|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3386933个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]用于投射光刻的照明光学单元-CN201380027803.X有效
-
M.莫尔
-
卡尔蔡司SMT有限责任公司
-
2013-05-06
-
2017-04-05
-
G03F7/20
- 用于投射光刻的照明光学单元(32)利用照明光(14)照明物场(5)，要成像的物可布置在物场中。照明光学单元具有集光器，聚集用于光源对照明光(14)的发射。照明光学单元(32)还具有场分面反射镜(20)和瞳分面反射镜(21)，场分面反射镜和瞳分面反射镜均具有多个分面(22,23)。场分面(22)通过转移光学单元(21)成像至物场(5)。照明光学单元(32)还具有单独反射镜阵列(17)，单独反射镜阵列具有可以单独被驱动的方式倾斜的单独反射镜，所述阵列在照明光路(26)中布置在场分面反射镜(20)的上游，中间焦点(16)的下游。中间焦点(16)经由照明通道(14)成像到所述瞳分面反射镜(21)所在的空间区域(25)中，所述照明通道均由单独反射镜中的至少一个和场分面(22)中的至少一个形成并引导所述照明光(14)的部分束。
- 用于投射光刻照明光学单元
- [发明专利]用于EUV投射光刻的照明光学装置以及照明系统-CN201480060611.3有效
-
M.帕特拉
-
卡尔蔡司SMT有限责任公司
-
2014-08-25
-
2019-06-28
-
G03F7/20
- 本发明涉及一种用于EUV投射光刻的照明光学装置，所述照明光学装置用于照亮照明场，下游侧的成像光学装置(6)的物场(3)布置在所述照明场中。在物场(3)中又能够布置能沿物体移动方向(y)移动的物体(5)。照明光学装置的镜面分面反射镜(14)具有多个并排布置的分面(13)，用于反射地叠加地导引朝向物场(3)的一束EUV照明光(9)中的部分光束(9i)。所述镜面分面反射镜(14)布置为，使得各个分面(13)在镜面分面反射镜(14)上的位置和照明光部分光束(9i)在镜面分面反射镜(14)的相应各个分面(13)上的射击区域预设出用于物场(3)的场点的照明方向照明光部分光束(9i)在各个分面(13)上的射击区域的边缘轮廓预设出物场(3)的场形状。每个分面(13)具有连续的静态反射面(15)。
- 用于euv投射光刻照明光学装置以及系统
- [发明专利]EUV投射光刻的照明光学单元-CN201580069078.1有效
-
M.恩德雷斯;R.米勒;S.比林
-
卡尔蔡司SMT有限责任公司
-
2015-10-06
-
2020-04-24
-
G03F7/20
- 一种EUV投射光刻的照明光学单元(7)，用于以照明光(3)照明物场(8)。在物体位移方向(y)上可位移的待成像物体(19)可布置于物场(8)中。传输光学单元(14)通过照明通道，以叠加于彼此上的方式将场分面反射镜(5)的场分面成像至物场(8)中，所述照明通道各均已分配有所述场分面之一和光瞳分面反射镜(10)的一个光瞳分面。该叠加光学单元(14)具有布置于该光瞳分面反射镜(10)下游的至少两个用于掠入射的反射镜(12，13)。用于掠入射的反射镜(12，13)在物场(8)中生成由照明通道构成的照明光整体束(3G)的照明角带宽，该带宽对于平行于物体位移方向(y)的入射平面(yz)而言小于对于与其垂直的平面(xz)。
- euv投射光刻照明光学单元
- [发明专利]投射曝光设备的照明光学单元-CN201380013861.7有效
-
I.桑格
-
卡尔蔡司SMT有限责任公司
-
2013-03-05
-
2017-02-22
-
G03F7/20
- 一种投射曝光设备的照明光学单元(25)，用于将照明光(16)引向照明场(5)，光刻掩模(7)可布置在照明场(5)中。第一分面反射镜(19)具有多个单独反射镜(26)，所述多个单独反射镜(26)提供将照明光部分束(16i)引向照明场(5)的照明通道。单独反射镜(26)各具有多层反射涂层。第二分面反射镜(20)在照明光(16)的光束路径中布置在第一分面反射镜(19)的下游。第二分面反射镜(20)的相应分面(35)连同第一分面反射镜(19)的单独反射镜(26)的至少一个一起使将照明光部分束(16i)引向照明场(5)的照明通道完整。单独反射镜(26)布置成使相应照明光部分束(16i)以入射角(I)入射于单独反射镜(26)上，由此限定入射平面。
- 投射曝光设备照明光学单元
- [发明专利]用于微光刻的照明光学系统与光学系统-CN200980159125.6有效
-
马丁.恩德雷斯
-
卡尔蔡司SMT有限责任公司
-
2009-03-06
-
2012-04-18
-
G03F7/20
- 一种用于微光刻的照明光学系统被用于照明物场(12)。照明光学系统具有第一传输光学系统，用于引导由光源发出的照明光(3)。具有多个照明预设微面(25)的照明预设分面镜(7)布置在第一传输光学系统的下游。照明预设分面镜(7)通过照明预设分面镜(7)的边缘形状以及照明预设微面(25)的各个独立倾斜角，产生物场(12)的预设照明。第一传输光学系统和照明预设分面镜(7)的布置产生物场(12)的远心照明。根据另一方面的光学系统在照明预设分面镜与物场之间包括投射光学系统的入瞳平面，投射光学系统与照明光学系统一起作为用于微光刻的光学系统的一部分。在该另一方面中，第一传输光学系统与照明预设分面镜的布置使得实现了与投射光学系统的入瞳适配的物场的照明。另一方面，在包括投射光学系统及照明光学系统的光学系统中，与投射光学系统的总长度相比，出现较大的物像偏移或更大的中间焦点-像偏移。这使得照明光学系统和光学系统满足关于照明光使用的特定效率要求。
- 用于微光照明光学系统
|
