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[发明专利]工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置和存储介质-CN201810907584.9在审
发明人：杨斌 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置、存储介质，包括：非基准工艺设备的控制装置获取一基准工艺设备的基准工艺文件，基准工艺文件包括基准工艺设备的配置参数；非基准工艺设备的控制装置根据非基准工艺设备的工艺配置和基准工艺文件中的配置参数确定非基准工艺设备的配置参数，生成非基准工艺设备的工艺文件，非基准工艺设备的工艺配置包括非基准工艺设备的配置参数与基准工艺设备的配置参数之间的差异信息，非基准工艺设备的工艺文件包括非基准工艺设备的配置参数。本申请通过各工艺设备与基准工艺设备的配置参数的差异信息来自动生成所述非基准工艺设备的工艺文件，提高了各工艺设备生成工艺文件的效率及可靠性。
工艺设备非基准工艺文件配置参数控制装置工艺控制系统差异信息存储介质工艺配置自动生成申请

[发明专利]线束智能测试机微电脑测试工艺参数配置方法-CN201510090451.3有效
发明人：吴金炳;张满新;吴军 -专利权人：苏州路之遥科技股份有限公司
申请日： 2015-02-28 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明公开了线束智能测试机微电脑测试工艺参数配置方法，包括线束智能测试机主体和微电脑测试工艺参数配置方法，所述微电脑测试工艺参数配置方法包括测试工艺参数配置界面和工艺参数配置操作步骤，所述测试工艺参数配置界面包括测试文件选择对话框和编辑窗口，所述测试工艺参数配置操作步骤包括启用测试工艺参数配置功能和测试工艺参数配置进度显示，所述测试工艺参数配置功能能够定位到某一行某一列并选择内容，并通过简易输入法改变选择的内容。本发明能够让线束智能测试机能够让用户直观、明了、便携的对自学习文件和常规生产用文件进行配置，支持自动命名，便于生产和流程管理。
智能测试微电脑工艺参数配置方法

[发明专利]用于监控基板处理的装置及方法-CN201811258332.4有效
发明人：郑荣勋;金珍焕 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G06F11/32 文献下载
摘要：公开了一种用于监控基板处理的装置，该装置包括：工艺数据获取单元，其配置为从基板处理设备获取关于基板处理的工艺数据；存储单元，其配置为储存关于配置成匹配基板处理设备的布局的工艺监控屏幕的屏幕配置数据；处理单元，其配置成导入屏幕配置数据，并根据工艺数据运行工艺监控屏幕；和控制单元，其配置成根据时间点将工艺数据分类，并在特定时间点在工艺监控屏幕上输出工艺数据值。
用于监控处理装置方法

[发明专利]半导体工艺设备中清洗配置的更新方法和装置-CN202110184132.4在审
发明人：庄璐 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备中清洗配置的更新方法和装置，该方法包括：控制端接收半导体工艺设备发送的料盒信息，基于料盒信息，确定料盒中待加工件对应的加工工艺及加工工艺对应的目标清洗配置，查询半导体工艺设备中用于加工待加工件的工艺腔室的当前清洗配置，判断当前清洗配置与目标清洗配置是否匹配，如果否，则向半导体工艺设备发送配置更新指令，将当前清洗配置更新为目标清洗配置。控制端可以直接的对半导体工艺设备中工艺腔室的清洗配置进行更新，避免用户手动设置清洗配置的过程，从而可以提高芯片的生产效率。
半导体工艺设备清洗配置更新方法装置

[发明专利]ALC浇注工艺配置方法、控制方法、系统和电子设备-CN202310020763.1在审
发明人：易锡年;李凌宇;周冬梅;向伟;唐修国 -专利权人：湖南三一快而居住宅工业有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B28C5/00 文献下载
摘要：本发明涉及自动化生产领域，提供一种ALC浇注工艺配置方法、控制方法、系统和电子设备。ALC浇注工艺配置方法包括：基于输入操作，获得ALC浇注工艺的工艺任务所需的多个目标工序的顺序以及目标工艺参数集合；基于所述多个目标工序的顺序以及所述目标工艺参数集合，生成所述工艺任务对应的配置文件；将所述工艺任务对应的配置文件发送至所述ALC浇注工艺的控制系统，所述ALC浇注工艺的控制系统用于根据所述工艺任务对应的配置文件进行自身配置后，执行所述工艺任务。解决了ALC浇注过程需要工艺变更时频繁手动操作造成的生产效率低和ALC成品不够标准化的问题，实现了ALC浇注过程的高效率生产和产品标准化。
alc 浇注工艺配置方法控制系统电子设备

[发明专利]一种橡胶机控制方法、系统、设备及存储介质-CN202210611315.4在审
发明人：陈波;李源;梅迪凡 -专利权人：宁波弘讯科技股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B29C43/58 文献下载
摘要：本申请涉及橡胶生产技术领域，公开了一种橡胶机控制方法、系统、设备及存储介质，包括：通过人机交互界面的输入接口获取工艺步骤的配置信息；其中，所述配置信息为表征所述工艺步骤的执行条件的信息；根据所述配置信息对所述工艺步骤与执行条件相关的目标属性进行配置，以控制橡胶机中所述工艺步骤对应的执行机构按照配置后的所述目标属性执行相应的工艺动作。可见，本申请通过人机交互界面的输入接口接收到的配置信息对不同工艺步骤的目标属性进行可视化配置，由于输入的配置信息为表征工艺步骤的执行条件的信息，根据不同的执行条件能够配置不同的目标属性，以此实现橡胶机工艺流程的自由控制
一种橡胶控制方法系统设备存储介质

[发明专利]一种应用于冲压自动化流水作业的智能配置方法-CN202010844092.7有效
发明人：曹子兰;李祥;魏中华;周黔勇 -专利权人：成都卡诺普自动化控制技术有限公司
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B30B15/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于冲压自动化流水作业的智能配置方法，设置工艺配置文件，工艺配置文件中保存配置选项中的变量以及变量对应的值；根据用户选择的设备类型识别与该设备类型相关的工艺文件，并将该工艺文件中的值与工艺配置文件中对应的配置选项中的变量匹配；新建程序中包含必备的点位运行程序及与工艺文件对应的工艺文件号，当用户在参数配置界面选择配置选项的变量时，根据变量对应的工艺文件的值调用相应的程序块，插入程序块，程序块中的参数代入通过变量名称代入；程序中的参数代入通过变量名代入；将程序代入机器人，执行相应工艺。方便客户配置调试，简单易用，界面友好，降低了客户的调试时间；适用于各种冲压生产线。
一种应用于冲压自动化流水作业智能配置方法

[发明专利]薄膜剥离工艺的配置方法及装置-CN201811643616.5在审
发明人：谢凯;王敬苗 -专利权人：深圳市永盛隆科技有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，上述配置方法包括：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。上述方法通过配置预加热工艺步骤的第一工艺信息以及刻蚀工艺步骤的第二工艺信息，将两个工艺步骤进行统一控制，从而将不同工艺槽工位的控制信息相互关系统一，将物料在工艺流程中经历的工位与控制信息关联到一起，实现了物料根据生产实际情况自动选择路径执行工艺的功能
薄膜剥离工艺配置方法装置

[发明专利]一种工艺路线图形化配置方法、系统、设备及存储介质-CN202211281674.4在审
发明人：陈继;闫晓枫;唐少华;李若楠 -专利权人：深圳一道创新技术有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本申请涉及工艺生产领域，尤其是涉及一种工艺路线图形化配置方法、系统、设备及存储介质，其中，所述方法包括获取基于产品的工艺类别；根据产品的工艺类别，配置对应的工艺路线；对产品按照配置好的工艺路线进行处理；获取产品处理流程信息；根据所述产品处理流程信息，检验产品处理流程是否与配置的流程吻合；若产品处理流程与配置流程吻合，则继续运行对应工艺路线；若产品处理流程与配置流程不吻合，则锁定对应工艺路线。本申请具有更加直观的图形化的方式去解决生产流程配置，以处理复杂的流程之间关系，并且简单容易操作，能防止生产流程出错的效果。
一种工艺路线图形配置方法系统设备存储介质

[发明专利]一种镀膜工艺控制方法及控制系统-CN200910087670.0有效
发明人：马平 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-06-25 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜工艺控制方法及控制系统，能够准确的实现多批次镀膜工艺采用不同配置参数及相应参数值的连续进行。所述方法包括：针对多批次的镀膜工艺，编写每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值，每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值包括单步或多步的配置参数及相应参数值，将每批镀膜工艺定义一个对象，在每批镀膜工艺定义的对象中：单步镀膜工艺定义一个单步对象，多步镀膜工艺定义一个对象数组，将多批镀膜工艺定义的对象通过哈希表保存，在每批镀膜工艺流程中，自动获取当前批次的配置参数及相应参数值后执行镀膜工艺流程。本发明完成了自动化量产，而且支持镀膜工艺需要多步配置参数及相应参数值的工艺要求。
一种镀膜工艺控制方法控制系统

[发明专利]工艺流程控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210872093.1在审
发明人：陈键邦;黄华峰;张倍;李童;商院芳;郭霄亮 -专利权人：深圳赛桥生物创新技术有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种工艺流程控制方法、装置、电子设备及存储介质，所述方法包括：获取目标提示循环配置，目标提示循环配置用于表示循环执行类工艺流程待配置的工艺参数；基于目标提示循环配置，显示提示界面，并通过提示界面的控件接收第一输入，第一输入用于指示目标循环次数和目标工艺参数；响应于第一输入，确定目标循环次数和目标工艺参数；在确定第一工艺流程为目标提示循环配置所关联的工艺流程且确定第一工艺流程为循环执行类工艺流程的情况下，基于目标工艺参数循环执行第一工艺流程本发明通过基于目标提示循环配置显示提示界面，确定目标循环次数和目标工艺参数，实现在出现循环操作的场景下，能够通过可视化方式对工艺流程进行控制。
工艺流程控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]生产设备的工艺配方配置方法及配置系统、存储介质-CN202011182196.2在审
发明人：左国军;梁建军;胡朋;夏傲雪 -专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提出了一种生产设备的工艺配方配置方法及配置系统、存储介质。其中，一种生产设备的工艺配方配置方法包括：在数据库中建立需要设定的工艺参数变量；获取生产设备的预设工艺配方文件；将预设工艺配方文件中的每个工艺参数与对应的工艺参数变量建立连接；将预设工艺配方文件中每个工艺参数的参数值上传至数据库，以将每个工艺参数变量赋值。通过本发明提供的生产设备的工艺配方配置方法，可脱机预编辑生产设备运行所需的工艺配方，通过将预设工艺配方文件上传至上位机，实现生产设备工艺配方一键配置，弥补了组态软件自带工艺配方设定和查看不够人性化导致的误操作等问题
生产设备工艺配方配置方法系统存储介质

[发明专利]半导体制造中气路配置处理的方法及系统-CN201310751394.X在审
发明人：马永超 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造中气路配置处理的方法及系统。其中该方法包括如下步骤：在半导体制造工艺中，创建与气路相关的气体名称的多个第一配置文件，以及气体名称相应的气路流量值的多个第二配置文件；将第一配置文件以及第二配置文件通配到工艺监控文件中；在进行工艺试验或者工艺制造时，根据需求将气体名称和气路流量值写入到相应的第一配置文件和第二配置文件中，并替换到工艺监控文件中，将工艺监控文件中所需气体和气路流量值进行同批次配置。本发明当需要对气路中的气体或者流量进行更改时，只需更改第一配置文件或第二配置文件中的内容，修改简便，减少修改的错误率，提高生产效率。
半导体制造中气配置处理方法系统

[发明专利]半导体制造设备的工艺任务配置处理系统及方法-CN201310126410.6有效
发明人：张继宏 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-04-12 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造设备的工艺任务配置处理系统和方法，其中方法包括如下步骤：配置硅片装载端口的位置、片盒中硅片的数目和位置，以及每个硅片使用的工艺进程；配置使用同一个工艺进程的每个硅片运行的工艺路径和工艺腔室；配置不同的工艺腔室所运行的工艺。本发明提供的半导体制造设备的工艺任务配置处理系统和方法，实现了指定片盒中的每个硅片可以拥有不同的路径，分别进入不同的腔室，然后按照该腔室的工艺模块设置进行不同的工艺任务，解决了在同一个工艺任务中，不同硅片沿不同路径进行不同工艺的需求
半导体制造设备工艺任务配置处理系统方法

[发明专利]一种面向低碳工艺规划的制造资源配置方法-CN201711340336.2在审
发明人：孙群 -专利权人：上海电机学院
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向低碳工艺规划的制造资源配置方法，包括如下步骤1)根据产品的静态工艺要求，进行制造资源的预配置；预配置阶段考虑产品的工艺方法、加工精度、外形尺寸与制造资源进行匹配，同时考虑制造资源的状态以及加工能力，对制造资源加工能力进行聚类分析，以加工性能和工艺特征对车间可用制造资源进行预配置；2)基于预配置结果，在动态优化配置中考虑约束条件对对制造资源选择的影响；考虑碳排放约束对制造资源配置决策的影响，建立了以最小加工工艺时间Tmin和最低碳排放成本Cmin为优化目标的多目标优化模型，并应用遗传算法对优化模型进行求解，使制造资源配置结果能更优地适应加工要求，为面向低碳工艺规划的工艺资源决策提供支持。
一种面向工艺规划制造资源配置方法

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