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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]垂直探针卡-CN202310902811.X在审
发明人：孙锐锋;潘飞;刘竣;周德祥;刘建辉 -专利权人：天芯互联科技有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明属于探针卡技术领域，具体涉及一种垂直探针卡，包括主PCB板、第一转接PCB板、第二转接PCB板、探针固定结构和探针头组件；所述第一转接PCB板与所述主PCB板相连，且所述第一转接PCB板的引脚与所述主PCB板的引脚电连接；所述第二转接PCB板与所述探针固定结构相连，所述探针头组件可拆卸装配在所述探针固定结构上，所述探针头组件的一端与所述第二转接PCB板的引脚电连接，另一端伸出所述探针固定结构，用于与待测试芯片接触本发明提供了一种垂直探针卡，以解决因空间排布限制，探针卡不能同时具备高针数、小Pitch、传输速率高、且可更换维修的问题。
垂直探针

[发明专利]垂直探针卡-CN201710352127.3有效
发明人：殷岚勇;施元军;刘凯 -专利权人：苏州韬盛电子科技有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种垂直探针卡，包括：PCB板、盖板及探针，PCB板上设有底孔及PCB焊盘，盖板上设有盖孔，盖板设置在PCB板上，且盖孔与底孔同轴对应设置，探针容置盖孔与底孔内，其中探针包括探头，探头伸出至盖板外，用于与芯片接触，探针中部设置有一突出部，与PCB焊盘接触，探头至突出部之间的探针为导体，由于探头至突出部之间的距离小于探针体的长度，使得信号不需要通过整个探针体的长度进行传输，缩短的信号传输距离，从而减少探针传输过程中的信号损失
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡-CN200910223617.9有效
发明人：范宏光;洪文兴;陈弘仁 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2009-11-13 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供了一种垂直式探针卡，包含：一多层模块、多个具变形能力的从动件、一绝缘导引板以及多个探针。多个从动件固定并电性连接于多层模块的一空间转换层，绝缘导引板则开设多个导孔，致使每一与从动件分离的探针可滑移地装卸在对应的导孔内。测试时，探针针尖抵触待测物而受力在导孔内滑移，具有变形能力的从动件可抵制探针的位移而变形以吸收外力。
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡-CN201010134525.6有效
发明人：林德坤 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2010-03-16 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种垂直式探针卡，包含多根探针和用以支撑探针的探针持体。探针持体包含下导板、上导板、辅助固定片和支撑装置。下导板具有第一凹陷部，此第一凹陷部具有多个第一贯穿孔。每一探针穿设于第一贯穿孔的一个、第二贯穿孔的一个和固定孔的一个中，如此可使探针持体支撑探针。
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡-CN200510091412.1有效
发明人：卢笙丰 -专利权人：采钰科技股份有限公司
申请日： 2005-08-10 - 公布日： 2007-02-14 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：一种垂直式探针卡，包含有一电路板、一导引机构，以及多数探针；电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各导电槽具有一环壁，导引机构具有多数穿孔，导引机构设于电路板具有导电槽的表面，而各探针具有一第一端以及一第二端；第一端设于导电槽内，使探针抵接于环壁，并且电性连接于电路板，第二端则穿设于导引机构的穿孔。
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡-CN200510051673.0无效
发明人：洪文兴 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2005-02-16 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：一种垂直式探针卡，包含有一电路板以及一针组；针组具有一基部与若干探针，各探针是设于基部，且电性连接于电路板；各探针具有一中间部以及一针尖部，中间部是设于基部与针尖部之间，中间部的弹性系数小于基部的弹性系数
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡的探针-CN200810098449.0无效
发明人：陈彬龙;陈皇志 -专利权人：祐邦科技股份有限公司
申请日： 2008-05-23 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明揭示一种垂直式探针卡的探针。本发明的技术手段主要是在垂直式探针卡的探针针尖处约1～10密耳的表面上，镀上纳米镀膜厚度为1～20纳米的高导电性高分子材料。借助于这种镀膜，本发明垂直式探针上的纳米镀膜可有效地使探针具备不沾粘、高导电性、降低接触力、延长寿命的优良质量，因此可以提高晶圆测试的良率，降低探针的清洁频率，并降低整体测试成本。
垂直探针

[发明专利]垂直式探针卡之探针装置-CN201711115635.6在审
发明人：李文聪;谢开杰 -专利权人：中华精测科技股份有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本揭示提供一种垂直式探针卡的探针装置包括一导板组合以及至少一探针。导板组合包括一上导板、一下导板以及至少一中间导板。上导板具有至少一垂直贯通的上开孔。下导板具有至少一垂直贯通的下开孔，且至少一下开孔与至少一上开孔对应设置。至少一中间导板位在上导板与下导板之间且具有至少一垂直贯通的中间开孔。至少一探针通过至少一上开孔、至少一中间开孔、和至少一下开孔，用以电性接触一待测组件的一接触垫。其中，至少一探针具有至少一弹性弯折结构连接至少一探针的两端，至少一弹性弯折结构设置在上导板上且对应至少一上开孔。
导板上导板上开孔探针垂直贯通垂直式探针卡弹性弯折探针装置中间开孔下导板开孔待测组件电性接触结构连接结构设置接触垫下开孔

[发明专利]垂直式探针卡之探针装置-CN201611192156.X有效
发明人：李文聪;谢开杰 -专利权人：中华精测科技股份有限公司
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种垂直式探针卡之探针装置，包含：一导板组合以及至少一探针组，所述导板组合包含：一第一导板、一第二导板，以及一中间导板，位在所述第一导板与所述第二导板之间。每一所述至少一探针组具有一第一探针、一第二探针以及至少一电性连接件，所述至少一电性连接件连接所述第一探针以及所述第二探针。所述至少一探针组用于分别通过所述至少一上开孔、所述至少一中间开孔和所述至少一下开孔，藉由所述至少一探针组电性接触一待测组件之至少一接触垫并且所述至少一接触垫与所述至少一电性探针组相互抵靠，使所述至少一探针组于一纵向产生变形
垂直探针装置

[发明专利]垂直式探针卡及其矩形探针-CN201910223308.5有效
发明人：刁盈铭;曾照晖;谢开杰 -专利权人：台湾中华精测科技股份有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明公开一种垂直式探针卡及其矩形探针，所述矩形探针包含上接触段、下接触段、及位于上接触段与下接触段之间的梳形区段。梳形区段包含U形部与至少一个梳齿部。
垂直探针及其矩形

[发明专利]垂直式高频探针卡-CN200710128434.X有效
发明人：林信宏;顾伟正;陈建良;吴世昌;陈明祈;洪文兴 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2007-07-10 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明一种垂直式高频探针卡，包括有一电路板及一探针组，电路板上设置有多数个信号线路及接地线路，与各信号线路相邻特定的间距上设有至少一接地线路，接地线路电性导通至一接地面；探针组位于电路板下方，具有一导电层、多数个信号探针、多数个补偿探针、至少一接地探针、一上导板及一下导板，上导板设于电路板上，各探针为正向穿设二导板，导电层设于下导板上且补偿探针及接地探针皆与导电层电性接触，各信号探针电性连接各信号线路，与各信号探针相邻特定的间距上并列设置有至少一补偿探针，各补偿探针与接地面电性导通。
垂直高频探针

[发明专利]探针卡检查晶片和探针卡检查系统-CN201910428101.1在审
发明人：池俊洙;金檀义;南汉直;郑晋宇 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本公开提供了探针卡检查晶片和探针卡检查系统。探针卡检查晶片包括基底晶片以及在基底晶片上且彼此间隔开的第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片，其中位于基底晶片上的第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个被分成探针垂直高度检查区域、探针水平位置检查区域和接触检查区域，其中第一探针卡检查芯片和第二探针卡检查芯片的每个包括第一焊盘阵列和第二焊盘阵列，该第一焊盘阵列位于探针垂直高度检查区域上并配置为用于检查要被检查的探针卡的第一交流(AC)探针和第二交流(AC)探针的垂直高度，该第二焊盘阵列位于探针垂直高度检查区域上并配置为用于检查要被检查的探针卡的第一VSS探针和第二VSS探针的垂直高度。
探针检查晶片系统

[发明专利]垂直式探针卡及其悬臂式探针-CN202010522497.9在审
发明人：李文聪;魏逊泰;谢开杰;苏伟志 -专利权人：中华精测科技股份有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明公开一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，所述悬臂式探针包含一主体段、分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成的两个侧翼段及分别自所述主体段于高度方向上的两端延伸所形成的一针测段与一固定段。所述针测段在垂直所述高度方向的长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。据此，通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。
垂直探针及其悬臂

[发明专利]垂直式探针卡及其栅栏状探针-CN202210340606.4在审
发明人：苏伟志;曾照晖;郑皓严;陈美惠 -专利权人：台湾中华精测科技股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明公开一种垂直式探针卡及其栅栏状探针。所述栅栏状探针具有介于5毫米～8毫米之间的一针长度。所述栅栏状探针包含一栅栏段、一陶瓷层、一连接段与一测试段。据此，通过所述栅栏状探针的结构设计，以使得所述栅栏段上可以在特定位置采用所述陶瓷层来取代既有的高分子绝缘层，进而有效地提升所述栅栏状探针的散热效果。
垂直探针及其栅栏

[发明专利]一种垂直探针及探针卡-CN202211195564.6有效
发明人：张威;刘志广 -专利权人：深圳市道格特科技有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂直探针及探针卡，用于与半导体晶圆测试用凸点的电性接触，所述垂直探针包括固定端、连接部和探测端，所述固定端、所述连接部和所述探测端自上至下依次连接，所述探测端具有至少一个夹爪，每个所述夹爪包括一对接触臂所述连接部的S型弯曲结构使所述垂直探针在受到屈曲应力作用时，使所述探测端上下垂直移动；所述探测端下压，使多个所述接触臂环绕于凸点周围，使所述探测端与凸点稳定接触，且所述探测端上下垂直移动，避免对凸点造成损伤
一种垂直探针

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