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[发明专利]高光谱小目标探测方法及装置-CN200810105320.8无效
发明人：李庆波;张广军;李响 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2008-09-17 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种高光谱小目标探测方法，包括：获取待测图像像元中三维高光谱数据的像元光谱二维矩阵；将像元光谱二维矩阵中的每个像元光谱与待测图像像元的平均光谱进行角匹配，得到每个像元的光谱角匹配值；根据光谱角匹配值，获取与每个像元对应的马氏距离；将每个像元对应的马氏距离与预定的阈值进行比较，并确定马氏距离大于预定阈值的像元点为小目标点。本发明还提供了一种高光谱小目标探测装置，采用本发明的高光谱小目标探测方法及装置，无需任何先验信息，具有较高的目标探测准确度和较快的运算速度，目标探测的效率较高。
光谱目标探测方法装置

[发明专利]用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法-CN202310057759.2在审
发明人：赖建军;杨静;黄立;高健飞;王春水;汪超;叶帆 -专利权人：华中科技大学;武汉高芯科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01J5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法，属于光电探测技术领域。本发明将螺旋天线与电极桥腿相间排布，提高了小像元微桥结构热隔离支撑桥腿的占比，使桥腿延长热导率降低，提升了微测辐射热计的温升；采用螺旋式天线臂耦合热敏单元接收红外辐射时，光能量的吸收能够更集中于热敏单元，在器件总光吸收率相近的情况下，进一步提高了热敏单元的温升，等效于增加了微桥结构的有效吸收面积，与传统微测辐射热计相比能更好地收集能量，提高探测效率；在获得低热导和高吸收率的同时，降低了微桥结构的热质量；代替传统的上层吸收层和下层热隔离层的双层微桥结构，简化了制备工艺，可以降低器件制造成本。
用于小像元微测辐射热天线耦合结构制备方法

[发明专利]一种微测辐射热计的像元结构及其制备方法-CN201710434582.8有效
发明人：王鹏;邱栋;杨鑫;王宏臣;陈文礼 -专利权人：烟台睿创微纳技术股份有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微测辐射热计的像元结构及其制备方法，所述参考像元的尺寸是所述有效像元尺寸的1.5～3倍，所述参考像元与所述有效像元的高度一致；在进行牺牲层的结构释放时，直接将像元结构放到去胶机中，由于参考像元的尺寸大，当有效像元的牺牲层释放完全时，参考像元的牺牲层还有部分未释放，不需要对参考像元与有效像元隔离开，能够简化工艺；另外，牺牲层采用非晶碳，能够保证参考像元与制作有效像元的工艺兼容，且能够增加参考像元结构的热导
一种辐射热结构及其制备方法

[发明专利]一种红外超分辨成像方法及装置-CN202010166735.7在审
发明人：马宏 -专利权人：觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外超分辨成像方法及装置，所述方法包括以下步骤：调节液晶编码板中液晶的状态，使得所述液晶中每个像素的尺寸小于焦平面探测器像元的尺寸，以生成亚像元编码信息；根据所述亚像元编码信息，获取待测目标亚像元编码的图像；根据所述待测目标亚像元编码的图像，获取所述待测目标的超分辨图像，通过亚像元编码技术实现超分辨成像，与机械微扫描技术相比，不需要复杂精密的机械机构，避免了机械移动误差对成像质量的影响，且成像速度更快，更便于工程化集成
一种红外分辨成像方法装置

[发明专利]一种非制冷红外焦平面双通道列级读出电路及方法-CN202310300204.6在审
发明人：吕坚;邱浩洋;和顺隆;李彪;阙隆成;周云 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种非制冷红外焦平面双通道列级读出电路及方法，涉及红外焦平面阵列探测器技术领域，解决了大面阵下非制冷红外焦平面阵列探测器帧频下降的问题，其技术方案要点是：电路包括镜像电桥电路、像元阵列偏置电路和像元阵列；镜像电桥电路用于为像元阵列偏置电路提供偏置电压，像元阵列偏置电路用于为像元阵列提供偏置电流；像元阵列偏置电路包括：第一通道级偏置电路和第二通道级偏置电路；微测辐射热计选通开关通过改变导通时序，使得需要读出的微测辐射热计单元依次通过第一通道级偏置电路产生探测输出信号或通过第一通道级偏置电路和第二通道级偏置电路同时产生探测输出信号
一种制冷红外平面双通道读出电路方法

[发明专利]一种具有偏置热补偿功能的微测辐射热计型红外读出电路-CN201510156329.1有效
发明人：韦良忠;刘燕;陈黎明 -专利权人：无锡艾立德智能科技有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有偏置热补偿功能的微测辐射热计型红外读出电路，包括盲像元支路、敏感像元支路和积分器，盲像元支路包括盲像元电阻和PMOS管，敏感像元支路包括NMOS管和敏感像元电阻，NMOS管的源极连接PMOS管的源极，NMOS管的漏极经敏感像元电阻接地，PMOS管的源极接入积分器的输入端，盲像元支路还包括盲像元阵列，盲像元阵列包括数个依次串联的电阻，每个电阻分别并联一个开关，各开关的启闭由数字信号控制，PMOS管的漏极经盲像元阵列与盲像元电阻连接，盲像元阵列中的各个电阻均与盲像元电阻具有相同的电阻温度系数。
一种具有偏置补偿功能辐射热红外读出电路

[实用新型]一种具有偏置热补偿功能的微测辐射热计型红外读出电路-CN201520198702.5有效
发明人：韦良忠;刘燕;陈黎明 -专利权人：无锡艾立德智能科技有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具有偏置热补偿功能的微测辐射热计型红外读出电路，包括盲像元支路、敏感像元支路和积分器，盲像元支路包括盲像元电阻和PMOS管，敏感像元支路包括NMOS管和敏感像元电阻，NMOS管的源极连接PMOS管的源极，NMOS管的漏极经敏感像元电阻接地，PMOS管的源极接入积分器的输入端，盲像元支路还包括盲像元阵列，盲像元阵列包括数个依次串联的电阻，每个电阻分别并联一个开关，各开关的启闭由数字信号控制，PMOS管的漏极经盲像元阵列与盲像元电阻连接，盲像元阵列中各个电阻均与盲像元电阻具有相同的电阻温度系数。
一种具有偏置补偿功能辐射热红外读出电路

[发明专利]一种高填充因子的微测热辐射计及制备方法-CN201610410719.1有效
发明人：邱栋;王鹏;王宏臣;陈文礼;马宏 -专利权人：烟台睿创微纳技术股份有限公司
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种高填充因子的微测辐射热计及制备方法，在微测热辐射计的读出电路(1)上制作金属反射层(2)、绝缘介质层(3)、牺牲层(4)、支撑层(5)、金属电极层(6)、热敏层(8)、钝化层(9)之后，结合化学机械抛光、钨柱塞或者物理气相沉积、化学气相沉积、电化学沉积等技术制备高深宽比的电学连接结构，减小电学连接结构的面积，增大微测辐射热计的填充因子。基于微测辐射热计的红外或太赫兹探测器都是由大面阵的阵列微测辐射热计组成的，通过减小接触孔的面积，可以有效的提升填充因子，同时提升探测器的性能。使用该结构，可以在未来设计制作更小像元的微测辐射热计时成比例的缩小像元尺寸，而不会增加工艺的难度。
一种填充因子微测热辐射计制备方法

[发明专利]元成像系统-CN202210605182.X有效
发明人：郭钰铎;蔡娅雯;郭泽群 -专利权人：元潼（北京）技术有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H04N23/951 文献下载
摘要：本申请涉及成像技术领域，特别涉及一种元成像系统与方法，其中，系统包括：在光学成像系统的像面附近放置微透镜阵列，微透镜阵列的尺寸与系统对应衍射极限分辨率相差两个数量级以内。微透镜阵列表面以每个微透镜为周期镀有周期性掩膜图案，对成像光路进行调制。小微透镜尺寸与掩膜使元成像系统在采集图像过程中产生频域混叠，高频图像信息被调制到低频部分，而不是像普通成像系统中的高频成分在成像过程中消失。在微透镜阵列后一倍焦距附近放置光电传感器如：CMOS或CCD。相比于传统光场成像，元成像系统中的小微透镜尺寸，掩膜编码，像面扫描等方式采集到了更精细，包含更多高频信息的光场图像。
成像系统

[发明专利]一种基于MEMS技术的太赫兹焦平面阵列-CN201210250324.1在审
发明人：于晓梅;文永正;董理 -专利权人：北京大学
申请日： 2012-07-18 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明提供的太赫兹焦平面阵列由多个双材料微悬臂梁像元组成，当被动/主动太赫兹波通过太赫兹物镜聚焦到太赫兹焦平面阵列时，通过设计在双材料微悬臂梁像元表面的太赫兹吸收结构将吸收的能量转换成热能，双材料效应使微悬臂梁像元发生弯曲，光学检测系统读出多个微悬臂梁像元的形变量和分布，最终通过数据图像处理模块以光强图像的方式将被测物体的太赫兹场显示出来。
一种基于 mems 技术赫兹平面阵列

[发明专利]一种新型多层红外探测器及制备方法-CN202011464304.5在审
发明人：康晓旭;陈寿面;钟晓兰 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：本发明属于半导体的技术领域，公开了一种新型多层红外探测器，包括设置在带读取电路的衬底上的多层阵列排布的像元集合，每个像元均包括含微桥桥面、梁结构、支撑及电连接孔在内的微桥谐振腔结构，相邻两层的像元集合中对应的高层像元与低层像元均相互错开排布，且高层像元中微桥桥面的投影面与低层像元中的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙的投影面重叠。本发明的多层红外探测器借助错开排布，使高层像元中微桥桥面将低层像元中微桥的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙覆盖，增加了对红外线的吸收面积，提高红外吸收效率，并在成本可控的前提下提升了产品性能。
一种新型多层红外探测器制备方法

[发明专利]一种提高大像元间距像面传感器图像分辨率的方法-CN202211454913.1在审
发明人：蒋大成;张锦;阎坤;孙国斌;房思佳;梁睿 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H04N23/55 文献下载
摘要：本发明涉及图像信息处理领域，具体涉及一种提高大像元间距像面传感器图像分辨率的方法。所说的方法包括将微摆镜设置于大像元间距图像传感器与光学系统的镜头之间，控制双向微摆镜进行微摆，分别完成X方向的像元数据补充、Y方向的像元数据补充和X与Y方向对角线的视场数据补充。本发明通过在光学系统与大间距图像传感器之间设置双向微摆镜，通过双向微摆镜来填补相邻像元间的空白，使得大像元间距的图像传感器补充相邻像元间缺失的物方视场数据，大像元间距像面传感器所获得的图像数据图像分辨率提高为原来的4倍，提高了大像元间距传感器的图像分辨率，提高了所采集图像的图像质量。
一种提高大像元间距传感器图像分辨率方法

[发明专利]一种红外探测器及其制备方法-CN201910812542.1有效
发明人：康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：一种红外探测器及其制备方法，该红外探测器包括由像元阵列组合而成的传感单元，像元包括微桥谐振腔、位于每个微桥谐振腔下方的反射层模块、以及微桥支撑和电连接孔模块；其中，微桥支撑和电连接孔模块用于实现所在像元电阻电连接的接触区域；像元阵列中的每个反射层模块连成一起，微桥支撑和电连接孔模块与所述反射层模块是隔开的；根据共享模式，像元阵列中相邻行且同一列或相邻列且相邻行的像元共享一个微桥支撑和电连接孔模块，其中，交叉共享模式为相邻两行的像元电阻交叉共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块，平行共享模式为相邻两行的像元电阻平行共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块；相邻行且同一列的像元电阻共享端接电源端或接地端，以实现像元阵列输出数据的读取。
一种红外探测器及其制备方法

[发明专利]能降低偏振成像器件像元间光串扰的微透镜阵列-CN201810062611.7在审
发明人：郭安然;伍明娟;高建威;皮晓静;向华兵 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2018-01-23 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提出了一种能降低偏振成像器件像元间光串扰的微透镜阵列，包括像元阵列、平坦化层、光栅阵列和微透镜阵列；像元阵列由多个按阵列形式分布的像元组成；光栅阵列由多个按阵列形式分布的亚波长光栅组成；微透镜阵列由多个按阵列形式分布的微透镜组成；其创新在于：所述微透镜的直径与像元的对角线等长；相邻微透镜之间设置有隔离槽，隔离槽的深度达到光栅阵列表面。本发明的有益技术效果是：提出了一种用于偏振成像器件的微透镜阵列，该微透镜阵列能有效降低像元间的光串扰。
微透镜阵列像元光栅阵列偏振成像阵列形式光串扰微透镜像元阵列隔离槽对角线亚波长光栅技术效果平坦化层等长

[发明专利]用于MEMS图像传感器的像元阵列-CN201710179151.1在审
发明人：赵照;葛鼎 -专利权人：合肥芯福传感器技术有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本发明提供一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，由多个像元在二维平面上重复排列组成，所述像元包括衬底和微桥，所述微桥通过桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，在所述像元阵列中，每个桥墩引出多个臂，同时与多个像元连接。本发明通过将一个桥墩引出多个臂来连接多个像元，可以有效减少像元阵列中的桥墩个数，扩大电磁波吸收面积，提高像元的响应速率，应用于MEMS图像传感器中则显著提高产品的信噪比、灵敏度等特性。另外，更少的桥墩数量有益于像元阵列制作流程的简化，从而节约成本，提高良品率。
用于 mems 图像传感器阵列

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