两根相同的位于转子室内的转子，转子具有三个绕着轴心线周向均匀分布的齿部；每个齿部的顶面为圆弧顶面，圆弧顶面的轴心与转子的轴心重合设置；转子中每个齿部的端面型线从圆弧顶面到齿槽的底面依次为第一过渡曲线本罗茨式氢气循环泵在保证转子之间啮合性的情况下增强了转子与泵体内壁之间的密封性，还能减小转子与泵体内腔的流导，减小了罗茨泵的返流量，提高罗茨泵的循环效率。
一种罗茨式氢气循环

[实用新型]一种带两套罗茨泵的抽真空系统-CN202121156966.6有效
发明人：李冬泉;史少平 -专利权人：国核示范电站有限责任公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及节能环保技术领域，具体地说是一种带两套罗茨泵的抽真空系统，设有凝汽器，凝汽器低压侧和高压侧之间经连接管道相连接，连接管道上设有两组水环式真空泵，水环式真空泵的一端经水环管道与连接管道相连接，水环式真空泵的另一端与排气口相连通，其特征在于两组水环式真空泵之间的连接管道上设有两组罗茨泵组，所述的罗茨泵组的一端经罗茨管道与连接管道相连接，罗茨泵组的另一端与排气口相连通，通过两组罗茨泵组实现节能效果，具有结构简单、水环泵运行稳定，提高水环泵抗汽蚀能力、提高运行效率、真空可开行提高、节能效果明显等优点。
一种带两套罗茨泵真空系统

[实用新型]一种罗茨真空水环机组-CN202023351018.6有效
发明人：陈炜强;许才盛;张惠强;莫俊翔;凌志华;陈俊宇;邓学成;徐凯华;廖佩军;王倩文 -专利权人：乳源东阳光氟树脂有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种罗茨真空水环机组包括进气管道和出气管道，所述进气管道与出气管道之间为通过管路连接的一级罗茨真空泵、与一级罗茨真空泵连接的二级罗茨真空泵、与二级罗茨真空泵连接的液环式真空泵和气水分离器；所述进气管道与罗茨真空水环机组进气口连接，所述进气管道上设有一气动调节阀。本实用新型所述的罗茨真空水环机组能够防止抽真空时罗茨真空泵真空油乳化，避免出现设备不能如常运行的现象；降低罗茨真空水环机组的故障率、减少维修人员工作量；有效提高了抽真空的效率。
一种真空机组

[实用新型]食品冻干机的真空系统-CN201420678803.8有效
发明人：朱起永;刘晓林 -专利权人：山东新华医疗器械股份有限公司
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： F26B25/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提供一种食品冻干机的真空系统，其包括食品冻干机的干燥仓，干燥仓通过蝶阀分别与快速抽气泵组和持续抽气泵组连接；快速抽气泵组包括第一罗茨泵和真空油泵，真空油泵连接第一罗茨泵，第一罗茨泵通过第一蝶阀连接干燥仓；持续抽气泵组包括第二罗茨泵和水环式真空泵，水环式真空泵连接第二罗茨泵，第二罗茨泵通过第二蝶阀连接干燥仓。
食品冻干机真空系统

[实用新型]真空镀膜机减压装置-CN201320618117.7有效
发明人：陈显东 -专利权人：上海宏昊企业发展有限公司
申请日： 2013-10-08 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的进气口与1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的出气口与第三罗茨泵组联通本实用新型通过对泵的合理连接从而减小真空室内的气压，起到辅助减压的作用，从而减小整个真空镀膜系统的能耗。
真空镀膜减压装置

[实用新型]凝汽器抽真空节能驱动系统-CN201720602101.5有效
发明人：杨道宏;林燕 -专利权人：中国能源建设集团广东省电力设计研究院有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： F28B9/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种凝汽器抽真空节能驱动系统，该凝汽器抽真空节能驱动系统，包括凝汽器、水环式真空泵组及罗茨‑水环真空泵组，所述水环式真空泵组及所述罗茨‑水环真空泵组分别与所述凝汽器的出口对接，所述水环式真空泵组与所述凝汽器的出口之间设有第一开关阀，所述罗茨‑水环真空泵组与所述凝汽器的出口之间设有第二开关阀；所述罗茨‑水环真空泵组包括与所述第二开关阀对接的罗茨真空泵、与所述罗茨真空泵串联的第一水环式真空泵、及与所述第一水环式真空泵的出口对接的与第一汽水分离器该凝汽器抽真空节能驱动系统可避免真空泵出现抽吸能力过高的情况，防止真空泵运行时能耗高、容易发生汽蚀等问题。
凝汽器真空节能驱动系统

[实用新型]节能真空装置-CN201220306286.2有效
发明人：李刚;尚现华;王成远 -专利权人：山东锦隆达化工科技股份有限公司
申请日： 2012-06-27 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种节能真空装置，属于化工设备领域，其特征在于包括：循环式水冲泵和罗茨泵，通过管道将循环式水冲泵和罗茨泵连接。通过这样的设置循环式水冲泵和罗茨泵造成的真空效果良好，运行稳定，并且循环式水冲泵和罗茨泵的能耗要远比旋片式真空泵的能耗低，这样无形中大量节约了电能，降低了产品的生产成本，提高了产品的竞争力，同时循环式水冲泵前端还设置了过滤器
节能真空装置

[实用新型]一种脂肪酸精馏塔专用真空机组-CN201820043045.0有效
发明人：陈刘杨;马献力;程娟;张宝玉 -专利权人：铁岭金铎科技股份有限公司
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种脂肪酸精馏塔专用真空机组，包括顺次串接的三级罗茨真空泵，第一级罗茨真空泵的进气口接脂肪酸精馏塔抽真空管，第三级罗茨真空泵的排气口接水环式真空泵的进气口，水环式真空泵排气口接排空管，在第三级罗茨真空泵的排气口与水环式真空泵的进气口之间的连接管路上设有电磁充气阀，所述脂肪酸精馏塔专用真空机组还包括启动控制装置，所述启动控制装置包括中央处理器和分别控制三台罗茨真空泵启停的执行开关，该脂肪酸精馏塔专用真空机组能够依据罗茨真空泵排气管路的压力值自动控制各罗茨真空泵的启动，启动过程不会造成罗茨真空泵过载，该脂肪酸精馏塔专用真空机组具有自动化程度高，运行稳定可靠、使用寿命长等优点。
罗茨真空泵脂肪酸精馏塔专用真空进气口机组排气口启动控制装置水环式真空泵第三级台罗茨真空泵本实用新型电磁充气阀中央处理器抽真空管连接管路排气管路使用寿命运行稳定串接的第一级接水环排空管真空泵过载启停自动化

[实用新型]一种便于拆装的真空泵与罗茨泵组装置-CN202222392187.7有效
发明人：任占斌 -专利权人：钦德机电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： F04B41/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及泵技术领域，具体为一种便于拆装的真空泵与罗茨泵组装置，包括固定框以及真空泵和罗茨泵组，罗茨泵组包括主抽泵、二级罗茨泵以及三级罗茨泵；二级罗茨泵、三级罗茨泵以及真空泵设置在固定框内；固定框的内底面滑动设置有支撑板，真空泵、二级罗茨泵以及三级罗茨泵均通过紧固螺栓一固定安装在支撑板上。本实用新型通过先将真空泵、二级罗茨泵以及三级罗茨泵先安装在支撑板上，然后通过支撑板与方形槽滑动连接关系将设置有真空泵、二级罗茨泵以及三级罗茨泵的支撑板推入方形槽内，之后再将支撑板固定在固定框上即可，且真空泵、二级罗茨泵以及三级罗茨泵与支撑板之间、支撑板与固定框之间均通过紧固螺栓固定，拆装方便。
一种便于拆装真空泵罗茨泵组装