“大尺寸硅片”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1666970个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种用于大尺寸电池片镀膜上料的位置校正装置-CN201721351516.6有效
发明人：刘慎思;陶智华;眭山;郑飞;张忠卫;阮忠立 -专利权人：上海神舟新能源发展有限公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于大尺寸电池片镀膜上料的位置校正装置，该装置设置在上料校正器上，装置包括设置在上料校正器上的前进部位挡板以及设置在前进部位挡板侧面的变厚度机构，该变厚度机构对硅片的位置进行校正。与现有技术相比，本实用新型通过变厚度机构增加硅片的前进距离，使硅片能够到达与石墨框承载部位相对应的位置，避免出现上料放片不到位、放片后容易掉片、易碎片等问题，保证了产品质量及生产过程的正常进行；毋需对现有设备及校正器进行改变，也不用更改设备参数来实现硅片上料，不会引起生产过程中的其它不稳定性因素，保证了现有设备的稳定性；调节方式灵活，应用范围广。
一种用于尺寸电池镀膜位置校正装置

[实用新型]一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟-CN201922427513.1有效
发明人：沈永臻;林纲正;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟。偶数位石墨舟叶上的电极连接耳之间也通过石墨固定块统一连接，奇数位上的石墨固定块和偶数位上的石墨固定块单独连接电源正负极，一般电源正负极与位于中部的石墨固定块连接，石墨舟叶之间穿设有若干根起固定作用的固定杆，相邻石墨舟叶之间设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，倾斜角为1°～9°，硅片固定位为沿石墨舟叶长度方向线性分布。
一种适用于承载尺寸硅片石墨

[实用新型]一种大尺寸全自动硅片贴片机的真空吸取装配装置-CN202320352789.1有效
发明人：王峰;杨生 -专利权人：中国科学院高能物理研究所
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及硅片贴片技术领域，具体而言，涉及一种大尺寸全自动硅片贴片机的真空吸取装配装置，包括机械臂、真空放置平台、真空吸盘以及控制系统，其中：机械臂通过滑台固定在工作平台上；真空放置平台设置在工作平台上，包括硅片放置平台、固定工件放置平台以及装配工件放置平台；真空吸盘设置在机械臂的正下方；控制系统包括控制终端、机械臂控制系统以及真空控制系统，机械臂控制系统与机械臂连接，真空控制系统分别与真空放置平台和真空吸盘连接本申请通过机械臂和真空控制系统配合，实现了硅片点胶、粘贴以及装配的全自动化，大大提高了半导体组装的工业化水，降低了相应成本，保证在量产时产品的成品率，提高了生产效率。
一种尺寸全自动硅片贴片机真空吸取装配装置

[发明专利]一种新型静电吸盘及其制备方法-CN202310618706.3在审
发明人：马俊峰;朱顺存;任蔚康;张伟泉 -专利权人：浙江新纳陶瓷新材有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供的新型静电吸盘可以通过把多个小尺寸吸盘同时集成到一个大的陶瓷盘面上，可以一次性多个吸盘同时对产品进行刻蚀加工。本发明提供的新型陶瓷静电吸盘能够同时吸附多个硅片，对多个吸片同时加工，对整体陶瓷盘的平面度要求较高，可以在一个腔体内一次性加工多个硅片，提升了加工效率。
一种新型静电吸盘及其制备方法

[发明专利]集成电路硅片划片方法-CN201310561327.1在审
发明人：肖海滨;金玮;孙卫红 -专利权人：上海华虹集成电路有限责任公司
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路硅片划片方法，包括如下步骤：步骤一、将大于8-inch的硅片减薄至适合封装的厚度；步骤二、通过划片工艺方法将所述硅片切割成多个小块硅片；步骤三、通过划片工艺方法将各小块硅片分别切割分开每颗芯片；步骤四、将所述各小块硅片转贴到带UV膜或蓝膜的小尺寸绷架上；步骤五、将带UV膜或蓝膜的小尺寸绷架（含芯片）放置到旧的固晶设备上进行正常固晶。
集成电路硅片划片方法

[实用新型]一种用于硅片清洗的组合式装载片盒-CN201520250092.9有效
发明人：熊诚雷;邵奇;吴跃峰 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于硅片清洗的组合式装载片盒，属于硅单晶片的生产领域，由外套片盒和装载4英寸硅片的内置片盒构成，且内置片盒以可拆卸方式嵌套在外套片盒内。本实用新型通过在外套片盒内设置内置片盒，将4英寸硅片装载在内置片盒内实现了清洗机对4英寸硅片的兼容，实现了清洗机对三种尺寸硅片的兼容，制作简单，使用方便，避免了额外购置清洗机来清洗不同尺寸硅片导致的成本提升
一种用于硅片清洗组合式装载

[发明专利]一种自动交接的多尺寸硅片传输装置-CN202011039904.7有效
发明人：兰俊;杨勇;唐燕;赵立新;胡松 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动交接的多尺寸硅片传输装置，包括硅片抓取机械手、传送导轨、硅片交接机构和对准基板。硅片抓取机械手通过真空装置实现硅片取放，其通过旋转臂吸附与旋转柱限位钉限位可实现180°往复硅片吸附；传送导轨为整个机构的传输通道，通过齿轮齿条机构与滑动导轨的配合，实现硅片抓取机械手与硅片交接机构的平稳连接与传输；硅片交接机构利用模拟人手抓取运动的三爪机构实现硅片的抓放与提放，其通过气缸驱动与升缩杆的配合实现硅爪的水平抓放，通过电机驱动实现硅爪的竖直提放；对准基板为整个传输装置的底座；该发明可与光刻机及硅片预对准台配合使用，在狭窄空间的适应性好，具有占用空间小、高平稳性、操作简单、多尺寸硅片传输的优点。
一种自动交接尺寸硅片传输装置

[发明专利]太阳能硅片中转存放盒-CN201010174184.5无效
发明人：巢鹏瑜 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2010-05-18 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种太阳能硅片中转存放盒，由棱面和台面围合而成，在台面上设有硅片存放凹坑和吹气凹坑，两个吹气凹坑设置在硅片存放凹坑的对角处，在硅片存放凹坑和吹气凹坑的底部均设有凸出筋，硅片存放凹坑和吹气凹坑的截面形状均为锥体形，上大下小，硅片存放凹坑和吹气凹坑的背面与四个棱面的背面之间均存有间隙。整个硅片中转存放盒设计成锥形，上小下大，这种结构的硅片存放盒可以相互套装存放，占有空间小，用材料少，重量轻。在硅片存放凹坑和吹气凹坑的底部设有凸出筋，增强了硅片存放凹坑和吹气凹坑底部的强度，减少了最底硅片与硅片存放凹坑底面的接触面积，防止硅片被颗料物压碎，同时被灰尘污染的可能进一步降低。
太阳能硅片中转存放

[实用新型]太阳能硅片中转存放盒-CN201020192841.4无效
发明人：巢鹏瑜 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2010-05-18 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种太阳能硅片中转存放盒，由棱面和台面围合而成，在台面上设有硅片存放凹坑和吹气凹坑，两个吹气凹坑设置在硅片存放凹坑的对角处，在硅片存放凹坑和吹气凹坑的底部均设有凸出筋，硅片存放凹坑和吹气凹坑的截面形状均为锥体形，上大下小，硅片存放凹坑和吹气凹坑的背面与四个棱面的背面之间均存有间隙。整个硅片中转存放盒设计成锥形，上小下大，这种结构的硅片存放盒可以相互套装存放，占有空间小，用材料少，重量轻。在硅片存放凹坑和吹气凹坑的底部设有凸出筋，增强了硅片存放凹坑和吹气凹坑底部的强度，减少了最底硅片与硅片存放凹坑底面的接触面积，防止硅片被颗料物压碎，同时被灰尘污染的可能进一步降低。
太阳能硅片中转存放

[发明专利]石墨舟片及石墨舟-CN202110340069.9在审
发明人：廖宝臣;张密超;左敏;杨柳 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种石墨舟片，设有硅片覆盖区，所述硅片覆盖区设有多个长条形通孔，所述通孔的宽度≤16mm，由此，可使硅片与石墨舟片贴合紧密，同时产生更均匀的电场，可有效解决管式PECVD/PEALD在N型硅片上镀膜均匀性问题且兼顾解决背面绕镀问题，解决了当前管式设备针对N型硅片镀膜，如氧化铝以及隧穿氧化层钝化接触TOPCON电池背面镀氧化硅的质量问题。尤其是目前光伏行业往大硅片的方向发展，更突显了镀膜均匀性和质量的重要性，为高效大硅片电池的发展铺平道路。
石墨

[实用新型]一种新型硅片清洗筐-CN201420693964.4有效
发明人：张俊生;王俊朋;甄红昌;秦焱泽 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型硅片清洗筐，包括筐壁板和筐底板，所述筐壁板和框底板构成筐体，还包括挡板和挂耳，所述筐底板设有若干阶梯槽孔，且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布；所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。本实用新型具有的积极效果是：新型硅片清洗筐结构能够同时清洗4篮4-6英寸的硅片，相对于原来只能清洗2筐6英寸硅片的清洗筐，大大提高了清洗效率，降低了能源损耗及产能浪费；阶梯槽孔的设计，能够同时适应不同尺寸的硅片放置篮，并且保证硅片的放置稳定安全，虽然结构简单，但是功能性强；壁孔和底孔的设计，减少了对超声波的遮挡，超声震荡清洗更加充分，清洗效果更加。
一种新型硅片清洗

[实用新型]一种抛光机压力环装置-CN201020646429.5有效
发明人：王新;李耀东;李俊峰;韩晨华;张果虎 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： B24B39/06 文献下载
摘要：可以通过分别调节几个环状管气压的方式来满足不同尺寸硅片的抛光需求，抛光较大尺寸硅片时，把最外圈气压调的相对小，主要利用内两圈环状管，抛光较小尺寸硅片时，把最里圈气压调的相对小，主要利用外两圈环状管。对于同一硅片尺寸来说，也可以精确调节压力分布，从而精确控制硅片表面平整度品质。
一种抛光机压力装置

[实用新型]基于4英寸硅圆片的小尺寸硅圆片减薄辅助加工工具-CN201520544144.3有效
发明人：葛军 -专利权人：扬州晶新微电子有限公司
申请日： 2015-07-27 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：基于4英寸硅圆片的小尺寸硅圆片减薄辅助加工工具，属于半导体器件磨片减薄工艺技术领域，包括研磨盘、行星传动机构、硅片吸盘和4英寸硅圆片，4英寸硅圆片通过抽气装置吸附在硅片吸盘上，在4英寸硅圆片上割有多个小尺寸硅片孔，在硅片孔中设置待磨硅圆片，待磨硅圆片与小尺寸硅片孔之间存在间隙。本实用新型结构简单，可有效防止减磨过程中由研磨盘横向剪切力而引起的待磨硅圆片的移动，可同时减磨多个小规格硅圆片，不仅解决了在4英寸吸盘的减薄机上不能减薄小尺寸硅圆片的难题，还能降低生产成本，同时还提高了硅圆片的加工生产效率
基于英寸硅圆片尺寸硅圆片减薄辅助加工工具

[实用新型]OLED微型显示器外露硅片密封装置-CN201820064224.2有效
发明人：朱胜迪;杨俊彦;吴斌;曹坤宇;武艳鸣 -专利权人：云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本实用新型属于OLED微型显示器显示器密封技术领域，具体为一种OLED微型显示器外露硅片密封装置，覆盖于OLED微型显示器PCB板上方，其特征在于该结构从上至下依次为玻璃盖片、多层膜结构和硅片，玻璃盖片和多层膜结构尺寸相同并小于硅片尺寸，硅片裸露的上表面和侧面上覆盖有密封胶。该密封结构利用密封胶的防水、耐腐蚀、耐高低温的特性，将显示器裸露于外界的硅片边缘进行密封，缓减了硅片受外界碰撞带来的损伤，保护显示器不易被腐蚀损坏。
硅片显示器多层膜结构玻璃盖片外露密封胶裸露密封技术领域本实用新型从上至下硅片边缘密封结构耐高低温外界碰撞耐腐蚀上表面覆盖防水密封损伤腐蚀侧面

[实用新型]一种大束流离子注入机的硅片上料装置-CN202121085506.9有效
发明人：陈维 -专利权人：无锡凯世通科技有限公司
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大束流离子注入机的硅片上料装置，大束流离子注入机具有硅片进出口，大束流离子注入机的硅片上料装置包括支架、进出料层、若干暂置层、滑动装置和若干滑动板；进出料层、若干暂置层水平设置于支架中；进出料层与硅片进出口平齐，处于同一高度；硅片置于滑动板上；滑动板置于进出料层或若干暂置层上，进出料层或若干暂置层与滑动板之间设置有滑动装置。因此，能够推或拉动滑动板，使滑动板进出大束流离子注入机，避免了人工搬运，降低了劳动强度，提高了效率，具有显著的进步。
一种流离注入硅片装置