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[发明专利]基板载体-CN201811256002.1有效
发明人：裵豆植;林亢龙;高世元;李允美;金振湖;朴正大;李玟仙;李永澈 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。因此，可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。
载体

[外观设计]基板载体-CN201930390734.9有效
发明人：弗雷德·埃里克·鲁兰;萨米特·巴坦卡;维杰·D·帕克河;丹尼尔·李·迪尔;朱明伟;高滨宏行;兰迪·D·施密丁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：基板载体。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于承载半导体基板。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
载体

[发明专利]基板载体配置与夹持基板的方法-CN201380070954.3有效
发明人： C-C·杨;A·布吕宁;R·欣特舒斯特;S-H·林;C-H·林 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-01-28 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：提供一种基板载体配置，用以夹持具有将被处理的基板表面的基板。基板载体配置包括第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)。第二基板载体板(202)用以覆盖提供在第一基板载体板(201)中的开口(203)。基板(101)夹持在第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)之间，使得将被处理的基板表面(102)透过开口(203)露出以进行处理。
载体配置夹持方法

[发明专利]载体传输器以及利用其传输基板载体的方法-CN201310044499.1有效
发明人：李在南;金仁彻;金钟勋;粱熙相;元裕东;李成烈;李钟仁;张珉九;全佑哲 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2013-02-04 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了用于自动传输基板载体的载体传输器以及利用其传输基板载体的方法。载体传输器包括可拆卸地耦接到基板载体的夹具，该基板载体包括至少一个敞开门，多个基板通过该敞开门装载到基板载体中或从基板载体卸载。载体传输器还包括门阻挡单元，该门阻挡单元固定到夹具并配置为转换至阻挡位置，该阻挡位置为门阻挡单元的部分地阻挡所述门的位置从而在基板载体的自动传输期间防止多个基板从基板载体分离。
载体传输以及利用方法

[发明专利]基板处理系统-CN201380078943.X在审
发明人：武田直也;平冢昌夫;上野真义 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2013-11-22 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：能够搬送多个垂直地搭载处理对象的基板的基板载体的基板处理系统，且包括：基板移载装置，将基板移载到基板载体；工艺处理装置，以安装于基板载体的基板为处理对象；搬送装置，使基板载体在基板移载装置与工艺处理装置间循环；以及基板载体移载机构，具有连结于搬送装置的分支路、及存储沿分支路移动的基板载体的存储区域，在存储区域中，将基板载体从基板处理系统取出。
处理系统

[发明专利]用于重新定位用于基板载体的支架的方法和设备-CN200510113300.1有效
发明人： M·R·艾利奥特;M·R·莱斯 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2005-07-14 - 公布日： 2006-05-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：该第一方法包括步骤：(1)使用末端执行器以通过基板载体的底部支撑基板载体；(2)将基板载体自末端执行器转移到中间支撑位置，其中中间支撑位置通过基板载体的底部支撑基板载体；(3)接近基板载体的架空转移凸缘重新定位末端执行器；(4)使用末端执行器以通过基板载体的架空转移凸缘支撑基板载体；和(5)自中间支撑位置转移基板载体。
用于重新定位载体支架方法设备

[发明专利]具有保护覆盖物的基板载体系统-CN201580024181.4有效
发明人：王作乾;J·M·怀特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本文中公开的实施例一般涉及一种适于夹紧基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。在一个实施例中，提供基板载体系统，该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠。该基板载体主体被配置成被传输进出处理腔室。该保护层堆叠具有多个可移除的保护层，该多个可移除的保护层可视需要被移除，以暴露“新的”表面，以用于在其上夹持基板。
具有保护覆盖载体系统

[实用新型]用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块-CN202022887216.8有效
发明人：莱内尔·欣特舒斯特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：描述了一种用于支撑基板载体的设备、一种基板载体以及一种基板装载模块。所述设备包括载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置并且所述载体锁定机构包括主体(145)和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置
用于支撑载体设备以及装载模块

[发明专利]基板载体和处理基板的方法-CN201780005584.3在审
发明人：马蒂亚斯·赫曼尼斯;奥利弗·黑梅尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-01-31 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述一种用于在沉积期间保持基板(10)的基板载体(100)。基板载体包括：静电吸盘(120)，所述静电吸盘(120)经构造以用于吸引基板朝向基板载体(100)的支撑表面(102)；和磁性吸盘(130)，所述磁性吸盘(130)经构造以用于吸引掩模(20)和/或掩模框架(25)朝向基板载体的支撑表面(102)，其中静电吸盘(120)和磁性吸盘(130)整合在基板载体的载体主体(101)中。
基板载体磁性吸盘静电吸盘支撑表面基板处理基板方法描述掩模框架载体主体掩模整合沉积吸引

[实用新型]压力检测装置及包含其的基板研磨系统-CN201821330472.3有效
发明人：权宁奎;赵珳技 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：公开了压力检测装置及包含其的基板研磨系统。根据一个实施例的对基板进行夹紧并移动的基板载体的压力检测装置配置于所述基板载体的移动路径上，通过所述基板载体得到加压，由此可以检测所述基板载体的压力。
基板载体压力检测装置基板研磨移动路径对基板夹紧加压检测移动配置

[发明专利]化学机械研磨设备、方法及系统-CN201110116264.X有效
发明人：夫在弼;金东秀;徐建植;全灿云;潘俊昊;具滋铁 -专利权人：三星电子株式会社;K.C.科技股份有限公司
申请日： 2011-05-03 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学机械研磨设备、方法及系统，该化学机械研磨系统包含：至少一个研磨压板，以可旋转方式予以安装，其中，压板垫装配于该至少一个研磨压板的上部表面上；导轨，沿着预定的路径予以安置；基板载体单元，包括用以在研磨程序期间向下按压基板的旋转式管套，该基板载体单元在装载有该基板时沿着该导轨移动；衔接单元，经安装以衔接至该基板载体单元，以便在该基板载体单元定位于该研磨压板上方时，将空气压力供应至向下按压由基板载体单元固持的基板的旋转式管套，因此，即使移动该基板载体单元以在该复数个研磨压板上连续地研磨该基板，该基板载体单元也实质上消除由该基板载体单元的移动所引起的空气压力供应管的扭转的现象。
化学机械研磨设备方法系统

[发明专利]包括磁性门密封件的基板载体门组件、基板载体和方法-CN201680028525.3在审
发明人：约翰·J·马佐科;尼尔·玛利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-04-15 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： E05C19/16 文献下载
摘要：一种基板载体门组件，包括可被调变的相对高的密封力。基板载体门组件包括配置为密封至载体主体的载体门、该载体主体上的第一吸引构件和该载体门上的第二吸引构件。吸引构件选自以下组磁性材料和永久磁铁。基板载体门组件包括磁场产生器，该磁场产生器可通电以减少该吸引构件之间的吸引力，使得该载体门相对容易移除，还在未通电时提供强化的密封。提供了包括基板载体门组件的基板载体和处理基板的方法。还公开包括端口和磁性端口密封件的基板载体，该端口配置为允许气体被注射进载体腔室或从该载体腔室移除，还公开许多其他态样。
包括磁性密封件载体组件方法

[发明专利]用于输送基板载体的真空锁和方法-CN201880077671.4在审
发明人：伯恩哈德·科德;迈克尔·赖斯;迪特尔·谢尔格 -专利权人：新格拉斯科技集团
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种用于真空涂布设备的真空锁(10)包括：腔室(30)，用于接纳基板载体(20)，其中腔室(30)包括第一内表面(31)和第二内表面(32)。输送机(40)被配置为用于输送基板载体(20)。真空锁(10)包括流动通道组件(51、52、56、57)，用于使腔室(30)抽空和排气，流动通道组件(51、52、56、57)被配置为既在第一内表面(31)与面向第一内表面(31)的第一基板载体表面(21)之间并也在第二内表面(32)与面向第二内表面(32)的第二基板载体表面(22)之间引起气体流动。基板载体(20)可定位在第一内表面(31)与第二内表面(32)之间，使得第一内表面(31)与第一基板载体表面(21)之间的第一距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1，并且第二内表面(32)与第二基板载体表面(22)之间的第二距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1。
用于输送载体真空方法

[发明专利]承载板及其制法-CN201010003899.4有效
发明人：陈嘉音;王愉博;祁成伟;黄建屏;柯俊吉 -专利权人：矽品精密工业股份有限公司
申请日： 2010-01-15 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： H01L23/13 文献下载
摘要：本申请公开一种承载板及其制法，其中承载板包括：基板载体；封装基板，嵌设于该基板载体中；以及多个第一定位孔，贯穿该基板载体的第一及第二表面，且设于各该封装基板的周围。本发明排除有瑕疵的封装基板，而将无瑕疵的封装基板嵌设于该基板载体中以免除后续制造方法的浪费，且将该封装基板直接嵌设于该基板载体中，而能简化制造方法及节省材料成本。本发明进一步提供一种承载板的制法。
承载及其制法

[发明专利]打开装置-CN201980043525.4在审
发明人： T·朔贝尔;B·拉赫巴赫;C·沃汉卡;Y·芬纳;G·多维德;J·菲德斯 -专利权人：村田机械株式会社
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种打开装置，其容纳并打开在竖直方向上堆叠的基板载体的基板载体堆叠体，该打开装置包括运动机构，在打开操作中，该运动机构使所有基板载体或基板载体子组沿着竖直轴线相对于彼此移动，以呈未堆叠状态，并定位在打开装置内限定的竖直打开位置，且在未堆叠状态下竖直相邻的基板载体之间具有竖直距离。在关闭操作中，打开装置还使处于未堆叠状态的基板载体相对于彼此沿竖直轴线相对移动，以恢复堆叠状态。
打开装置

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