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[发明专利]双紧缩场天线量测室及其天线量测装置-CN202010399440.4在审
发明人：孙卓勋;何松林;钟瑞泰;李国筠;邱宗文 -专利权人：川升股份有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01R29/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种双紧缩场双紧缩场天线量测装置包括中继反射镜、第一凹面反射镜、第二凹面反射镜射镜及标准天线。第一凹面反射镜的焦点及第二凹面反射镜的焦点共同位于中继反射镜的上的一反射点，且标准天线所发射出的测试电磁波是依序通过第一凹面反射镜、中继反射镜、第二凹面反射镜传播到达待侧天线装置被接收。藉此，本发明通过第一凹面反射镜将标准天线的测试电磁波聚焦成一点，解决了传统紧缩场技术标准天线不是点波源的问题。
紧缩天线量测室及其装置

[发明专利]具有光瞳遮蔽的物镜-CN200610079853.4无效
发明人： H·－J·曼;W·乌尔里希 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2002-08-16 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：物镜(1)具有：第一部分物镜(3)，其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一中央镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二中央镜孔径(19)的第二凹面镜(17)，所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距，且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值；以及第二部分物镜(5)，其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三中央镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四中央镜孔径(27)的第四凹面镜(25)，所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距Z_M3－IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径Du_M3具有下述关系：(I)，所述物镜(1)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。
有光遮蔽物镜

[发明专利]具有光瞳遮蔽的物镜-CN02812100.7无效
发明人： H·－J·曼;W·乌尔里希 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2002-08-16 - 公布日： 2004-07-28 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：物镜(1)具有：第一部分物镜(3)，其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一中央镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二中央镜孔径(19)的第二凹面镜(17)，所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距，且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值；以及第二部分物镜(5)，其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三中央镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四中央镜孔径(27)的第四凹面镜(25)，所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距Z_M3－IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径Du_M3具有下述关系：(I)，所述物镜(1)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。
有光遮蔽物镜

[发明专利]用于投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜-CN202180052698.X在审
发明人： A·温克勒;M·恩德雷斯;M·帕特拉;M·拉莫拉;A·伊萨克;T·费希尔 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：光瞳分面反射镜为投射曝光设备的照明光学单元的构成部分，其除了光瞳分面反射镜之外，还包含具有多个可切换场分面(20)的场分面反射镜。照明通道(25)借助于场分面反射镜的一个相应场分面(21)和光瞳分面反射镜的一个相应光瞳分面(23)来指定。场分面(21)的图像(26)经由光瞳分面(23)以重叠方式成像到物场中。可倾斜的光瞳分面(23)与光瞳分面反射镜的倾斜致动器系统(27)相互作用。(25)的场分面图像(26)相对于物场的相对位置。这产生了光瞳分面反射镜，在照明光学单元中使用该光瞳分面反射镜可提高使用的灵活性，且特别是有助于观察投射曝光设备的精确照明参数指定。
用于投射曝光设备照明光学单元光瞳分面反射

[发明专利]在像场中成像物场的成像光学系统和照明物场的照明光学系统-CN201080037247.0有效
发明人：汉斯-于尔根.曼;约翰尼斯.泽尔纳;奥雷利安.多多克;马科.普雷托里厄斯;克里斯托夫.门克;威廉.乌尔里克;马丁.恩德雷斯 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：一种具有多个反射镜的成像光学系统，该多个反射镜将物平面(11)中的物场(9)成像到像平面(14)中的像场(13)中。至少一个所述反射镜的反射面被构造为不能通过旋转对称函数描述的自由形状面。所述物场的纵横比大于(x/y)1，物场的最小和最大横向尺寸的比小于0.9。在另一方面中，物场(9)和/或像场(13)偏离镜面对称场形状。用于照明物场(9)的照明光学系统(10)具有引导照明光(3)的组件，所述组件被设计为照明相应形成的物场(9)。结果，在配备了上述反射镜的成像光学系统、照明光学系统和透射曝光系统中，考虑对由成像光学系统成像的场上的成像误差的校正的更高的要求。
像场中成像光学系统照明

[发明专利]照明均匀性像素化补偿方法及装置-CN202211715746.1在审
发明人：罗先刚;赵立新;何渝;吴斯翰;李奕;张绍宇;邵洪禹;成小龙 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本公开提供一种照明均匀性像素化补偿方法及装置，方法包括：获取目标均匀性照明场光强分布图像；基于反演模型对目标均匀性照明场光强分布图像进行反演，得到第一数字微镜调控图像；将第一数字微镜调控图像输入数字微镜阵列对照明系统进行光场调控该方法及装置实现了照明场光强分布的实时补偿，保证长时间稳定地维持照明系统输出的照明场光强分布均匀性。
照明均匀像素补偿方法装置

[实用新型]一种多波段共轴自准直校准光路结构-CN201520948659.X有效
发明人：蔡珂珺;刘效东;高雪军;李刚;陈巍;郭明 -专利权人：江苏北方湖光光电有限公司
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多波段共轴自准直校准光路结构，主反射镜、次反射镜、场镜、分光镜、半反半透镜、白光分划板、白光光源和探测器组成白光光路结构，白光分划板位于物镜焦平面，白光光源均匀照射到白光分划板上，通过半反半透镜、分光镜、场镜、次反射镜和主反射镜成自准直像，自准直像的中心和探测器的中心调校一致；主反射镜、次反射镜、场镜、分光镜、红外分划板和热源组成红外光路结构，热源均匀照射到红外分划板上，通过分光镜、场镜、次反射镜和主反射镜成自准直像
一种波段校准结构

[实用新型]一种激光在全面屏打二维码的装置-CN201921165282.5有效
发明人：段光前;黄树平;童杰;陈文成 -专利权人：武汉先河激光技术有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：一种激光在全面屏打二维码的装置，所述装置包括激光器、扩束镜、扫描振镜、场镜以及与扫描振镜配套的振镜运动控制器，待打印二维码的全面屏位于所述场镜的激光光束输出端，所述激光器发出的激光光束依次经所述扩束镜、所述扫描振镜、所述场镜聚集至待打印二维码的全面屏上，所述扫描振镜与所述振镜运动控制器连接，所述振镜运动控制器用于对扫描振镜的扫描参数进行控制，从而在全面屏上打印出需要的二维码图案。本实用新型提供的一种全新的二维码打印装置，通过激光进行二维码打码，通过扩束镜、扫描振镜和场镜，将激光器出来的光整成直径非常小的聚焦光斑，这样可以在指定码的位数情况下，把二维码做的更小，满足市场需求。
一种激光全面二维码装置

[发明专利]大口径光束准直测量装置-CN201610049847.8有效
发明人：刘代中;张嘉琛;康俊;周剑 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-01-25 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种基于远场采样的大口径光束准直测量装置，包括空间滤波器小孔、第一空间滤波器透镜、第二空间滤波器透镜、第一漏光反射镜、缩束透镜、由近场成像透镜和近场探测器构成的近场成像系统、由远场成像透镜和远场探测器构成的远场成像系统，所述近场探测器的输出端和远场探测器的输出端分别与计算机相连，该计算机与准直调整马达反射镜组相连，该准直调整马达反射镜组由第一马达反射镜和第二马达反射镜组成；其特征在于，还包括楔板、直角棱镜、全反镜和装配于导轨上的能量计
口径光束测量装置

[发明专利]一种激光划线装置-CN202210771771.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：广东利元亨技术有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：发射器包括安装板以及设置于安装板上的激光发射器、调整镜以及场镜。通过使得设置在场镜和激光发射器的激光路线之间的调整镜相对安装板位移，以改变激光通过调整镜后的反射路径，以此使得调整后的激光最终射向场镜的中心，提高激光经场镜射出后形成的光斑的聚焦质量，从而提高了划线质量
一种激光划线装置

[实用新型]一种激光聚焦系统-CN201520955466.7有效
发明人：杜习占;王艳红 -专利权人：深圳市欧亚自动化机械有限公司
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光聚焦系统，包括：激光输出装置；振镜，所述振镜设置于所述激光输出装置的输出口；场镜，所述场镜设置于所述振镜上，其中，所述激光输出装置所输出的激光从所述振镜和场镜后穿出；可见光输出装置
一种激光聚焦系统

[发明专利]一种红外双谱段傅里叶变换成像光谱仪-CN202110605535.1有效
发明人：吕金光;梁静秋;王惟彪;秦余欣;陶金 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种红外双谱段傅里叶变换成像光谱仪，被测目标经扫描反射镜进入前置望远系统，前置望远系统将目标辐射信息成像到干涉系统中，干涉系统分为宽谱段干涉系统和精细光谱干涉系统，通过切换反射镜进行选通。两个干涉系统均由多级微反射镜、分束器和平面镜组成，多级微反射镜的结构特点使其能够对入射光场的相位进行调制形成调制光场。被平面镜反射的初始光场和调制光场再次相遇后发生干涉。利用分色镜将干涉光场分成中波红外和长波红外两个波段，经各自的中继成像系统在探测器上形成干涉图像。
一种红外双谱段傅里叶变换成像光谱仪

[实用新型]一种用于激光打标机的镜头防尘装置-CN202121187478.1有效
发明人：王磊;陈义红;陈义兵;杨辉;金鑫;黄凯;陈绍祥 -专利权人：武汉侨邑激光科技有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于激光打标机的镜头防尘装置，包括光路本体，光路本体的一端设有连接管，连接管的一端设有振镜本体，振镜本体的底端安装有场镜本体，场镜本体内壁的底部安装有镜片，光路本体的底端安装有吸盘，吸盘的底端设有离子风机，离子风机两边侧的底端均设有活动杆结构，两个活动杆结构的一端铰接有防尘结构，防尘结构位于场镜本体的底部与场镜本体位置相对应，本实用新型将一般的安装型的清理结构改为外设型的防尘结构，通过调整活动杆结构，使得防尘结构与场镜本体对应，使得离子风机吹出的带电离子的风，可以清理镜片上的灰尘，并防止灰尘粘附，防尘结构本身即使使用时间长也不会对镜片产生污染。
一种用于激光打标机镜头防尘装置

[实用新型]一种多片式激光场镜-CN202321274308.6有效
发明人：肖爽 -专利权人：武汉腾谱光电科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多片式激光场镜，涉及光学镜头技术领域，包括连接件和壳体，所述连接件内设置有一对第二凹槽，所述壳体外表面设置有一对第一凹槽，所述第一凹槽内滑动连接有与第一凹槽位置、尺寸相契合的活动块。本实用新型在需要对把场镜与连接件进行安装时，向下按压活动块使其收纳进第一凹槽内，使得把壳体放进连接件内对准第二凹槽后，松开活动块，使得弹簧带动活动块复位固定在第二凹槽内，从而有利于对场镜进行安装，便于对场镜的使用，同时在使用场镜时，转动防护壳，从而打开防护壳便于对场镜的使用，在不适用场镜时，转动防护壳使得关闭，通过固定扣对防护壳一侧进行固定，有利于对镜片进行保护，避免摩擦造成镜片损毁影响使用。
一种多片式激光

[实用新型]大视场紫外激光F‑theta扫描场镜及光学扫描系统-CN201720383868.3有效
发明人：庄怀港;谭羽 -专利权人：上海仪万光电科技有限公司
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及大视场紫外激光F‑theta扫描场镜及光学扫描系统。该大视场紫外激光F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜凹面朝向入射光侧的弯月正透镜与现有技术相比，本实用新型扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，在大视场角度下，扫描场镜的像差依然得到良好的校正，各视场的波像差均小于λ/10。该扫描场镜具有大的视场，而且结构紧凑简单，镜片加工容易，造价低廉。
视场紫外激光 theta 扫描光学系统