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[发明专利]适用于热电堆的塞贝克系数测量结构及其制备方法-CN202111509666.6在审
发明人：石梦;毛海央;周娜;龙克文 -专利权人：佛山市川东磁电股份有限公司;中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于热电堆的塞贝克系数测量结构及其制备方法。其包括衬底以及塞贝克系数待测单元体，还包括测温单元体以及设置于衬底背面的背腔；测量时，利用测试热源对所述测温单元体以及塞贝克系数待测单元体同时进行所需的热激发，通过测温单元体测量得到表征塞贝克系数待测单元体热激发前后的测试温度差ΔT，测量所述塞贝克系数待测单元体在相应热激发状态下的输出电压V，则能确定所述塞贝克系数待测单元体的塞贝克系数。本发明能有效实现塞贝克系数的测量，测量效率高，与现有工艺兼容，安全可靠。
适用于热电贝克系数测量结构及其制备方法

[发明专利]一种基于扫描热学显微镜原位表征纳米热电塞贝克系数的装置-CN201310284525.8有效
发明人：曾华荣;陈立东;徐琨淇;赵坤宇;李国荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： G01Q60/58 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于扫描热学显微镜原位表征纳米热电塞贝克系数的装置，用于检测一被测纳米热电材料的微区塞贝克系数，所述装置进一步包括：一谐波信号的扫描热学显微镜原位激励平台，和一纳米热电塞贝克系数原位检测平台，其中，所述微区热电塞贝克系数为：其中，S为微区塞贝克系数，V_1ω，V_2ω，V_3ω分别是一倍频谐波信号，纳米热电材料微区二倍频谐波信号和纳米热电材料微区三倍频谐波信号，k是一系数。本申请将扫描热学显微镜纳米检测功能、一维线热源模型、焦耳热效应原理及宏观塞贝克系数测试原理相结合，建立起基于扫描热学显微镜原位表征微区塞贝克系数的新装置。
一种基于扫描热学显微镜原位表征纳米热电贝克系数装置

[发明专利]一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置-CN201410199399.0有效
发明人：曾华荣;徐琨淇;陈立东;赵坤宇;李国荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置，该装置进一步包括：一原子力显微镜导电探针原位加温模块，用于实现原子力显微镜导电探针的原位加热以及与其相互接触的纳米热电材料微区加热；一纳米塞贝克系数原位检测模块，用于提供发展原位表征纳米塞贝克系数装置的原子力显微镜平台，并原位实现所述纳米热电材料纳米塞贝克电压信号的原位激发和原位检测，并进而获得纳米塞贝克系数的原位定量表征结果。本申请将原子力显微镜纳米检测功能、焦耳热效应、热传导效应和热电材料塞贝克物理效应相结合，建立起基于原子力显微镜导电探针原位加热、原位定量表征纳米塞贝克系数的新装置。
一种原子显微镜导电探针原位加热表征纳米贝克系数装置

[发明专利]一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置-CN201210206249.9有效
发明人：曾华荣;陈立东;赵坤宇;惠森兴;殷庆瑞;李国荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置，用于检测一被测纳米热电材料样品的微区塞贝克系数，包括：一谐波信号的原子力显微镜原位激励平台，用于提供发展纳米热电塞贝克系数原位表征装置的原子力显微镜平台，并原位同时激发纳米热电材料微区二倍频、三倍频谐波信号；一纳米热电塞贝克系数原位检测平台，用于实现所述纳米热电材料微区二倍频、三倍频的原位实时检测和处理，并显示微区塞贝克系数热电参量的原位表征结果。本申请将原子力显微镜纳米检测功能、宏观热导三倍频测试原理、焦耳热效应原理及宏观塞贝克系数测试原理相结合，建立起基于商用原子力显微镜热探针所诱导的谐波效应来表征纳米塞贝克系数的新方法。
一种基于原子显微镜纳米热电贝克系数原位定量表征装置

[实用新型]一种用于凝胶塞贝克系数测量的配件及系统-CN202123453924.1有效
发明人：曾炜;石超生;李龙斌;戴永强 -专利权人：广东省科学院化工研究所
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于凝胶塞贝克系数测量的配件及系统，其中配件包括筒体，筒体上设有轴向贯穿的第一通孔，筒体的侧壁上设有轴向分布的两个第二通孔，第二通孔设置在靠近筒体的端部的位置，第二通孔与第一通孔连通通过该配件辅助测量塞贝克系数，其中通过筒体内的第一通孔容纳凝胶，使凝胶形成固定形状柱状并固定在筒体内，测量时筒体的两端也即筒体内凝胶的两端与塞贝克系数测量装置的温控部件接触，使凝胶的两端形成温度差，从而凝胶内产生电流，通过筒体上的两个第二通孔将内部凝胶的电流导引出去供塞贝克系数测量装置测量电压，从而获取塞贝克系数测量的相关数据，以此测量凝胶的塞贝克系数，此实用新型用于测量塞贝克系数技术领域。
一种用于凝胶贝克系数测量配件系统

[发明专利]红外热电堆传感器的塞贝克系数测试方法-CN202211051119.2在审
发明人：袁天辉;傅剑宇;欧文;孙冠军;杜祥雷;陈大鹏 -专利权人：无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明关于红外热电堆传感器的塞贝克系数测试方法，涉及传感器技术领域。该方法包括：根据待测器件的器件结构确定与待测器件对应的平均温升与敏感区温升之比、待测器件在初始温度下的初始电阻以及电阻温度系数；在变温环境中，对待测器件施加第一组测试电流以及第二组测试电流；生成至少一个参考系数函数；基于参考系数函数构建塞贝克系数获取模型，将参考系数输入塞贝克系数获取模型，输出与待测器件对应的塞贝克系数以及对应温度。通过在多组正负方向的电流激励下得到的热电堆传感器电阻响应曲线，无需添加额外的结构，即可获得宽温度范围内的塞贝克系数，具有测试方法简单，测量准确的特点。
红外热电传感器贝克系数测试方法

[发明专利]致密化方法和装置-CN201711416775.7有效
发明人： J·R·豪尔;M·R·马特森 -专利权人：波音公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：一种方法，其包括展现第一塞贝克系数的第一电极，展现大于第一塞贝克系数的第二塞贝克系数的第二电极，和在第一和第二电极之间的颗粒，其展现在第一塞贝克系数和第二塞贝克系数之间的第三塞贝克系数。
致密方法装置

[发明专利]一种热电材料的塞贝克系数测试装置-CN202211002327.3在审
发明人：张鹏;周泽坤;刘真;宁博;马倩云;吴高鹏 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明涉及热电材料塞贝克系数测试技术领域，特别是涉及一种热电材料塞贝克系数测试装置，包括设有密封腔的测试箱、用于向密封腔中输送干燥气体的供气系统和用于向密封腔中输送湿气的供汽系统；密封腔中设有湿度传感器、测试样件和塞贝克系数测试模块；供气系统、供汽系统和湿度传感器均与控制器电连接，湿度传感器向控制器发送密封腔内的空气湿度信息，控制器根据空气湿度信息控制供气系统或供汽系统开启，从而调节密封腔内湿度，因此，本发明的塞贝克系数测试装置能够调节密封腔中的空气湿度，从而实现对塞贝克系数测试模块所处环境的湿度调节。
一种热电材料贝克系数测试装置

[实用新型]一种热电材料的塞贝克系数测试装置-CN202222199597.X有效
发明人：张鹏;周泽坤;刘真;宁博;马倩云;吴高鹏 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及热电材料塞贝克系数测试技术领域，特别是涉及一种热电材料塞贝克系数测试装置，包括设有密封腔的测试箱、用于向密封腔中输送干燥气体的供气系统和用于向密封腔中输送湿气的供汽系统；密封腔中设有湿度传感器、测试样件和塞贝克系数测试模块；供气系统、供汽系统和湿度传感器均与控制器电连接，湿度传感器向控制器发送密封腔内的空气湿度信息，控制器根据空气湿度信息控制供气系统或供汽系统开启，从而调节密封腔内湿度，因此，本实用新型的塞贝克系数测试装置能够调节密封腔中的空气湿度，从而实现对塞贝克系数测试模块所处环境的湿度调节。
一种热电材料贝克系数测试装置

[发明专利]一种热电材料塞贝克系数测试装置及方法-CN201910960793.4在审
发明人：王雪强;王雪刚 -专利权人：王雪强
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种热电材料塞贝克系数测试装置及方法，属于半导体测试技术领域。将被测样品的塞贝克电压与镍铬‑镍硅差分热电偶的塞贝克电压进行比较，通过调节电压平衡回路中的可变电阻的滑臂，使电位差计指示为零，利用电压平衡的原理，可求出被测样品的塞贝克系数。本发明通过巧妙的电路设计，实现了只需对一个测试参量进行统计，提高了效率，并且不干扰被测样品的塞贝克系数，提高了精确度。本发明可用于铠装热电偶、热流密度传感器等的塞贝克系数测量，在测量大量样品时更有优势。
被测样品塞贝克系数电压平衡热电偶镍铬镍硅散热器热流密度传感器塞贝克系数测量加热器半导体测试铠装热电偶测试测试装置传统测试电路设计电位差计可变电阻热电材料样品两端直接测量参量滑臂可用温差测量统计

[发明专利]一种高阻值材料的塞贝克系数的测试芯片-CN201310197223.7有效
发明人：崔大付;蔡浩原;李亚亭;陈兴;张璐璐;孙建海;任艳飞 -专利权人：中国科学院电子学研究所
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量高电阻值材料的塞贝克系数的测试芯片。该芯片包括了芯片基底、两个温差加热电阻、两个样品固定装置、两个温度传感器。待测的高电阻值样品两端安装在两个样品固定装置间，实现良好的欧姆接触。芯片安装在塞贝克系数测试系统中，由温控装置将芯片加热到设定的测试温度。温差加热电阻按照设定的流程工作，在待测样品两端形成一定的温度梯度，高输入阻抗电压信号检测仪器采集在待测样品两端的塞贝克电压，同时，温度传感器测量待测样品两端的温度，根据测量得到的塞贝克电压信号和温差数据，可以求出被测材料的塞贝克系数。
一种阻值材料贝克系数测试芯片

[发明专利]热电输运参数高通量测量系统及方法-CN201810989600.3有效
发明人：郑利兵;刘珠明;孙方远;王大正;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种热电输运参数高通量测量系统及方法，该系统包括：三维平台，具有放置待测样品的X‑Y两轴移动平台，以及安装有四探针组件的Z轴移动平台，四探针组件用于测量待测样品的待测区域的电导率和塞贝克系数；热反射测量装置，用于将脉冲激光分为具有预设光程差的第一激光束和第二激光束，第一激光束用于加热待测样品的待测区域，第二激光束用于测量待测样品的待测区域热导率；第一激光束同时作为四探针组测量塞贝克系数的热源结合高精度X‑Y两轴移动平台，可以实现大尺寸样品的热导率的高通量测量，第一激光束作为四探针组测量塞贝克系数的热源可以巧妙的提高塞贝克系数的测量效率，进而能够实现电导率、塞贝克系数以及热导率等热电输运参数的高通量测量
热电输运参数通量测量系统方法

[发明专利]一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置-CN201210205677.X有效
发明人：曾华荣;陈立东;赵坤宇;惠森兴;殷庆瑞;李国荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于原子力显微镜的纳米热电能源材料多参量原位定量表征装置，用于检测一被测纳米热电材料样品的微区热导系数和塞贝克系数等热电物性参量，包括：一纳米热电多参量的原子力显微镜原位激励平台，用于提供纳米热电多参量激发所需的基本硬件平台，并实现原位同时激发纳米热电材料微区三倍频热导信号和微区稳态塞贝克直流电压信号；一纳米热电多参量原位检测平台，用于实现纳米热电材料微区热导和塞贝克电压的原位实时检测及数据处理，实时显示微区热导系数和塞贝克系数的定量表征结果本发明将原子力显微镜纳米检测功能、宏观热导率的三倍频检测原理及宏观塞贝克系数测试原理相结合，建立起基于商用原子力显微镜并兼具纳米级热激励和热电多参量检测特性的纳米原位评价装置。
一种基于原子显微镜纳米热电参量原位定量表征装置

[发明专利]一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法-CN201710148301.2有效
发明人：杨君友;侯晶迪;何煦;姜庆辉;任洋洋;辛集武;张旦;周志伟 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明属于半导体材料测试技术领域，具体涉及一种同时测量霍尔系数和塞贝克系数的装置及方法，该装置包括直行滑轨、磁铁组、测试探针和主加热器，直行滑轨两端分别放置有一个磁铁架，每个磁铁架上各设置有一对相同磁铁组本发明还公开了采用上述装置测量霍尔系数和塞贝克系数的方法。本发明有效的解决了塞贝克系数测量中对测量形状要求高的问题，能够测量不同大小形状的材料，也实现了在不同温度下的霍尔系数和塞贝克系数的测量，实现了自动化操作，测试精度高。
一种同时测量霍尔系数贝克装置方法

[发明专利]帕尔帖元件或塞贝克元件的结构及其制造方法-CN200580035593.4有效
发明人：近藤义臣;岩泽直孝 -专利权人：株式会社明电舍;近藤义臣;岩泽直孝
申请日： 2005-10-17 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： H01L35/32 文献下载
摘要：一种包括具有不同的塞贝克系数的第1和第2导电部件的帕尔帖或塞贝克元件。为了减小从每个导电部件中的一个到另一个的热传导，在长度方向上的中间部分的横截面面积小于两个端部的横截面的面积。可以通过将每个导电部件的中间部分的横截面分割为小块而改变横截面的形状、或使用非晶硅等导热系数低于两个端部的导热系数的材料作为中间部分，来代替横截面的减小。这样，提供一种高功能的帕尔帖/塞贝克元件及其制造方法，该帕尔帖/塞贝克元件的加热部分与相反部分之间的温差能够长时间保持为规定温差。
帕尔元件贝克结构及其制造方法

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