专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]反应气体可均匀扩散的立式扩散-CN202123005186.4有效
  • 何威威 - 苏州欣威晟电子科技有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-05-27 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了扩散炉技术领域的反应气体可均匀扩散的立式扩散炉,包括立式扩散炉本体和晶圆本体,所述立式扩散炉本体的左侧设有分流箱,所述分流箱的进气口连通有进气管,且进气管上设有气泵,所述分流箱的内腔右侧设有引导块,所述分流箱的上下两端均开设有气孔,两组所述气孔通过连通管连通立式扩散炉本体的内腔上下两端,两组所述连通管的底端连接有连接管,两组所述连接管的底端设有炉内管,所述炉内管的一侧开设有若干组出气孔,所述立式扩散炉本体的出气口连通有出气管,本实用新型提高了反应气体输出的均匀性,保证了不同晶圆本体表面薄膜生长的厚度和质量一样,且提高了连通管与分流箱连接的密封性,可防止反应气体泄漏。
  • 反应气体均匀扩散立式
  • [实用新型]改善扩散方阻均匀性的扩散-CN201020547743.8无效
  • 蒋文曲 - 常州天合光能有限公司
  • 2010-09-29 - 2011-06-01 - F27B17/00
  • 本实用新型涉及扩散炉技术领域,特别是一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉,它包括炉管,炉管上的进气口和尾气管,在进气口设置气流均匀分散器。由于现有扩散设备在扩散过程中,工艺气体直接从炉管尾进气口进入炉管,没有分散,造成炉管内气流不均匀,最终造成扩散后方阻均匀性较差。通过在炉尾进气口添加匀流器,可以有效地改善气流均匀性,最终达到方阻均匀性改善的效果。
  • 改善扩散均匀
  • [实用新型]一种扩散均匀且高效的扩散-CN202122560862.8有效
  • 刘益 - 刘益
  • 2021-10-25 - 2022-04-29 - C30B31/00
  • 本实用新型公开了一种扩散均匀且高效的扩散炉,包括底座,所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体,所述底座内腔的顶部固定连接有调节壳,所述调节壳内腔的顶部固定连接有第一电机,所述第一电机输出端的两侧均固定连接有螺纹杆本实用新型通过设置第一电机、螺纹杆、螺纹套、连接杆、压板、支撑杆、稳定板、滑杆、滑套、齿板、第二电机、齿轮、移动轮、卡槽、气缸和卡杆,解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题,该扩散均匀且高效的扩散
  • 一种扩散均匀高效
  • [实用新型]一种扩散均匀且高效的扩散-CN202221751707.2有效
  • 刘明利;王佩佩;周文智 - 青岛赛尔科技有限公司
  • 2022-07-08 - 2022-09-27 - C30B31/06
  • 本实用新型公开了一种扩散均匀且高效的扩散炉,包括炉体,所述炉体的底部一侧固定连接有固定板,所述固定板远离炉体的一端固定连接有壳体,所述壳体的底部固定安装有电机,所述炉体与壳体之间共同安装有传动组件,且传动组件与电机的驱动轴之间相连接本实用新型中,通过设置的电机、传动组件、旋转组件和布气组件,可以均匀且快速的将扩散源气体分布到炉体内,避免出现一侧浓度高一侧浓度低的问题,使得炉体内部硅片的反应速度和扩散速度接近,不仅提高了硅片的扩散效率
  • 一种扩散均匀高效
  • [实用新型]均匀扩散型除酸雾装置-CN201720736583.3有效
  • 张健;刘群;陈银根;王晓颜;张毅 - 铜陵市华兴化工有限公司
  • 2017-06-23 - 2018-01-09 - B01D53/78
  • 本实用新型公开了均匀扩散型除酸雾装置,它包括塔体,所述塔体包括由下至上的底槽(1)、填料层(2)、喷淋层(3)和折流除沫层(4),所述底槽和填料层之间的塔壁上开设有烟气进口(5),所述底槽内中部固接有立柱本实用新型的有益效果是烟气进入塔体后被旋转的叶片带动形成环流,在塔体内部空间均匀扩散后再进入填料层、喷淋层、折流除沫层,保证填料层、喷淋层和折流除沫层能够充分利用,同时提高各层的使用效果。
  • 均匀扩散装置
  • [发明专利]用于半导体制造过程中的扩散室及其扩散方法-CN201310538055.3有效
  • 叶瑾琳;廖世蓉 - 叶瑾琳;廖世蓉
  • 2013-11-04 - 2014-02-26 - C30B31/16
  • 本发明涉及用于半导体制造过程中的扩散室及其扩散方法。通过扩散控制装置,使扩散源由点变成了和半导体样品平行的面,相当于使扩散源到样品每个区的距离一样,并可控制浓度高低和扩散深度,以在半导体制造过程中控制扩散通量;使扩散浓度和深度的均匀性大大提高,源材料在半导体样品里浓度均匀分布,从而大大提高样品的整体均匀性和成品率。由于扩散控制装置及其扩散路径离扩散源(源材料)很近,源材料一经挥发,扩散控制装置先起阻挡作用,使得扩散控制装置的下表面迅速被源材料均匀充满,再经过扩散路径重新分配,均匀到达样品各个区域。
  • 用于半导体制造过程中的扩散及其方法
  • [实用新型]一种食品蒸气袋加工用耐高温检测装置-CN202022414564.3有效
  • 莫小伟 - 杭州宏畔纸塑包装有限公司
  • 2020-10-27 - 2021-07-27 - G01N25/00
  • 本实用新型公开了一种食品蒸气袋加工用耐高温检测装置,包括蒸气锅;存水区,存水区设置在蒸气锅内下部;储物桶,储物桶设置在存水区上方,且下半部分插入设置在蒸气锅内;蒸气扩散区,蒸气扩散区设置在存水区与储物桶之间;其中,蒸气扩散区由一扩散装置阻断形成,蒸气扩散区包括均匀扩散区和侧扩散区、侧扩散区设置在均匀扩散区的外侧;扩散装置包括设置在均匀扩散区下方的扩散板和设置在侧扩散区下方的镂空安装部,扩散板通过镂空安装部安装在蒸气锅内有益效果为:通过扩散装置使得蒸汽进入侧扩散区、均匀扩散区,增加了蒸汽进行流动性,使得蒸汽对于储物桶的加热更加的均匀,在节约成本的前提下提高了检测的精确度。
  • 一种食品蒸气工用耐高温检测装置
  • [发明专利]一种均匀加热的退火炉-CN202010472273.1在审
  • 石丽红 - 金汇创鑫智能科技(天津)有限公司
  • 2020-05-29 - 2020-08-07 - C21D9/00
  • 本发明涉及退火炉技术领域,具体涉及一种均匀加热的退火炉。包括密封的退火炉主体,所述退火炉主体包括用来加热气体的加热部以及用来安放退火零件的退火部,所述加热部通过一均匀传热扩散机构连通退火部,所述均匀传热扩散机构包括若干用来扩散加热气体的扩散装置,以及为各个扩散装置均匀提供加热气体的导流装置本发明设备设置有均匀传热扩散机构,传热扩散机构连通加热部与退火部,使得从加热部进入退火部的加热气体能够均匀扩散进入退火部,实现退火部内受热的均匀
  • 一种均匀加热退火炉
  • [实用新型]扩散结构-CN201020692185.4有效
  • 唐建国;刘序璋 - 骏熠电子科技(昆山)有限公司
  • 2010-12-22 - 2011-08-31 - G02B6/00
  • 本实用新型涉及一种扩散结构,扩散结构包含一第一光扩散片、至少一光均匀层与至少一色彩层,第一光扩散片设于至少一光源的一侧,光均匀层与第二涂布与于第一光扩散片,色彩层涂布于光均匀层,通过第一光扩散片以将光源的光线均匀导出,并且通过光均匀层与色彩层让具有色偏的光源所发的光线导正,以增加扩散结构于使用上的便利性。
  • 扩散结构
  • [实用新型]一种均匀加热的退火炉-CN202020942231.5有效
  • 石丽红 - 金汇创鑫智能科技(天津)有限公司
  • 2020-05-29 - 2021-02-09 - C21D9/00
  • 本实用新型涉及退火炉技术领域,具体涉及一种均匀加热的退火炉。包括密封的退火炉主体,所述退火炉主体包括用来加热气体的加热部以及用来安放退火零件的退火部,所述加热部通过一均匀传热扩散机构连通退火部,所述均匀传热扩散机构包括若干用来扩散加热气体的扩散装置,以及为各个扩散装置均匀提供加热气体的导流装置本实用新型设备设置有均匀传热扩散机构,传热扩散机构连通加热部与退火部,使得从加热部进入退火部的加热气体能够均匀扩散进入退火部,实现退火部内受热的均匀
  • 一种均匀加热退火炉

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