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- [发明专利]生产光学波导的方法-CN200410100185.X无效
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宗和范;望月周;内藤龙介;田河宪一
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日东电工株式会社
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2004-12-03
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2005-06-15
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G02B6/10
- 本发明提供一种生产光学波导的方法,其包括以下步骤:连续地将聚酰亚胺树脂前体层涂覆到长片基片上,然后固化该层以形成下部包层;连续地将光敏性聚酰亚胺树脂前体层涂覆到下部包层上;通过具有预定图案的光掩模连续地将涂覆了的光敏性聚酰亚胺树脂前体层曝光;连续地将曝光了的聚酰亚胺树脂前体层进行曝光后加热;在加热后连续地将聚酰亚胺树脂前体层显影,由此除去其未曝光的区域并且得到预定的图案;将显影了的聚酰亚胺树脂前体层固化,由此在下部包层上形成具有预定图案的芯层;并连续地将聚酰亚胺树脂前体层涂覆到下部包层的上方以覆盖芯层,然后将该前体层固化以由此形成上部包层。
- 生产光学波导方法
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